[發明專利]一種高性能芯片制造用成品封裝設備在審
| 申請號: | 202011239245.1 | 申請日: | 2020-11-09 |
| 公開(公告)號: | CN112331569A | 公開(公告)日: | 2021-02-05 |
| 發明(設計)人: | 童亮 | 申請(專利權)人: | 合肥酷顯智能科技有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/56 | 分類號: | H01L21/56;H01L21/67 |
| 代理公司: | 廣東有知貓知識產權代理有限公司 44681 | 代理人: | 金福坤 |
| 地址: | 230001 安徽省合肥市蜀山區經濟開發*** | 國省代碼: | 安徽;34 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 性能 芯片 制造 成品 封裝 設備 | ||
1.一種高性能芯片制造用成品封裝設備,其特征在于,包括箱板主體(1),所述箱板主體(1)的上端表面靠近左側設置有第一底腳板(2),所述第一底腳板(2)的上端表面中間位置靠近左側固設有一號引導板(3),所述第一底腳板(2)的上部且位于一號引導板(3)上安裝有升降板塊一(4),所述第一底腳板(2)的上端表面且位于一號引導板(3)的兩側設置有螺旋桿一號(5),所述升降板塊一(4)的前端表面靠近右側中間位置貫穿開設有橫移槽(6);
所述箱板主體(1)的上端表面靠近右側且與第一底腳板(2)對稱設置有第二底腳板(7),所述第二底腳板(7)的上端表面中間位置靠近右側且與一號引導板(3)對應設置有二號引導板(8),所述第二底腳板(7)的上端且位于二號引導板(8)上安裝有升降板塊二(9),所述第二底腳板(7)的上端表面靠近中間位置且位于二號引導板(8)的兩側設置有螺旋桿二號(10),所述箱板主體(1)的上端中部且位于升降板塊一(4)和升降板塊二(9)之間安裝有橫置跨板(11),所述橫置跨板(11)的上端表面中間位置安裝有熱風機結構(12)。
2.根據權利要求1所述的一種高性能芯片制造用成品封裝設備,其特征在于,所述箱板主體(1)的上端表面中間位置安裝有封裝模體(13),所述箱板主體(1)的上端表面靠近左側中間位置且與封裝模體(13)對應安裝有一號膠槍機構(14),所述箱板主體(1)的上端表面靠近右側中間位置且與一號膠槍機構(14)對稱安裝有二號膠槍機構(15),所述一號膠槍機構(14)的左端表面中間位置連接有壓縮推桿(16),所述壓縮推桿(16)的左端表面且位于第一底腳板(2)的內部設置有壓縮缸(17),升降板塊一(4)通過一號引導板(3)和螺旋桿一號(5)與第一底腳板(2)滑動安裝,升降板塊二(9)通過二號引導板(8)和螺旋桿二號(10)配合與第二底腳板(7)滑動安裝,第一底腳板(2)、一號引導板(3)、升降板塊一(4)和螺旋桿一號(5)共同構成滑動撐架結構,橫置跨板(11)的兩端均設置有卡凸體,熱風機結構(12)通過橫置跨板(11)、卡凸體和橫移槽(6)配合與滑動撐架結構橫卡固安裝,且熱風機結構(12)通過滑動撐架結構和橫置跨板(11)配合與箱板主體(1)活動安裝,一號膠槍機構(14)和二號膠槍機構(15)關于封裝模體(13)對稱設置,且一號膠槍機構(14)通過壓縮推桿(16)與壓縮缸(17)活動安裝。
3.根據權利要求1所述的一種高性能芯片制造用成品封裝設備,其特征在于,所述螺旋桿一號(5)的外表面下側設置有第一軸承輥(18),所述螺旋桿一號(5)的外表面下側且位于第一軸承輥(18)的下側設置有第二軸承輥(19),所述箱板主體(1)的內部靠近左側底端表面設置有電動機(20),所述電動機(20)的右端表面中間位置安裝有縱向齒輪(21),所述螺旋桿一號(5)的外表面下側且與縱向齒輪(21)對應設置有橫向齒輪(22),螺旋桿一號(5)通過縱向齒輪(21)和橫向齒輪(22)配合與電動機(20)嚙合安裝,其中第一軸承輥(18)通過螺旋桿一號(5)與第二軸承輥(19)平行設置。
4.根據權利要求1所述的一種高性能芯片制造用成品封裝設備,其特征在于,所述箱板主體(1)的內部中間位置且位于封裝模體(13)的下部設置有粉塵槽斗(23),所述螺旋桿二號(10)的外表面靠近下側且位于箱板主體(1)的內側設置有限位輥(24),所述箱板主體(1)的內側位于螺旋桿一號(5)和螺旋桿二號(10)之間且通過第二軸承輥(19)套設有傳動皮帶(25),所述箱板主體(1)的內側壁中間位置兩側且分別與螺旋桿一號(5)和螺旋桿二號(10)對應套設有內置軸承(26),螺旋桿一號(5)通過第二軸承輥(19)和傳動皮帶(25)配合與螺旋桿二號(10)傳動安裝,封裝模體(13)通過粉塵槽斗(23)與箱板主體(1)活動安裝,螺旋桿二號(10)通過內置軸承(26)與箱板主體(1)旋轉安裝,箱板主體(1)的前端表面中間位置與粉塵槽斗(23)貫穿開設有出塵口。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





