[發(fā)明專利]一種抗輻射加固SOI材料的總劑量輻射性能評估方法在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 202011266943.0 | 申請日： | 2020-11-13 |
| 公開（公告）號： | CN112379240A | 公開（公告）日： | 2021-02-19 |
| 發(fā)明（設計）人： | 鄭齊文;崔江維;余學峰;李豫東;郭旗 | 申請（專利權）人： | 中國科學院新疆理化技術研究所 |
| 主分類號： | G01R31/26 | 分類號： | G01R31/26 |
| 代理公司： | 烏魯木齊中科新興專利事務所(普通合伙) 65106 | 代理人： | 張莉 |
| 地址： | 830011 新疆維吾爾*** | 國省代碼： | 新疆;65 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 輻射 加固 soi 材料 劑量 性能 評估 方法 | ||
1.一種抗輻射加固SOI材料的總劑量性能評估方法，其特征在于，按下列步驟進行：
a、采用基于商用SOI材料和加固SOI材料采用同一版圖制作的晶體管作為試驗樣品；
b、對基于商用材料和加固材料的晶體管開展相同條件下的總劑量輻照試驗，提取輻射在氧化物埋層中引入的氧化物陷阱電荷密度；
總劑量輻照試驗中采用背柵晶體管最劣輻照偏置，通過建立背柵晶體管閾值電壓漂移量與輻射感生陷阱電荷關系來提取氧化物陷阱電荷密度，公式(1)：
其中，ΔVTB為輻射引起的背柵晶體管閾值電壓漂移量，TBOX為SOI材料的氧化物埋層厚度，q為單位電荷，εOX為SOI材料氧化物埋層的介電常數(shù)，ΔNOX，BOX為輻射在SOI材料氧化物埋層中引入的氧化物陷阱電荷密度；
c、對加固材料制作的晶體管，開展熱載流子注入試驗，提取熱載流子應力在氧化物埋層中引入的電子陷阱電荷密度；
建立熱載流子應力導致的背柵晶體管閾值電壓漂移量與電子陷阱電荷的關系，提取電子陷阱電荷密度，公式(2)：
其中，ΔVTB，H為熱載流子應力引起的背柵晶體管閾值電壓漂移量，ΔNOE，BOX為熱載流子應力在SOI材料氧化物埋層中引入的電子陷阱電荷密度；
d、基于三種陷阱電荷密度，獲得加固材料氧化物埋層的電子陷阱俘獲系數(shù)，通過加固材料氧化物埋層的電子陷阱電荷俘獲系數(shù)與熱載流子應力試驗，通過以下公式計算加固材料氧化物埋層的電子陷阱俘獲系數(shù)α：公式(3)
ΔNOX，BOX′＝ΔNOX，BOX-αΔNOE，BOX (3)
其中ΔNOX，BOX為輻射在商用SOI材料氧化物埋層中引入的氧化物陷阱電荷，ΔNOX，BOX′為輻射在加固SOI材料氧化物埋層中引入的氧化物陷阱電荷，ΔNOE，BOX為熱載流子應力在氧化物埋層中引入的電子陷阱電荷，即可獲得加固材料的總劑量輻射性能。
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