[發明專利]一種二硫化鉬薄膜輔助的熱光調制器

在審

• 申請號: 202011251586.0
• 申請日: 2020-11-11
• 公開（公告）號: CN112526771A
• 公開（公告）日: 2021-03-19
• 發明（設計）人: 甘雪濤;黎志文
• 申請（專利權）人: 西北工業大學
• 主分類號: G02F1/01
• 分類號: G02F1/01
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種二硫化鉬薄膜輔助的熱光調制器，其特征在于包括二硫化鉬薄膜(1)、微環諧振腔(2)、總線波導(3)以及兩個金屬電極(4、5)。

2.根據權利要求1所述二硫化鉬薄膜輔助的熱光調制器，其特征在于：所述二硫化鉬薄膜(1)集成于所述微環諧振腔(2)的上表面，所述金屬電極(4、5)分別覆蓋于所述微環諧振腔(2)內外兩側的所述二硫化鉬薄膜(1)上。

3.根據權利要求1所述二硫化鉬薄膜輔助的熱光調制器，其特征在于：所述微環諧振腔(2)與所述總線波導(3)之間存在間隙，相互采用側向耦合的方式進行光信號的耦合。

4.根據權利要求1所述二硫化鉬薄膜輔助的熱光調制器，所述二硫化鉬薄膜(1)也可以是其他帶隙大于0.9電子伏特的二維半導體層狀材料。

5.根據權利要求1所述二硫化鉬薄膜輔助的熱光調制器，所述二硫化鉬薄膜(1)覆蓋于所述微環諧振腔(2)上表面；所述兩個金屬電極(4、5)分別覆蓋于所述微環諧振腔(2)內外兩側的所述二硫化鉬薄膜(1)表面；施加在所述金屬電極(4、5)上的電偏壓將使得所述二硫化鉬薄膜(1)中產生焦耳熱，并通過熱傳導傳遞到所述微環諧振腔(2)中；所述微環諧振腔(2)吸收熱量后發生溫度升高，并通過熱光效應使得微環諧振腔的諧振波長發生移動；通過移動所述微環諧振腔(2)的諧振波長，使得信號光波長與微環諧振腔的諧振波長重合與否，可以實現信號光在所述總線波導(3)輸出端的輸出光功率變化，從而實現調制功能。