[發(fā)明專利]飛行時間質(zhì)譜儀檢測室

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202011214307.3
• 申請日: 2020-11-04
• 公開（公告）號: CN112201562A
• 公開（公告）日: 2021-01-08
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 王新娟;肖洋;王琛;闞麗萍
• 申請（專利權(quán)）人: 肖洋
• 主分類號: H01J49/40
• 分類號: H01J49/40;H01J49/02;H01J49/10
• 代理公司: 淄博啟智達知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 37280
• 代理人: 王燕

1.一種飛行時間質(zhì)譜儀檢測室，其特征在于：包括位于上部的加速電場區(qū)(3)、位于中部的無場漂移區(qū)(8)和位于下部的反射區(qū)(14)，加速電場區(qū)(3)通過無場漂移區(qū)(8)與反射區(qū)(14)連通，在加速電場區(qū)(3)內(nèi)部設(shè)有四塊極板，四塊極板由上到下依次為底板(4)、提取極板(5)、中間極板(6)和加速電極板(7)，在無場漂移區(qū)(8)內(nèi)設(shè)置XY偏轉(zhuǎn)板(9)，反射區(qū)(14)內(nèi)設(shè)有三組反射器(13)和檢測器(15)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的飛行時間質(zhì)譜儀檢測室，其特征在于：在加速電場區(qū)一側(cè)的壁上設(shè)置進孔(1)，靠近進孔(1)的位置設(shè)置法拉第杯(2)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的飛行時間質(zhì)譜儀檢測室，其特征在于：底板(4)電壓為-100V～-200V，對提取極板(5)施加脈沖電壓，待測離子進入極板離子引入?yún)^(qū)時，提取極板(5)電壓值與底板(4)電壓值相同，當(dāng)一次進樣后質(zhì)荷比最大的離子進入離子引入?yún)^(qū)時，提取極板(5)電壓值增大到-400V～-450V，中間極板(6)電壓為-500V～-650V，加速電極板(7)電壓為-1800V～-2200V。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的飛行時間質(zhì)譜儀檢測室，其特征在于：檢測室內(nèi)壓力為10^-5-10^-7mbar級別。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的飛行時間質(zhì)譜儀檢測室，其特征在于：進孔(1)的內(nèi)徑為1-1.5mm。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的飛行時間質(zhì)譜儀檢測室，其特征在于：反射區(qū)(14)內(nèi)設(shè)有三組反射器(13)，每組反射器(13)由反射板(12)、套筒(10)和環(huán)形極板(11)構(gòu)成，反射板(12)為圓形，套筒(10)垂直于反射板(12)，套筒(10)的內(nèi)壁上設(shè)置兩組環(huán)形極板(11)。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的飛行時間質(zhì)譜儀檢測室，其特征在于：兩組環(huán)形極板(11)上下分布，靠近套筒開口的一組環(huán)形極板(11)的電壓為-1800V～-2200V，靠近反射板(12)的一組環(huán)形極板(11)的電壓為-1700V～-1900V，反射板(12)電壓為1800V～2000V。

8.根據(jù)權(quán)利要求6或7所述的飛行時間質(zhì)譜儀檢測室，其特征在于：三組反射器(13)分別為第一反射器、第二反射器和第三反射器，第一反射器和第三反射器的套筒開口向上，第二反射器的套筒開口向下，第一反射器和第三反射器位于第二反射器的兩側(cè)且高度相同，第二反射器的高度高于第一反射器和第三反射器。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的飛行時間質(zhì)譜儀檢測室，其特征在于：檢測器(15)為雙微通道板檢測器。