[發(fā)明專利]一種平插式的電子探頭及探測方法在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 202011281334.2 | 申請日： | 2020-11-16 |
| 公開（公告）號： | CN112378937A | 公開（公告）日： | 2021-02-19 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 黃天林;黃小愉;吳桂林 | 申請（專利權(quán)）人： | 重慶大學(xué) |
| 主分類號： | G01N23/203 | 分類號： | G01N23/203;G01N23/205;G01N23/20058;G01N23/20025 |
| 代理公司： | 成都東恒知盛知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 51304 | 代理人： | 何健雄;廖祥文 |
| 地址： | 400044 *** | 國省代碼： | 重慶;50 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 平插式 電子 探頭 探測 方法 | ||
1.一種平插式的電子探頭，其特征在于，包括電子槍(7)、傳輸通道(1)、樣品室(2)、信號讀取裝置和信號接收裝置(6)，電子槍(7)用于發(fā)射電子束，電子束通過傳輸通道(1)進(jìn)入至樣品室(2)，樣品室(2)內(nèi)設(shè)有樣品臺(3)，樣品臺(3)用于放置樣品(4)，電子束照射到樣品(4)并進(jìn)行背散射，信號讀取裝置用于接收經(jīng)樣品臺(3)背散射的電子束，信號讀取裝置為CCD相機(jī)(5)，CCD相機(jī)(5)與信號接收裝置(6)數(shù)據(jù)連接。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的平插式的電子探頭，其特征在于，所述CCD相機(jī)(5)沿傳輸通道(1)外圍環(huán)形設(shè)置。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的平插式的電子探頭，其特征在于，所述CCD相機(jī)(5)鏡頭平面與樣品(4)表面平面相互平行。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的平插式的電子探頭，其特征在于，所述傳輸通道(1)內(nèi)設(shè)有聚光鏡頭(8)和散光像差補償器；電子槍(7)位于傳輸通道(1)入口處，入口處還設(shè)有陽極(10)、對準(zhǔn)線圈(11)和會聚光圈(12)；傳輸通道(1)出口處還設(shè)有偏轉(zhuǎn)線圈(13)。
5.一種平插式的電子探頭的探測方法，基于權(quán)利要求1至4任一所述的平插式的電子探頭，其特征在于，包括以下步驟：
S1：電子槍(7)發(fā)送的電子束，在傳輸通道(1)內(nèi)通過聚光鏡頭(8)和散光像差補償器的調(diào)節(jié)，進(jìn)入至樣品室(2)；
S2：樣品室(2)中放置于樣品臺(3)上的樣品(4)將電子束背散射；
S3：使用CCD相機(jī)(5)將經(jīng)過樣品(4)背散射的電子信號進(jìn)行讀取；
S4：將讀取的信號發(fā)送至信號接收裝置(6)進(jìn)行處理。
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