[發明專利]一種吸附式半導體加工用防偏移的載物臺

在審

• 申請號: 202011206733.2
• 申請日: 2020-11-03
• 公開（公告）號: CN112327014A
• 公開（公告）日: 2021-02-05
• 發明（設計）人: 夏妙紅
• 申請（專利權）人: 夏妙紅
• 主分類號: G01R1/04
• 分類號: G01R1/04;G01R1/067
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本發明公開一種吸附式半導體加工用防偏移的載物臺，包括底座，所述底座上固定安裝有安裝罩，且安裝罩為開口朝上的U形罩，所述安裝罩前后側內罩壁兩側均轉動安裝有轉軸，且四個轉軸上均固定套設有輥輪。本裝置通過在安裝罩上安裝成對傳送帶，且在成對傳送帶上設聯動的呈整列狀分布的放置芯片的放置機構，在安裝罩左右側端分設進料機構和出料機構，可自動對芯片進行導入和導出，放置機構包括安裝有吸附結構的可調整前后位置的滑座，這樣可自動將導體芯片依次導于各個放置機構上，且能精確保證芯片放置位置，不需要多次調整，且在操作過程中不可能會導致芯片位置偏移，自動拿取芯片，省時省力，從而保證探針探測導體芯片的效率。

技術領域

本發明涉及半導體技術領域，具體為一種吸附式半導體加工用防偏移的載物臺。

背景技術

探針臺主要應用于半導體行業、光電行業、集成電路以及封裝的測試，廣泛應用于復雜、高速器件的精密電氣測量的研發，旨在確保質量及可靠性，并縮減研發時間和器件制工藝的成本。

一般探針臺在利用探針對導體芯片進行操作時，需要人為事先將導體芯片放于放置臺面上，這樣不能精確保證芯片放置位置，需要多次調整，且在操作過程中可能會導致芯片位置偏移，此外人為不斷拿取芯片，必定會花費更多的時間，費時費力，從而影響到探針探測導體芯片的效率，鑒于此，我們提出一種吸附式半導體加工用防偏移的載物臺用于解決上述問題。

發明內容

本發明的目的在于提供一種吸附式半導體加工用防偏移的載物臺，以解決上述背景技術中提出的問題。

為實現上述目的，本發明提供如下技術方案：一種吸附式半導體加工用防偏移的載物臺，包括底座，所述底座上固定安裝有安裝罩，且安裝罩為開口朝上的U形罩，所述安裝罩前后側內罩壁兩側均轉動安裝有轉軸，且四個轉軸上均固定套設有輥輪，前后側中位于同側的兩個所述轉軸套設有同一傳送帶，且兩個傳送帶上固定安裝有同一固定座，所述固定座沿兩個傳送帶均呈陣列狀等距離分布，且固定座上安裝有滑座，所述滑座上固定套設有橡膠套，且橡膠套上吸附有芯片，所述橡膠套內套壁上固定安裝有網架，且網架上固定安裝有信號接收模塊，所述安裝罩一側內罩壁兩端均轉動安裝有轉動氣筒，且兩個轉動氣筒上套設有同一環帶，所述轉動氣筒上安裝有出氣插頭，所述環帶內設有導氣腔，且環帶內腔壁上固定安裝有密封環墊，所述密封環墊上設有氣孔，且氣孔沿密封環墊呈陣列狀等距離分布，所述環帶正對氣孔的帶面上設有插口，所述安裝罩內罩壁上固定安裝有成對吸氣機，且兩個吸氣機吸氣端分別和兩個轉動氣筒筒腔相連通，所述環帶上連通有導氣管，且導氣管沿環帶呈陣列狀等距離分布，所述伸縮器管遠離環帶的一端固定于相鄰橡膠套上，所述安裝罩好兩外側罩壁上均固定安裝有第一液壓缸，兩個所述第一液壓缸自由端均延伸至安裝罩罩腔內，且兩個延伸端分別固定安裝有推板，所述安裝罩兩側邊頂端固定安裝有同一頂板，且頂板上固定安裝有第二液壓缸，所述第二液壓缸自由端固定安裝有升降板，且升降板上固定安裝有探測針和觀測臺，所述升降板上轉動安裝有轉動架，且轉動架上固定安裝有信號發射模塊，所述安裝罩上固定安裝有上架，且上架上固定安裝有進料帶和進料導盒，所述進料導盒底盒壁上設有出料口，所述安裝罩上固定安裝有下架，且下架上固定安裝有出料導盒和出料帶。

優選的，所述固定座為開口朝上的U形座，且固定座兩內側壁上均設有滑槽，滑座兩端分別延伸至兩個滑槽內，且可沿相應滑槽內槽壁滑動。

優選的，所述安裝罩兩側罩壁上均設有安裝腔，且兩個安裝腔內均設有主動齒輪和從動齒輪，相鄰所述轉軸延伸至安裝腔內，且主動齒輪套設于轉軸延伸端上，所述安裝罩兩外罩壁上均固定安裝有第一電機，且兩個第一電機輸出端分別和兩個轉軸延伸端固定連接，所述安裝腔內腔壁上轉動安裝有轉柱，且轉柱固定連接于相鄰轉動氣筒上，所述從動齒輪固定套設于轉柱上，且主動齒輪和從動齒輪相嚙合。

優選的，所述吸氣機吸氣端連通有吸氣管，所述轉動氣筒上設有氣口，且吸氣管遠離吸氣機的一端貫穿氣口。