[發(fā)明專利]一種旋轉(zhuǎn)靶材的表面處理裝置

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202011281432.6
• 申請日: 2020-11-16
• 公開（公告）號: CN112276731A
• 公開（公告）日: 2021-01-29
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 劉耀文;黃軍浩
• 申請（專利權(quán)）人: 昆山全亞冠環(huán)?？萍加邢薰?/a>
• 主分類號: B24B19/00
• 分類號: B24B19/00;B24B41/06;B24B47/12;B24B41/02;B24B55/06;B24B55/12
• 代理公司: 北京科億知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11350
• 代理人: 湯東鳳

本發(fā)明公開了一種旋轉(zhuǎn)靶材的表面處理裝置，其技術(shù)方案是：包括支撐板，所述支撐板頂部設(shè)有打磨機構(gòu)，所述支撐板底部設(shè)有收集機構(gòu)；所述打磨機構(gòu)包括第一固定板和第二固定板，所述第一固定板和第二固定板分別固定設(shè)于支撐板頂部兩側(cè)，所述第一固定板一側(cè)設(shè)有夾持組件，所述第二固定板一側(cè)設(shè)有電機，本發(fā)明的有益效果是：通過打磨機構(gòu)的設(shè)計，可以通過往復絲桿等結(jié)構(gòu)帶動打磨片來回移動，通過轉(zhuǎn)動板等結(jié)構(gòu)的設(shè)計可以使打磨片轉(zhuǎn)動，即可通過打磨片對靶材的表面進行處理，提高了靶材表面的光滑度，避免了靶材的表面存在較多的車刀紋的問題，使得成型后的靶材擁有良好的外觀，保證了靶材的正常使用。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及旋轉(zhuǎn)靶材技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種旋轉(zhuǎn)靶材的表面處理裝置。

背景技術(shù)

光伏太陽能作為21世紀最理想的新能源，近年來發(fā)展十分迅猛。數(shù)據(jù)顯示，全球?qū)夥柲茈姵氐男枨竺磕?0％的速度增長，靶材作為配套耗材，需求量也呈現(xiàn)出激增，靶材以濺射薄膜方式被消耗，主要用作TFT柵極，和太陽能電池組件的金屬堆疊層等，旋轉(zhuǎn)靶材主要用于太陽能光伏行業(yè)，由于其利用率高，鍍膜均勻性好，適用于大面積連續(xù)性磁控濺射生產(chǎn)線，已經(jīng)成為未來靶材發(fā)展的新趨勢，管狀旋轉(zhuǎn)靶的理論利用率可達70％，大大高于平面靶20％-30％的利用率，大大降低了鍍膜生產(chǎn)成本，是靶材的發(fā)展方向。

現(xiàn)有技術(shù)存在以下不足：現(xiàn)有技術(shù)中的旋轉(zhuǎn)靶材在經(jīng)過機械加工完成后，旋轉(zhuǎn)靶材表面存在車刀紋，導致靶材表面粗糙，不但影響旋轉(zhuǎn)靶材的外觀，同時還會對旋轉(zhuǎn)靶材的使用造成一定的影響，不便于使用者的使用。

因此，發(fā)明一種旋轉(zhuǎn)靶材的表面處理裝置很有必要。

發(fā)明內(nèi)容

為此，本發(fā)明提供一種旋轉(zhuǎn)靶材的表面處理裝置，通過打磨機構(gòu)的設(shè)計，可以通過往復絲桿等結(jié)構(gòu)帶動打磨片來回移動，通過轉(zhuǎn)動板等結(jié)構(gòu)的設(shè)計可以使打磨片轉(zhuǎn)動，即可通過打磨片對靶材的表面進行處理，提高了靶材表面的光滑度，避免了靶材的表面存在較多的車刀紋的問題，使得成型后的靶材擁有良好的外觀，保證了靶材的正常使用，以解決靶材表面粗糙，不但影響旋轉(zhuǎn)靶材的外觀，同時還會對旋轉(zhuǎn)靶材的使用造成一定的影響的問題。

為了實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供如下技術(shù)方案：一種旋轉(zhuǎn)靶材的表面處理裝置，包括支撐板，所述支撐板頂部設(shè)有打磨機構(gòu)，所述支撐板底部設(shè)有收集機構(gòu)；

所述打磨機構(gòu)包括第一固定板和第二固定板，所述第一固定板和第二固定板分別固定設(shè)于支撐板頂部兩側(cè)，所述第一固定板一側(cè)設(shè)有夾持組件，所述第二固定板一側(cè)設(shè)有電機，所述電機通過輸出軸固定連接有轉(zhuǎn)動桿，所述轉(zhuǎn)動桿設(shè)于第二固定板一側(cè)并貫穿第二固定板，所述轉(zhuǎn)動桿一側(cè)固定設(shè)有往復絲桿，所述往復絲桿外部設(shè)有軸承座，所述軸承座底部固定設(shè)有連接塊，所述連接塊底部固定設(shè)有移動框，所述移動框內(nèi)部設(shè)有移動板，所述移動框與移動板通過軸承連接，所述第二固定板內(nèi)部設(shè)有連接桿，所述連接桿與第二固定板通過軸承連接，所述連接桿一端延伸出第二固定板一側(cè)，所述連接桿一端固定設(shè)有轉(zhuǎn)動板，所述轉(zhuǎn)動板一側(cè)固定設(shè)有竹節(jié)式伸縮桿，所述竹節(jié)式伸縮桿一側(cè)與轉(zhuǎn)動板固定連接，所述轉(zhuǎn)動板一側(cè)固定設(shè)有橫板，所述橫板底部設(shè)有銜接板，所述橫板和銜接板之間固定設(shè)有多個伸縮桿，多個所述伸縮桿外部均固定設(shè)有彈簧，所述銜接板底部固定設(shè)有打磨片，所述連接桿另一端延伸出第二固定板另一側(cè)，所述連接桿外部設(shè)有傳動組件；

所述傳動組件包括第一皮帶輪，所述第一皮帶輪固定設(shè)于轉(zhuǎn)動桿外部，所述連接桿外部固定設(shè)有第二皮帶輪，所述第一皮帶輪和第二皮帶輪之間設(shè)有皮帶，所述第一皮帶輪和第二皮帶輪通過皮帶連接。

優(yōu)選的，所述支撐板頂部固定設(shè)有支撐臺，所述支撐臺設(shè)于第二固定板一側(cè)，所述支撐臺頂部與電機底部固定連接，所述連接桿另一端與支撐臺通過軸承連接。

優(yōu)選的，所述往復絲桿一側(cè)固定設(shè)有銜接桿，所述銜接桿一側(cè)與第二固定板通過軸承連接。

優(yōu)選的，所述軸承座頂部固定設(shè)有限位塊，所述第一固定板和第二固定板之間固定設(shè)有限位桿，所述限位桿設(shè)于往復絲桿頂部，所述限位桿貫穿限位塊。