[發明專利]一種探針結構及其安裝方法、閉路方法、抗干擾方法

有效

• 申請號: 202011228331.2
• 申請日: 2020-11-06
• 公開（公告）號: CN112305395B
• 公開（公告）日: 2021-05-28
• 發明（設計）人: 金永斌;賀濤;丁寧;朱偉
• 申請（專利權）人: 法特迪精密科技（蘇州）有限公司
• 主分類號: G01R31/26
• 分類號: G01R31/26;G01R1/067;G01R1/04
• 代理公司: 蘇州創元專利商標事務所有限公司 32103
• 代理人: 范晴;王凱

本發明公開了一種探針結構及其安裝方法、閉路方法、抗干擾方法，涉及半導體技術領域，解決現有:待測物體和探針接觸損傷、待測物體與探針接觸不穩定的問題。其包括：探針以及配套的插座；探針插套于插座內的柱形管中，探針的兩側柱端可沿其軸向彈性伸縮；探針包括抵觸至測試構件上焊墊的第二柱端、與待測物體間接接觸的第一柱端；儲液管與所述第一柱端同軸向布置，其包括朝向待測物的漏斗狀管口，及脹塞于儲液管內的活塞；漏斗狀管口通過襯墊封堵環以抵觸至待測物體表面；第一柱端通過絲杠螺母連接活塞并推壓活塞內導電流體與待測物體接觸實現電性連接；第二柱端與測試結構電性連接。

技術領域

本發明涉及半導體技術領域，尤其涉及一種測試裝置及測試方法。

背景技術

經歷了復雜工藝過程的半導體器件要接受各種類型的電測試，以測試它們的特性及其缺陷。為了這個目的，利用插座和探針將安裝在測試設備內的測試板（印刷電路板）的金屬電線或接觸墊和待測試器件(半導體封裝)的外部接頭進行電連接。

例如中國發明專利《探針模塊與插座》，申請號為CN201880068269.X，一種探針模塊。包括：導電管；探針，被非接觸式地插入于管中且可沿長度方向彈性伸縮；以及絕緣探針支撐部件，被配置成在管的內壁與探針的外表面之間支撐探針。具有彈性伸縮的探針端部可以直接接觸在物體表面，雖然其電傳導效果正常，但是測試電路板器件時，仍然存在以下問題：

（1）金屬探針在施加力的作用下與待測物體基板表面接觸時，力的作用下接觸處產生相互的壓痕，出現探針的靈敏性降低、電路板形成扎痕的問題；

（2）待測定點與探針之間在接觸時存在滑動，造成接觸不穩定、電阻變化較大的問題，從而導致測試誤差變大。

發明內容

本發明的技術方案是：一種探針安裝方法及閉路方法及應用，用以解決現有的對待測物體和探針的損傷和待測物體與探針接觸不穩定的問題。

本方案中涉及的測試裝置主要包括：探針、插座、支撐架和測試構件。

探針設置在插座內，插座通過支撐架固定于待測物體和測試構件之間。

探針包括：套筒、第一柱端、彈簧、第二柱端。套筒為中空體，其兩端開口。套筒的兩端內對應裝配第一柱端、第二柱端，同時套筒的彈簧作用于兩端之間且為第一柱端、第二柱端提供伸縮彈力。在彈簧的形變力作用下，第一柱端與待測物體產生電性連接，第二柱端則與測試構件產生電性連接。

探針插套于一根柱形管中，探針位于柱形管的軸芯處與柱形管的內壁形成非接觸式布置。柱形管的兩端分別裝配一固定環，固定環與柱形管的內壁通過螺紋配合以實現裝配。探針的柱端均可以從固定環上的軸孔中穿出，且探針的套筒端部可以與固定環進行配合。

具體的固定環上形成一個階梯式的軸孔，小孔段與探針的柱端形成滑動配合，大孔段則與探針的套筒端部進行螺紋配合。這樣可以將探針穩定的裝配在柱形管內，同時裝配過程也較為方便。即，先旋緊柱形管底部固定環，再將探針插入柱形管中；探針下端穿過下側固定環軸孔，將探針與下側固定環旋緊；蓋上柱形管上側固定環，旋緊上側固定環，上側固定環同時與柱形管上端口、探針套筒上端進行螺紋連接。

插套探針的柱形管裝配在一個插座內，插座包括一個與柱形管外形相同的內腔，柱形管插入該內腔中，柱形管的外壁與插座的內壁形成接觸。插座還包括兩端側的蓋板，即上端側的第一蓋板、下端側的第二蓋板。在第一蓋板和第二蓋板之間的內腔中包括一個間隔擋片，該間隔擋片將該空腔在軸向上分隔成兩個部分：第二蓋板和間隔擋片之間的部分用于裝配柱形管，間隔擋片和第一蓋板之間的部分裝配儲液管。當插套柱形管的探針裝配在插座中時，探針的第一柱端穿過間隔擋片的軸孔與儲液管配合形成了第一柱端與待測物體的電性連接，探針的第二柱端穿過第二蓋板與測試構件形成電性連接。