[發(fā)明專(zhuān)利]一種單晶硅生產(chǎn)制造用拋光打磨設(shè)備及其使用方法

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• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202011290028.5
• 申請(qǐng)日: 2020-11-18
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN112428055A
• 公開(kāi)（公告）日: 2021-03-02
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 韓永龍;宋生宏;高玉順;張培順;高俊偉;祁永福;何旭;楊延生
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 陽(yáng)光能源（青海）有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): B24B7/22
• 分類(lèi)號(hào): B24B7/22;B24B55/04;B24B55/06
• 代理公司: 青海省專(zhuān)利服務(wù)中心 63100
• 代理人: 李玉青

本發(fā)明公開(kāi)了一種單晶硅生產(chǎn)制造用拋光打磨設(shè)備及其使用方法，該設(shè)備包括單晶硅拋光機(jī)本體，單晶硅拋光機(jī)本體的頂部設(shè)置有氣缸，單晶硅拋光機(jī)本體的中部設(shè)置有工作臺(tái)，工作臺(tái)的頂端固定安裝有防護(hù)箱，氣缸的輸出端延伸至防護(hù)箱的內(nèi)端固定安裝有打磨機(jī)構(gòu)；本發(fā)明的有益效果是：本發(fā)明一種單晶硅生產(chǎn)制造用拋光打磨設(shè)備，通過(guò)設(shè)置防護(hù)箱使打磨過(guò)程在防護(hù)箱內(nèi)進(jìn)行，有效的防止了打磨時(shí)產(chǎn)生的單晶硅粉塵漂浮出來(lái)，且在防護(hù)箱的內(nèi)端設(shè)置有能夠任意調(diào)整位置的滴水頭，滴水頭滴落的水能夠均勻的滴落在單晶硅片的表面，從而將打磨時(shí)產(chǎn)生的單晶硅粉塵清理掉，并通過(guò)排水管排出，有效地減少了工作環(huán)境內(nèi)硅粉塵的數(shù)量，提高了工作環(huán)境。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種單晶硅生產(chǎn)制造用設(shè)備，特別涉及一種單晶硅生產(chǎn)制造用拋光打磨設(shè)備及其使用方法。

背景技術(shù)

單晶硅是單質(zhì)硅的一種形態(tài)，熔融的單質(zhì)硅在凝固時(shí)硅原子以金剛石晶格排列成許多晶核，如果這些晶核長(zhǎng)成晶面取向相同的晶粒，則這些晶粒平行結(jié)合起來(lái)便結(jié)晶成單晶硅，單晶硅生產(chǎn)制造用拋光打磨設(shè)備是用于對(duì)單晶硅片進(jìn)行打磨的一種設(shè)備，常見(jiàn)的單晶硅生產(chǎn)制造用拋光打磨設(shè)備通常為直接在工作環(huán)境內(nèi)進(jìn)行打磨，打磨時(shí)產(chǎn)生的硅粉塵容易漂浮在空氣中，這些粉塵容易被工作人員吸入體內(nèi)造成矽肺等疾病，存在一定的安全隱患。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于提供一種單晶硅生產(chǎn)制造用拋光打磨設(shè)備及其使用方法，以解決上述背景技術(shù)中提出的常見(jiàn)的單晶硅生產(chǎn)制造用拋光打磨設(shè)備打磨時(shí)產(chǎn)生的硅粉塵容易被工作人員吸入體內(nèi)的問(wèn)題。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供如下技術(shù)方案：一種單晶硅生產(chǎn)制造用拋光打磨設(shè)備，包括單晶硅拋光機(jī)本體，所述單晶硅拋光機(jī)本體的頂部設(shè)置有氣缸，所述單晶硅拋光機(jī)本體的中部設(shè)置有工作臺(tái)，所述工作臺(tái)的頂端固定安裝有防護(hù)箱，所述氣缸的輸出端延伸至防護(hù)箱的內(nèi)端固定安裝有打磨機(jī)構(gòu)，所述防護(hù)箱外壁的頂部固定安裝有進(jìn)水管，所述進(jìn)水管的一端延伸至防護(hù)箱的內(nèi)端固定安裝有連接管，所述連接管的一端固定連接有萬(wàn)向管，所述萬(wàn)向管的底端固定安裝有滴水頭，所述防護(hù)箱外壁的底部設(shè)置有排水管。

作為本發(fā)明的一種優(yōu)選技術(shù)方案，所述防護(hù)箱的開(kāi)口處轉(zhuǎn)動(dòng)安裝有箱門(mén)。

作為本發(fā)明的一種優(yōu)選技術(shù)方案，所述箱門(mén)的內(nèi)端固定安裝有觀察窗。

作為本發(fā)明的一種優(yōu)選技術(shù)方案，所述打磨機(jī)構(gòu)包括安裝座，所述安裝座的頂端與氣缸的輸出端固定連接，所述安裝座內(nèi)端的底部固定安裝有電機(jī)，所述電機(jī)的輸出端固定安裝有固定座，所述固定座的底端固定安裝有磨片。

作為本發(fā)明的一種優(yōu)選技術(shù)方案，所述滴水頭內(nèi)端的底部設(shè)置有若干個(gè)分流道。

作為本發(fā)明的一種優(yōu)選技術(shù)方案，所述進(jìn)水管、連接管、萬(wàn)向管和滴水頭的內(nèi)腔為連通設(shè)置。

作為本發(fā)明的一種優(yōu)選技術(shù)方案，所述排水管的一端延伸至防護(hù)箱內(nèi)腔的底部。

本發(fā)明一種單晶硅生產(chǎn)制造用拋光打磨設(shè)備使用時(shí)包括以下步驟：

S1：打開(kāi)箱門(mén)將單晶硅片固定在防護(hù)箱內(nèi)，關(guān)閉箱門(mén)后控制氣缸的輸出端伸出使磨片與單晶硅片接觸；

S2：然后即可開(kāi)啟電機(jī)進(jìn)行打磨，電機(jī)的輸出端通過(guò)固定座可以帶動(dòng)磨片旋轉(zhuǎn)，從而對(duì)單晶硅片進(jìn)行打磨；

S3：通過(guò)進(jìn)水管注入水，水通過(guò)連接管和萬(wàn)向管從滴水頭處滴落，滴水頭內(nèi)端的底部設(shè)置有若干個(gè)分流道，使水均勻的滴落在單晶硅片的表面，將打磨時(shí)產(chǎn)生的單晶硅粉塵進(jìn)行清理，最后通過(guò)排水管排出。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明的有益效果是：本發(fā)明一種單晶硅生產(chǎn)制造用拋光打磨設(shè)備，通過(guò)設(shè)置防護(hù)箱使打磨過(guò)程在防護(hù)箱內(nèi)進(jìn)行，有效的防止了打磨時(shí)產(chǎn)生的單晶硅粉塵漂浮出來(lái)，且在防護(hù)箱的內(nèi)端設(shè)置有能夠任意調(diào)整位置的滴水頭，滴水頭滴落的水能夠均勻的滴落在單晶硅片的表面，從而將打磨時(shí)產(chǎn)生的單晶硅粉塵清理掉，并通過(guò)排水管排出，有效地減少了工作環(huán)境內(nèi)硅粉塵的數(shù)量，提高了工作環(huán)境。

附圖說(shuō)明