[發明專利]用于托盤的磁鐵夾

有效

• 申請號: 202011311683.4
• 申請日: 2020-11-20
• 公開（公告）號: CN113122815B
• 公開（公告）日: 2023-09-15
• 發明（設計）人: 禹昌遠;李二均
• 申請（專利權）人: ULVAC韓國股份有限公司
• 主分類號: C23C14/50
• 分類號: C23C14/50
• 代理公司: 北京尚倫律師事務所 11477
• 代理人: 謝明暉

根據一實施例的用于托盤的磁鐵夾，其用于相互固定可支撐基板下側的下部托盤和可支撐基板上側的上部托盤，可以包括：夾子底座，其固定在所述下部托盤；夾頭，其可旋轉地連接到所述夾子底座，并能夠在固定所述上部托盤的固定位置與從所述上部托盤釋放的釋放位置之間轉換位置；夾軸，其安裝在所述夾子底座，并可支撐所述夾頭；接觸部，其安裝在所述夾頭的端部，并可加壓所述上部托盤的上面；底座外殼，其固定在所述夾子底座；底座磁鐵，其安裝在所述底座外殼；頭部外殼，其固定在所述夾頭；以及頭部磁鐵，其安裝在所述頭部外殼，并以不同的極性面對所述底座磁鐵。

技術領域

以下說明涉及一種用于托盤的磁鐵夾。

背景技術

在真空成膜裝置中，使用固定托盤的托盤夾。托盤包括用于支撐基板下側的下部托盤和用于支撐基板上側的上部托盤。托盤夾可以通過在固定位置與釋放位置之間轉換的方式將下部托盤和上部托盤彼此固定在一起。在下部托盤和上部托盤分別支撐基板的下側及上側的情況下，托盤夾可以對下部托盤及上部托盤進行加壓來固定基板。托盤夾可以固定在下部托盤上，并對上部托盤的上面進行加壓。另外，當托盤夾處于釋放位置時，下部及上部托盤可以相互隔開。

在真空成膜裝置中，為了將成膜材料以高質量沉積在基板上，有必要減少夾子等中顆粒(particle)的產生。因此，需要一種技術，既可減少托盤夾中的顆粒，又可以平穩地執行夾子的位置轉換。

發明內容

所要解決的技術問題

一實施例的目的在于提供一種用于托盤的磁鐵夾，其可以減少在位置變化期間產生的顆粒數量，同時平穩地執行用于托盤的夾的位置變化。

解決問題的技術方案

根據一實施例的用于托盤的磁鐵夾，其用于相互固定可支撐基板下側的下部托盤和可支撐基板上側的上部托盤，可以包括：夾子底座，其固定在所述下部托盤；夾頭，其可旋轉地連接到所述夾子底座，并能夠在固定所述上部托盤的固定位置與從所述上部托盤釋放的釋放位置之間轉換位置；夾軸，其安裝在所述夾子底座，并可支撐所述夾頭；接觸部，其安裝在所述夾頭的端部，并可加壓所述上部托盤的上面；底座外殼，其固定在所述夾子底座；底座磁鐵，其安裝在所述底座外殼；頭部外殼，其固定在所述夾頭；以及頭部磁鐵，其安裝在所述頭部外殼，并以不同的極性面對所述底座磁鐵。

當所述接觸部接觸到所述上部托盤的上面并進行加壓時，所述底座外殼及頭部外殼可以彼此隔開。

當所述夾頭在所述固定位置及釋放位置之間進行位置轉換時，所述夾頭可以不接觸所述夾子底座或底座外殼。

所述接觸部可以包括：第一緊固構件，其包括面對所述上部托盤的緊固頭和從所述緊固頭的中心部突出形成并貫通所述夾頭的緊固主體；以及第二緊固構件，其用于將所述第一緊固構件固定到所述夾頭。

所述接觸部還可以包括襯墊，其被設置在所述第一緊固構件的緊固頭與所述夾頭之間，并當所述夾頭處于所述固定位置時在所述底座外殼和頭部外殼之間設置間隔。

所述接觸部包括：襯墊，其可沿所述夾頭螺紋連接，并其內側具有中空空間；第一緊固構件，其面對所述上部托盤，并可螺紋連接到所述襯墊的中空空間；以及第二緊固構件，其以所述夾頭為基準被設置在所述第一緊固構件的相對側，并可螺紋連接到所述襯墊，并且，所述襯墊可以相對于所述夾頭移動。

所述底座外殼可以形成為多個，從而以所述夾頭為中心對稱。

所述底座外殼可以具有用于容納所述底座磁鐵的中空區域。

所述底座外殼的中空區域可以形成為在與面對所述頭部磁鐵的一側相反的方向上開口。

所述底座外殼可以包括底座蓋，其用于在所述中空區域容納所述底座磁鐵的狀態下，閉合所述中空區域的開口。

所述底座外殼可以包括用于固定所述底座蓋的蓋固定構件。