[發明專利]加工裝置和板狀工件的搬入搬出方法

在審

• 申請號: 202011208069.5
• 申請日: 2020-11-03
• 公開（公告）號: CN112775798A
• 公開（公告）日: 2021-05-11
• 發明（設計）人: 宮本弘樹;根本祥光;阿部裕樹;山中聰
• 申請（專利權）人: 株式會社迪思科
• 主分類號: B24B27/00
• 分類號: B24B27/00;B24B7/04;B24B41/00;B24B41/06;B24B49/02;B24B51/00
• 代理公司: 北京三友知識產權代理有限公司 11127
• 代理人: 喬婉;于靖帥

1.一種加工裝置，其具有：

卡盤工作臺，其將板狀工件的下表面吸引保持于保持面；

加工單元，其對該保持面所吸引保持的板狀工件進行加工；

搬入搬出單元，其進行板狀工件向該保持面的搬入和板狀工件從該保持面的搬出；以及

控制單元，

其中，

該搬入搬出單元具有：

搬送墊，其對板狀工件進行吸引保持；

翻轉單元，其使該搬送墊的上表面和下表面翻轉；

上下移動單元，其使該搬送墊沿與該搬送墊的上表面垂直的上下方向移動；以及

水平移動單元，其使該搬送墊沿水平方向移動，

該搬送墊具有：

第1吸引面，其對板狀工件進行吸引保持；以及

第2吸引面，其相對于該第1吸引面背靠背地配置，對該板狀工件進行吸引保持，

該控制單元具有進行如下的用于板狀工件的搬入搬出的動作的控制的功能：

翻轉控制部，其對該翻轉單元進行控制，使在該第1吸引面或該第2吸引面中的任意一方的吸引面上吸引保持有加工前的板狀工件的該搬送墊上下翻轉，使未保持該板狀工件的另一方的吸引面與該卡盤工作臺的該保持面相對；

吸引控制部，其通過該上下移動單元使該搬送墊下降，將該卡盤工作臺所保持的加工后的板狀工件的上表面吸引保持于該另一方的吸引面；

搬出控制部，其對該上下移動單元進行控制，使該搬送墊上升至該吸引面能夠翻轉的高度，將加工后的被加工物從該保持面搬出；以及

搬入控制部，其對該翻轉單元進行控制而使該搬送墊上下翻轉，通過該上下移動單元使該搬送墊下降，將該一方的吸引面所吸引保持的該板狀工件向該保持面搬入。

2.根據權利要求1所述的加工裝置，其中，

在該第1吸引面和該第2吸引面上分別形成有排列有多個的吸盤。

3.一種板狀工件的搬入搬出方法，使用了權利要求1所述的加工裝置，其中，

該板狀工件的搬入搬出方法具有如下的工序：

保持面保持工序，將板狀工件保持于該保持面；

吸引面保持工序，將另外的板狀工件吸引保持于該第1吸引面；

搬出工序，使用該翻轉單元，使該搬送墊的該第2吸引面與該保持面相對，使該第2吸引面接近該保持面，使用該第2吸引面對該保持面所保持的板狀工件的上表面進行吸引保持，從而將板狀工件從該保持面搬出；以及

搬入工序，使用該翻轉單元使從該保持面離開的該搬送墊翻轉，使該搬送墊的對該另外的板狀工件進行保持的該第1吸引面與該保持面相對，使該第1吸引面接近該保持面，從而將該第1吸引面所保持的該另外的板狀工件向該保持面搬入。