[發明專利]激光裝置

有效

• 申請號: 202011244027.7
• 申請日: 2016-09-08
• 公開（公告）號: CN112366499B
• 公開（公告）日: 2022-09-16
• 發明（設計）人: 淺山武志;增田浩幸
• 申請（專利權）人: 極光先進雷射株式會社
• 主分類號: H01S3/036
• 分類號: H01S3/036;H01S3/038;H01S3/097
• 代理公司: 北京三友知識產權代理有限公司 11127
• 代理人: 于英慧;黃綸偉

1.一種激光裝置，其中，所述激光裝置具有：

腔室，其在內部配置有一對放電電極；

氣體供給排放裝置，其向所述腔室的內部供給激光氣體，并排放所述腔室的內部的激光氣體；

壓力傳感器，其用于計測所述腔室的內部的氣壓；以及

控制部，其構成為進行第1控制和第2控制，

在該第1控制中，對所述氣體供給排放裝置進行控制，以按照第1射數或按照第1經過時間，停止激光振蕩，以所述腔室內的壓力減小到大氣壓以下的值的方式排放激光氣體，然后將激光氣體注入到所述腔室內，來更換所述腔室內的激光氣體，

在該第2控制中，對所述氣體供給排放裝置進行控制，以在所述腔室的更換后且所述第1控制之前，在所述腔室的內部的氣壓達到第1規定氣壓的情況下，停止所述激光振蕩，以所述腔室內的壓力減小到大氣壓以下的值的方式排放激光氣體，然后將激光氣體注入到所述腔室內，來更換所述腔室內的激光氣體。

2.一種激光裝置，其中，所述激光裝置具有：

腔室，其在內部配置有一對放電電極；

氣體供給排放裝置，其向所述腔室的內部供給激光氣體，并排放所述腔室的內部的激光氣體；

壓力傳感器，其用于計測所述腔室的內部的氣壓；以及

控制部，其構成為進行第1控制、第2控制和第3控制，

在該第1控制中，對所述氣體供給排放裝置進行控制，以按照第1射數或按照第1經過時間，停止激光振蕩來更換所述腔室內的激光氣體，

在該第2控制中，對所述氣體供給排放裝置進行控制，以在所述第1控制之前，在所述腔室的內部的氣壓達到第1規定氣壓的情況下，停止所述激光振蕩來更換所述腔室內的激光氣體，

在該第3控制中，在所述腔室內的氣壓達到比所述第1規定氣壓大的第2規定氣壓的情況下，停止所述氣體供給排放裝置向所述腔室的內部供給激光氣體，

所述第1規定氣壓為所述第2規定氣壓的90％以上且99％以下。

3.根據權利要求1或2所述的激光裝置，其中，

所述控制部在所述腔室的內部的氣壓達到所述第1規定氣壓之前達到了第1射數的情況下，進行所述第1控制。

4.根據權利要求3所述的激光裝置，其中，

所述第1射數為86×100萬次以上且500×100萬次以下。

5.根據權利要求1或2所述的激光裝置，其中，

所述控制部在所述腔室的內部的氣壓達到所述第1規定氣壓之前經過了所述第1經過時間的情況下，進行所述第1控制。

6.根據權利要求5所述的激光裝置，其中，

所述第1經過時間為72小時以上且500小時以下。