[發明專利]一種吸附式半導體加工用防偏移的載物臺

在審

• 申請號: 202011206733.2
• 申請日: 2020-11-03
• 公開（公告）號: CN112327014A
• 公開（公告）日: 2021-02-05
• 發明（設計）人: 夏妙紅
• 申請（專利權）人: 夏妙紅
• 主分類號: G01R1/04
• 分類號: G01R1/04;G01R1/067
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種吸附式半導體加工用防偏移的載物臺，包括底座(1)，其特征在于：所述底座(1)上固定安裝有安裝罩(2)，且安裝罩(2)為開口朝上的U形罩，所述安裝罩(2)前后側內罩壁兩側均轉動安裝有轉軸(3)，且四個轉軸(3)上均固定套設有輥輪(4)，前后側中位于同側的兩個所述轉軸(3)套設有同一傳送帶(5)，且兩個傳送帶(5)上固定安裝有同一固定座(7)，所述固定座(7)沿兩個傳送帶(5)均呈陣列狀等距離分布，且固定座(7)上安裝有滑座(8)，所述滑座(8)上固定套設有橡膠套(20)，且橡膠套(20)上吸附有芯片(9)，所述橡膠套(20)內套壁上固定安裝有網架(37)，且網架(37)上固定安裝有信號接收模塊(38)，所述安裝罩(2)一側內罩壁兩端均轉動安裝有轉動氣筒(14)，且兩個轉動氣筒(14)上套設有同一環帶(17)，所述轉動氣筒(14)上安裝有出氣插頭(36)，所述環帶(17)內設有導氣腔，且環帶(17)內腔壁上固定安裝有密封環墊(39)，所述密封環墊(39)上設有氣孔，且氣孔沿密封環墊(39)呈陣列狀等距離分布，所述環帶(17)正對氣孔的帶面上設有插口，所述安裝罩(2)內罩壁上固定安裝有成對吸氣機(16)，且兩個吸氣機(16)吸氣端分別和兩個轉動氣筒(14)筒腔相連通，所述環帶(17)上連通有導氣管(10)，且導氣管(10)沿環帶(17)呈陣列狀等距離分布，所述伸縮器管(10)遠離環帶(17)的一端固定于相鄰橡膠套(20)上，所述安裝罩好(2)兩外側罩壁上均固定安裝有第一液壓缸(18)，兩個所述第一液壓缸(18)自由端均延伸至安裝罩(2)罩腔內，且兩個延伸端分別固定安裝有推板(19)，所述安裝罩(2)兩側邊頂端固定安裝有同一頂板(28)，且頂板(28)上固定安裝有第二液壓缸(27)，所述第二液壓缸(27)自由端固定安裝有升降板(29)，且升降板(29)上固定安裝有探測針(34)和觀測臺(35)，所述升降板(29)上轉動安裝有轉動架(32)，且轉動架(32)上固定安裝有信號發射模塊(33)，所述安裝罩(2)上固定安裝有上架(21)，且上架(21)上固定安裝有進料帶(22)和進料導盒(23)，所述進料導盒(23)底盒壁上設有出料口，所述安裝罩(2)上固定安裝有下架(24)，且下架(24)上固定安裝有出料導盒(25)和出料帶(26)。

2.根據權利要求1所述的一種吸附式半導體加工用防偏移的載物臺，其特征在于：所述固定座(7)為開口朝上的U形座，且固定座(7)兩內側壁上均設有滑槽，滑座(8)兩端分別延伸至兩個滑槽內，且可沿相應滑槽內槽壁滑動。

3.根據權利要求1所述的一種吸附式半導體加工用防偏移的載物臺，其特征在于：所述安裝罩(2)兩側罩壁上均設有安裝腔，且兩個安裝腔內均設有主動齒輪(11)和從動齒輪(13)，相鄰所述轉軸(3)延伸至安裝腔內，且主動齒輪(11)套設于轉軸(3)延伸端上，所述安裝罩(2)兩外罩壁上均固定安裝有第一電機(6)，且兩個第一電機(6)輸出端分別和兩個轉軸(3)延伸端固定連接，所述安裝腔內腔壁上轉動安裝有轉柱(12)，且轉柱(12)固定連接于相鄰轉動氣筒(14)上，所述從動齒輪(13)固定套設于轉柱(12)上，且主動齒輪(11)和從動齒輪(13)相嚙合。

4.根據權利要求1所述的一種吸附式半導體加工用防偏移的載物臺，其特征在于：所述吸氣機(16)吸氣端連通有吸氣管(15)，所述轉動氣筒(14)上設有氣口，且吸氣管(15)遠離吸氣機(16)的一端貫穿氣口。

5.根據權利要求1所述的一種吸附式半導體加工用防偏移的載物臺，其特征在于：所述升降板(29)上設有U形口，且U形口內口壁上轉動安裝有轉桿(31)所述轉桿(31)上固定套設有轉動架(32)，所述升降板(29)外側端固定安裝有第二電機(30)，且第二電機(30)輸出端和轉桿(31)固定連接。

6.根據權利要求1所述的一種吸附式半導體加工用防偏移的載物臺，其特征在于：所述轉動氣筒(14)筒壁上設有安裝口，且安裝口內口壁上固定安裝有出氣插頭(36)，所述出氣插頭(36)呈錐形頭狀，且出氣插頭(36)沿轉動氣筒(14)呈環形陣列狀分布。