[發明專利]一種離軸拋物鏡光軸檢測裝置及檢測方法

有效

• 申請號: 202011184052.0
• 申請日: 2020-10-29
• 公開（公告）號: CN112254938B
• 公開（公告）日: 2023-01-17
• 發明（設計）人: 馬云飛;韓雪峰;孟慶斌;李岳峰;董續勇;周景歡
• 申請（專利權）人: 中國航空工業集團公司洛陽電光設備研究所
• 主分類號: G01M11/02
• 分類號: G01M11/02
• 代理公司: 北京清大紫荊知識產權代理有限公司 11718
• 代理人: 彭一波

1.一種離軸拋物鏡光軸檢測裝置，其特征在于，包括激光干涉儀、三維平移臺、標準球面反射鏡、自準直光管和五維調整臺；

所述激光干涉儀用于向所述離軸拋物鏡發射平行光；

所述離軸拋物鏡接收所述平行光使其會聚形成會聚光；所述離軸拋物鏡背面加工為裝調基準，與自身光軸呈90度關系；所述標準球面反射鏡設置在所述三維平移臺上，用于在所述三維平移臺的位置調整下，反射所述會聚光形成發散光，使所述發散光通過所述離軸拋物鏡反射回所述激光干涉儀；

所述激光干涉儀還用于基于所述離軸拋物鏡反射回的光束檢測所述離軸拋物鏡的面形信息；

所述五維調整臺用于放置所述離軸拋物鏡，并通過自身基于所述面形信息調整所述離軸拋物鏡的空間位置，使所述離軸拋物鏡的光軸與所述激光干涉儀的光軸平行；

所述自準直光管與所述激光干涉儀準直設置，用于基于所述離軸拋物鏡的光軸與所述激光干涉儀的光軸平行時所述離軸拋物鏡的面形信息，檢測所述離軸拋物鏡的背面光軸基準與所述離軸拋物鏡的光軸的角度偏差。

2.根據權利要求1所述的一種離軸拋物鏡光軸檢測裝置的一種檢測方法，其特征在于，包括以下步驟：

1)將自準直光管與激光干涉儀準直；

2)通過所述激光干涉儀和標準球面反射鏡檢測所述離軸拋物鏡的面形信息；

3)基于所述面形信息不斷調整離軸拋物鏡的空間位置以及所述標準球面反射鏡，使所述離軸拋物鏡的光軸平行于所述激光干涉儀的光軸；

4)通過所述自準直光管，基于所述離軸拋物鏡的光軸與所述激光干涉儀的光軸平行時所述離軸拋物鏡的面形信息，檢測所述離軸拋物鏡的背面光軸基準與所述離軸拋物鏡的光軸的角度偏差。

3.根據權利要求2所述的檢測方法，其特征在于，所述步驟1)的準直方法為：在所述自準直光管接通電源后，將所述自準直光管的亮十字絲對準所述激光干涉儀的畫面十字中心。

4.根據權利要求2所述的檢測方法，其特征在于，所述步驟2)中測量所述離軸拋物鏡的面形的方法為：保持激光干涉儀與自準直光管不動，將離軸拋物鏡固定于五維調整臺上，在離軸拋物鏡的光束會聚點附近放置標準球面反射鏡，利用三維平移臺移動標準球面反射鏡的空間位置，反射會聚光至離軸拋物鏡，離軸拋物鏡將此光束返回至激光干涉儀中，利用激光干涉儀測量此時離軸拋物鏡的面形。

5.根據權利要求4所述的檢測方法，其特征在于，所述步驟3)中，使所述離軸拋物鏡的光軸平行于激光干涉儀光軸的方法為：第一次利用激光干涉儀測量出離軸拋物鏡的面形后，讀出Zernike系數，利用五維調整臺和三維平移臺調整離軸拋物鏡及標準球面反射鏡的空間位置，將Zernike系數的離焦及慧差項調至接近于0，此時離軸拋物鏡的光軸平行于激光干涉儀光軸。

6.根據權利要求5所述的檢測方法，其特征在于，所述步驟4)中的角度偏差讀取方法為：

在Zernike系數的離焦及慧差項接近于0時，通過所述自準直光管直接讀取所述離軸拋物鏡背面光軸基準與所述離軸拋物鏡光軸的角度偏差。