[發明專利]一種單晶硅生產制造用拋光打磨設備及其使用方法

在審

• 申請號: 202011290028.5
• 申請日: 2020-11-18
• 公開（公告）號: CN112428055A
• 公開（公告）日: 2021-03-02
• 發明（設計）人: 韓永龍;宋生宏;高玉順;張培順;高俊偉;祁永福;何旭;楊延生
• 申請（專利權）人: 陽光能源（青海）有限公司
• 主分類號: B24B7/22
• 分類號: B24B7/22;B24B55/04;B24B55/06
• 代理公司: 青海省專利服務中心 63100
• 代理人: 李玉青

1.一種單晶硅生產制造用拋光打磨設備，包括單晶硅拋光機本體(1)，其特征在于，所述單晶硅拋光機本體(1)的頂部設置有氣缸(2)，所述單晶硅拋光機本體(1)的中部設置有工作臺(3)，所述工作臺(3)的頂端固定安裝有防護箱(4)，所述氣缸(2)的輸出端延伸至防護箱(4)的內端固定安裝有打磨機構(5)，所述防護箱(4)外壁的頂部固定安裝有進水管(6)，所述進水管(6)的一端延伸至防護箱(4)的內端固定安裝有連接管(7)，所述連接管(7)的一端固定連接有萬向管(8)，所述萬向管(8)的底端固定安裝有滴水頭(9)，所述防護箱(4)外壁的底部設置有排水管(10)。

2.根據權利要求1所述的一種單晶硅生產制造用拋光打磨設備，其特征在于：所述防護箱(4)的開口處轉動安裝有箱門(11)。

3.根據權利要求2所述的一種單晶硅生產制造用拋光打磨設備，其特征在于：所述箱門(11)的內端固定安裝有觀察窗(12)。

4.根據權利要求2所述的一種單晶硅生產制造用拋光打磨設備，其特征在于：所述打磨機構(5)包括安裝座(51)，所述安裝座(51)的頂端與氣缸(2)的輸出端固定連接，所述安裝座(51)內端的底部固定安裝有電機(52)，所述電機(52)的輸出端固定安裝有固定座(53)，所述固定座(53)的底端固定安裝有磨片(54)。

5.根據權利要求4所述的一種單晶硅生產制造用拋光打磨設備，其特征在于：所述滴水頭(9)內端的底部設置有若干個分流道(901)。

6.根據權利要求5所述的一種單晶硅生產制造用拋光打磨設備，其特征在于：所述進水管(6)、連接管(7)、萬向管(8)和滴水頭(9)的內腔為連通設置。

7.根據權利要求6所述的一種單晶硅生產制造用拋光打磨設備，其特征在于：所述排水管(10)的一端延伸至防護箱(4)內腔的底部。

8.根據權利要求7所述的一種單晶硅生產制造用拋光打磨設備的使用方法，其特征在于：包括以下步驟：

S1：打開箱門(11)將單晶硅片固定在防護箱(4)內，關閉箱門(11)后控制氣缸(2)的輸出端伸出使磨片(54)與單晶硅片接觸；

S2：然后即可開啟電機(52)進行打磨，電機(52)的輸出端通過固定座(53)可以帶動磨片(54)旋轉，從而對單晶硅片進行打磨；

S3：通過進水管(6)注入水，水通過連接管(7)和萬向管(8)從滴水頭(9)處滴落，滴水頭(9)內端的底部設置有若干個分流道(901)，使水均勻的滴落在單晶硅片的表面，將打磨時產生的單晶硅粉塵進行清理，最后通過排水管(10)排出。