[發明專利]高精度的成像系統、方法、圖像采集裝置及檢測設備有效
| 申請號： | 202011284561.0 | 申請日： | 2020-11-17 |
| 公開（公告）號： | CN112098426B | 公開（公告）日： | 2021-06-29 |
| 發明（設計）人： | 崔忠偉 | 申請（專利權）人： | 北京領邦智能裝備股份公司 |
| 主分類號： | G01N21/88 | 分類號： | G01N21/88;G01N21/01 |
| 代理公司： | 北京墨丘知識產權代理事務所(普通合伙) 11878 | 代理人： | 代峰 |
| 地址： | 100094 北京*** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 高精度 成像 系統 方法 圖像 采集 裝置 檢測 設備 | ||
1.一種高精度的成像系統，其特征在于，所述成像系統包括：超遠心鏡頭(110)、第一點光源(120)和第二點光源(130)；其中，
所述超遠心鏡頭(110)具有負心，所述負心相對于第一待成像平面的鏡像點與所述第一點光源(120)的中心的空間距離不超過第一誤差范圍；
所述超遠心鏡頭(110)的負心相對于第二待成像平面的鏡像點與所述第二點光源(130)的中心的空間距離不超過第一誤差范圍；
所述第一誤差范圍為40mm以內。
2.根據權利要求1所述的成像系統，其特征在于，所述第一點光源(120)具有兩個以上不同顏色區。
3.根據權利要求2所述的成像系統，其特征在于，所述第一點光源(120)具有呈Y形分布的三個不同顏色區。
4.根據權利要求1-3中任一項所述的成像系統，其特征在于，所述超遠心鏡頭(110)的鏡頭光軸相對于所述第一待成像平面傾斜設置。
5.根據權利要求1-3中任一項所述的成像系統，其特征在于，所述第一點光源(120)具有中心點O以及邊界點B，對于所述第一待成像平面上在所述超遠心鏡頭視野內的任一點P，有角度∠OPB不大于12度。
6.根據權利要求1-3中任一項所述的成像系統，其特征在于，所述第一點光源(120)由顯示設備產生。
7.根據權利要求1-3中任一項所述的成像系統，其特征在于，所述第一誤差范圍為20mm以內。
8.一種高精度的成像系統，其特征在于，所述成像系統包括：超遠心鏡頭(210)、第一點光源(220)、第二點光源(230)和載物平臺(240)；其中，
所述超遠心鏡頭(210)的鏡頭光軸與所述載物平臺(240)的法線的夾角為15～70度；
所述第一點光源(220)與所述超遠心鏡頭(210)均設置在所述載物平臺(240)的第一側；
所述超遠心鏡頭(210)具有負心，所述負心相對于所述載物平臺(240)的第一側表面的鏡像點與所述第一點光源(220)的中心的空間距離不超過第一誤差范圍；所述超遠心鏡頭(210)的負心相對于所述載物平臺(240)的一個垂直面的鏡像點與所述第二點光源(230)的中心的空間距離不超過第一誤差范圍；
所述第一誤差范圍為小于40mm以內。
9.根據權利要求8所述的成像系統，其特征在于，所述第二點光源(230)設置在所述載物平臺(240)的第二側。
10.根據權利要求8所述的成像系統，其特征在于，所述第一點光源(220)和/或第二點光源(230)具有兩個以上不同顏色區。
11.根據權利要求10所述的成像系統，其特征在于，所述第一點光源(220)和/或第二點光源(230)具有呈Y形分布的三個不同顏色區。
12.根據權利要求8-11任一項所述的成像系統，其特征在于，所述第一點光源(220)和/或第二點光源(230)由顯示設備產生。
13.根據權利要求8-11任一項所述的成像系統，其特征在于，所述第一點光源(220)具有中心點O以及邊界點B，對于所述載物平臺(240)的第一側表面上在所述超遠心鏡頭視野內的任一點P，有角度∠OPB不大于12度。
14.根據權利要求8所述的成像系統，其特征在于，所述第一誤差范圍為20mm以內。
15.一種圖像采集裝置，其特征在于，所述圖像采集裝置包括圖像傳感器和如權利要求1-14中任一項所述的成像系統，其中，所述圖像傳感器用于采集所述超遠心鏡頭輸出的光學圖像。
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