[發(fā)明專利]一種基于外差探測體制的無針孔掃描式共焦顯微鏡有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 202011277508.8 | 申請日： | 2020-11-16 |
| 公開（公告）號： | CN112505908B | 公開（公告）日： | 2021-12-03 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 董洪舟 | 申請（專利權(quán)）人： | 電子科技大學(xué) |
| 主分類號： | G02B21/00 | 分類號： | G02B21/00;G01N21/17;G01B11/24 |
| 代理公司： | 電子科技大學(xué)專利中心 51203 | 代理人： | 陳一鑫 |
| 地址： | 611731 四川省成*** | 國省代碼： | 四川;51 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 基于 外差 探測 體制 針孔 掃描 式共焦 顯微鏡 | ||
1.一種基于外差探測體制的無針孔掃描式共焦顯微鏡，該裝置包括：激光器(1)、光纖分束器(2)、聲光移頻器A(3)、聲光移頻器B(4)、準(zhǔn)直器(5)、光電探測器(6)、合束片A(7)、光瞳濾波器(8)、準(zhǔn)直透鏡(9)，合束片B(10),聚焦透鏡(11)，成像樣品(12)，三軸高精度移動平臺(13)；其特征在于激光器(1)出射的頻率為f激光通過光纖分束器(2)分為兩束激光，其中一束經(jīng)過聲光移頻器B(4)移頻后頻率變?yōu)閒+f1，移頻后的光作為信號光經(jīng)準(zhǔn)直透鏡(9)后變?yōu)槠叫泄猓僖来瓮高^合束片B(10)、聚焦透鏡(11)后聚焦到成像樣品(12)上；成像樣品(12)的反射光依次透過聚焦透鏡(11)、經(jīng)合束片B(10)反射、透過光瞳濾波器(8)、透過合束片A(7)、到達(dá)光電探測器(6)；激光器(1)發(fā)出的頻率為f的光經(jīng)光纖分束器(2)后的另一路傳輸?shù)铰暪庖祁l器A(3)，經(jīng)其移頻后頻率變?yōu)閒+f2，經(jīng)過準(zhǔn)直器(5)后變?yōu)槠叫泄猓俳?jīng)過合束片A(7)的反射后入射到光電探測器(6)，與入射的成像樣品反射光相干產(chǎn)生頻率為Δf＝f1-f2的中頻信號；對于靜止成像物體，在成像過程中Δf保持不變；由于物體反射率不同，反射回的信號光強度不同，與本振光干涉產(chǎn)生的頻率為Δf的中頻信號強度也不同，通過掃描成像過程中不同像點的中頻信號強度分析，對物體進(jìn)行成像。
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