[發(fā)明專(zhuān)利]硅晶體太陽(yáng)能電池電極柵線印刷性評(píng)價(jià)方法及其應(yīng)用有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 202011232285.3 | 申請(qǐng)日: | 2020-11-06 |
| 公開(kāi)(公告)號(hào): | CN112509936B | 公開(kāi)(公告)日: | 2023-09-15 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 郭方箐;胡冰峰;林綱正;陳剛 | 申請(qǐng)(專(zhuān)利權(quán))人: | 浙江愛(ài)旭太陽(yáng)能科技有限公司;廣東愛(ài)旭科技有限公司;天津愛(ài)旭太陽(yáng)能科技有限公司 |
| 主分類(lèi)號(hào): | H01L21/66 | 分類(lèi)號(hào): | H01L21/66 |
| 代理公司: | 廣州三環(huán)專(zhuān)利商標(biāo)代理有限公司 44202 | 代理人: | 胡楓;李素蘭 |
| 地址: | 322009 浙江省*** | 國(guó)省代碼: | 浙江;33 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 晶體 太陽(yáng)能電池 電極 印刷 評(píng)價(jià) 方法 及其 應(yīng)用 | ||
本發(fā)明公開(kāi)了一種硅晶體太陽(yáng)能電池電極柵線印刷性評(píng)價(jià)方法,其包括提供硅片,在硅片上制絨、鍍膜,不同寬度的柵線,烘干燒結(jié)后得到帶有電極柵線的硅片;然后測(cè)定各電極柵線的寬度、高度以及柵線電阻,計(jì)算印刷飽滿度,進(jìn)而通過(guò)印刷飽滿度評(píng)價(jià)印刷性,并獲取較優(yōu)的漿料參數(shù)、制絨參數(shù)、印刷參數(shù)和網(wǎng)版參數(shù)。相應(yīng)的,本發(fā)明還公開(kāi)了上述評(píng)價(jià)方法的應(yīng)用。實(shí)施本發(fā)明,可準(zhǔn)確、全面地評(píng)價(jià)太陽(yáng)能電池印刷性,且其效率高,無(wú)需多次印刷,節(jié)省成本。
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明涉及太陽(yáng)能電池技術(shù)領(lǐng)域,尤其涉及一種硅晶體太陽(yáng)能電池電極柵線印刷性評(píng)價(jià)方法及其應(yīng)用。
背景技術(shù)
電極柵線在晶體硅太陽(yáng)能電池中起到收集光生載流子的作用,其性能對(duì)電池轉(zhuǎn)換效率影響巨大。現(xiàn)有的電極柵線是采用電極漿料印刷、燒成后所得。電極漿料本身的可印刷性、電極漿料與網(wǎng)版、制絨后硅片的匹配程度極大的影響了晶體硅太陽(yáng)能電池的各項(xiàng)性能。因此,如何快速的評(píng)價(jià)漿料的性能、漿料與網(wǎng)版、印刷參數(shù)、以及制絨參數(shù)之間的匹配性(即電極柵線的印刷性)顯得極為重要。
現(xiàn)有技術(shù)中,一般是通過(guò)電致發(fā)光(EL)測(cè)試進(jìn)行實(shí)驗(yàn),即將漿料、印刷參數(shù)、網(wǎng)版參數(shù)、制絨參數(shù)進(jìn)行正交試驗(yàn)設(shè)計(jì),然后進(jìn)行印刷、燒成,對(duì)燒成后樣品統(tǒng)一進(jìn)行EL測(cè)試,進(jìn)而對(duì)印刷性進(jìn)行評(píng)價(jià)。然而,EL缺陷的發(fā)生是概率性事件,因此,往往需要大量的印刷工作,往往需要上萬(wàn)片的印刷才能完成整體印刷性評(píng)價(jià)工作;一者工作量巨大,二者也容易造成漿料、網(wǎng)版的浪費(fèi),成本很高。
針對(duì)上述問(wèn)題,中國(guó)專(zhuān)利CN109494168A提供了一種晶硅太陽(yáng)能電池金屬化柵線電性能測(cè)試方法,其在硅片表面印刷不同寬度的柵線,燒成后測(cè)試電極柵線的線電阻,進(jìn)而評(píng)價(jià)漿料性能,例如同等線寬線電阻越小,則說(shuō)明印刷越飽滿,漿料性能更加優(yōu)良;然而這種方法一者需要設(shè)置對(duì)比組,方法麻煩;二者僅僅通過(guò)柵線電阻反應(yīng)漿料的印刷性,不夠全面準(zhǔn)確。中國(guó)專(zhuān)利CN102569503A公開(kāi)了一種評(píng)價(jià)晶硅太陽(yáng)能電池片副柵線高寬比的方法,其通過(guò)柵線的橫截面積和柵線寬度構(gòu)建了新的評(píng)價(jià)參數(shù),并通過(guò)該評(píng)價(jià)參數(shù)對(duì)印刷后的柵線進(jìn)行評(píng)價(jià)。這種方法僅考慮了電極柵線的形貌參數(shù),也難以全面準(zhǔn)確地評(píng)價(jià)印刷性。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明要解決的技術(shù)問(wèn)題在于,提供一種硅晶體太陽(yáng)能電池電極柵線印刷性評(píng)價(jià)方法,其可全面準(zhǔn)確地評(píng)價(jià)電極柵線的印刷性以及其電極漿料與印刷參數(shù)、網(wǎng)版參數(shù)、制絨參數(shù)之間的匹配性,且所需印刷量小,效率高。
本發(fā)明還要解決的技術(shù)問(wèn)題在于,提供一種硅晶體太陽(yáng)能電池電極柵線印刷性評(píng)價(jià)方法在晶體硅太陽(yáng)能電池制絨參數(shù)、印刷參數(shù)、網(wǎng)版參數(shù)確定過(guò)程中的應(yīng)用。
本發(fā)明還要解決的技術(shù)問(wèn)題在于,提供一種硅晶體太陽(yáng)能電池電極柵線印刷性評(píng)價(jià)方法在晶體硅太陽(yáng)能電池電極漿料評(píng)價(jià)過(guò)程中的應(yīng)用。
為了解決上述技術(shù)問(wèn)題,本發(fā)明提供了一種硅晶體太陽(yáng)能電池電極柵線印刷性評(píng)價(jià)方法,其包括:
(1)提供硅片;
(2)采用預(yù)設(shè)制絨參數(shù)對(duì)所述硅片進(jìn)行制絨,得到設(shè)有預(yù)設(shè)絨面的硅片;
(3)對(duì)設(shè)有預(yù)設(shè)絨面的硅片進(jìn)行鍍膜,得到待印刷硅片;
(4)采用預(yù)定的電極漿料,以預(yù)設(shè)的印刷參數(shù)、網(wǎng)版參數(shù)在所述待印刷硅片表面印刷多根不同寬度的柵線,并烘干燒結(jié),得到帶有電極柵線的硅片;
(5)測(cè)定所述電極柵線的長(zhǎng)度、寬度、高度和柵線電阻;
(6)根據(jù)下述公式組計(jì)算電極柵線的平均截面積和印刷飽滿度
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H01L21-66 .在制造或處理過(guò)程中的測(cè)試或測(cè)量
H01L21-67 .專(zhuān)門(mén)適用于在制造或處理過(guò)程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置;專(zhuān)門(mén)適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過(guò)程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個(gè)固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





