[發明專利]一種高精度電容容值調節方法

在審

• 申請號: 202011229214.8
• 申請日: 2020-11-06
• 公開（公告）號: CN112599357A
• 公開（公告）日: 2021-04-02
• 發明（設計）人: 王璐菊;耿廣善;吳海榮
• 申請（專利權）人: 蘇州博維儀器科技有限公司
• 主分類號: H01G5/38
• 分類號: H01G5/38;H01G5/01
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本發明公開了一種高精度電容容值調節方法，包括外殼，所述外殼內部的頂端安裝有第一直流電機，所述第一直流電機的輸出端驅動有第一聯軸器，所述第一聯軸器上安裝有第二聯軸器，所述第二聯軸器上連接有第一真空電容，所述外殼內部的底端安裝有第二直流電機，所述第二直流電機的輸出端驅動有第三聯軸器，所述第三聯軸器上安裝有第四聯軸器，所述第四聯軸器上連接有第二真空電容。本發明，采用直流電機通過聯動軸帶動真空電容的調節；電容的調節精度小于0.1pF；直流電機的聯動調節電容容值的重復性小于1%，大大優于手動調節；通過簡單的機械加工，即可實現，無需復雜操作，安裝方便。

技術領域

本發明涉及光譜儀技術領域，具體是一種高精度電容容值調節方法。

背景技術

ICP光譜儀的工作原理為全固態射頻電源產生27.12MHz的高頻震蕩磁場加載到負責終端匹配箱上的高頻線圈上，但產生的高頻磁場如何完美的由匹配箱電路完全吸納，是儀器工作的關鍵，也是能否順利近一萬攝氏度的高溫等離子體的關鍵。

因此匹配箱內部全陶瓷真空電容的工作狀態起到決定性作用，只有把真空電容的容值調整到正確的數值上，匹配箱才能最大程度地發揮作用。但真空電容的容值調節的誤差范圍為±5pF，而且點火狀態和工作狀態需要進行精準切換，數值如果存在差異會導致儀器無法正常工作，需要專業人員借助專用現場重新調試，給使用者帶來較大的不便。

發明內容

本發明的目的在于提供一種高精度電容容值調節方法，以解決現有技術中的問題。

為實現上述目的，本發明提供如下技術方案：一種高精度電容容值調節方法，包括外殼，所述外殼內部的頂端安裝有第一直流電機，所述第一直流電機的輸出端驅動有第一聯軸器，所述第一聯軸器上安裝有第二聯軸器，所述第二聯軸器上連接有第一真空電容，所述外殼內部的底端安裝有第二直流電機，所述第二直流電機的輸出端驅動有第三聯軸器，所述第三聯軸器上安裝有第四聯軸器，所述第四聯軸器上連接有第二真空電容。

優選的，所述第一直流電機的輸出端安裝有第一小齒輪，所述第一小齒輪上安裝有第一大齒輪，所述第一大齒輪上安裝有第一聯軸器，所述第二直流電機的輸出端安裝有第二小齒輪，所述第二小齒輪上安裝有第二大齒輪，所述第二大齒輪上安裝有第三聯軸器。

優選的，所述第一真空電容為170PF真空電容，所述第二真空電容為500PF真空電容。

優選的，所述第一直流電機和第二直流電機結構相同，所述第一小齒輪和第二小齒輪結構相同，所述第一大齒輪和第二大齒輪結構相同，所述第一聯軸器和第三聯軸器結構相同，所述第二聯軸器和第四聯軸器結構相同。

與現有技術相比，本發明的有益效果是：采用直流電機通過聯動軸帶動真空電容的調節；電容的調節精度小于0.1pF；直流電機的聯動調節電容容值的重復性小于1%，大大優于手動調節；通過簡單的機械加工，即可實現，無需復雜操作，安裝方便。

附圖說明

附圖用來提供對本發明的進一步理解，并且構成說明書的一部分，與本發明的實施例一起用于解釋本發明，并不構成對本發明的限制。在附圖中：

圖1為本發明的主視圖。

圖2為本發明的側視圖。

圖3為本發明殼體的結構示意圖。

圖中：1、外殼；2、第一直流電機；3、第一大齒輪；4、第一小齒輪；5、第一聯軸器；6、第二聯軸器；7、第一真空電容；8、第二直流電機；9、第二大齒輪；10、第二小齒輪；11、第三聯軸器；12、第四聯軸器；13、第二真空電容。

具體實施方式