[發(fā)明專利]真空泵的制造方法在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 202011238072.1 | 申請日: | 2018-01-26 |
| 公開(公告)號: | CN112524059A | 公開(公告)日: | 2021-03-19 |
| 發(fā)明(設(shè)計)人: | 坪川徹也 | 申請(專利權(quán))人: | 株式會社島津制作所 |
| 主分類號: | F04D19/04 | 分類號: | F04D19/04;F04D29/58;B23D79/00;B23Q3/06 |
| 代理公司: | 北京派特恩知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11270 | 代理人: | 薛恒;王琳 |
| 地址: | 日本京都府京都*** | 國省代碼: | 暫無信息 |
| 權(quán)利要求書: | 查看更多 | 說明書: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 真空泵 制造 方法 | ||
1.一種真空泵的制造方法,所述真空泵包括:
泵框體;
馬達(dá),在所述泵框體內(nèi)旋轉(zhuǎn);
轉(zhuǎn)子,由所述馬達(dá)旋轉(zhuǎn)驅(qū)動;
定子,設(shè)置在所述轉(zhuǎn)子與所述泵框體之間;以及
隔熱部件,設(shè)置在所述定子與所述泵框體之間,
所述隔熱部件包括圓筒形狀的主體、及設(shè)置于所述主體的內(nèi)周面及外周面中的至少一個面的加工用被夾持部,
所述圓筒形狀的主體包含設(shè)置于所述圓筒形狀的主體的上部的上部接觸面、及設(shè)置于所述圓筒形狀的主體的下部的下部接觸面,
所述上部接觸面經(jīng)機(jī)械加工,且與所述定子接觸,
所述下部接觸面經(jīng)機(jī)械加工,且與所述泵框體接觸,且
所述加工用被夾持部包括突部,其中當(dāng)對所述上部接觸面或所述下部接觸面進(jìn)行機(jī)械加工時,使用加工夾具來夾持所述突部,且所述加工用被夾持部設(shè)置于軸方向上的所述上部接觸面與所述下部接觸面之間的位置;
所述真空泵的制造方法包含:
通過利用所述加工夾具來夾持所述突部的上表面與下表面,而將所述隔熱部件安裝于所述加工夾具的工序;
在利用所述加工夾具來夾持所述突部的狀態(tài)下,利用切削工具對所述上部接觸面或所述下部接觸面進(jìn)行切削的工序;
使所述上部接觸面接觸所述定子,通過金屬接觸而形成真空密封的工序;以及
使所述下部接觸面接觸所述泵框體,通過金屬接觸而形成真空密封的工序。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空泵的制造方法,其中
所述隔熱部件在所述主體的所述內(nèi)周面及所述外周面分別包括所述加工用被夾持部。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的真空泵的制造方法,其中
所述主體包括沿著軸方向分割而成的至少第一圓筒部及第二圓筒部,
所述第一圓筒部及所述第二圓筒部各自在所述內(nèi)周面及所述外周面中的至少一個面分別包括所述加工用被夾持部。
4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的真空泵的制造方法,其中
在所述隔熱部件的圓筒形狀的主體的上下兩端,未形成沿著外周方向延伸的凸緣。
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