[發明專利]一種晶片清洗槽及晶片清洗方法

在審

• 申請號: 202011181612.7
• 申請日: 2020-10-29
• 公開（公告）號: CN112466780A
• 公開（公告）日: 2021-03-09
• 發明（設計）人: 畢洪偉;周一
• 申請（專利權）人: 威科賽樂微電子股份有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L21/02
• 代理公司: 廣州市華學知識產權代理有限公司 44245
• 代理人: 張晨

1.一種晶片清洗槽，包括槽體以及和槽體相匹配的槽蓋，所述槽體上設置有進水口和出水口，其特征在于，所述槽體內固定安裝有旋轉裝置，所述旋轉裝置包括轉動安裝在槽體底面的旋轉底座，以及安裝在旋轉底座上的轉動機構和兩組驅動機構，兩組所述驅動機構分別安裝在旋轉底座相對稱的位置，所述轉動機構包括轉動軸，所述轉動軸上套設有轉動柱，所述轉動軸的兩端和對應的驅動機構之間連接有支撐桿，一側所述支撐桿上固定安裝有旋轉電機，所述旋轉電機的輸出軸和轉動軸固定連接。

2.根據權利要求1所述的一種晶片清洗槽，其特征在于，所述旋轉底座上于轉動柱對應的位置開設有弧形凹槽，所述轉動柱位于弧形凹槽內，且與弧形凹槽的表面不接觸，所述弧形凹槽的深度尺寸小于轉動柱的直徑尺寸。

3.根據權利要求2所述的一種晶片清洗槽，其特征在于，所述旋轉底座上于弧形凹槽的兩側還對稱開設有固定凹槽，所述固定凹槽和弧形凹槽平行設置。

4.根據權利要求3所述的一種晶片清洗槽，其特征在于，所述旋轉底座上還安裝有固定夾具。

5.根據權利要求1所述的一種晶片清洗槽，其特征在于，所述驅動機構包括驅動板，所述驅動板的一端和支撐桿相連接，所述驅動板上開設有腰形孔，所述腰形孔內周表面設置有齒條，所述旋轉底座上固定安裝有驅動電機，所述驅動電機的輸出軸上安裝有主動半齒輪，所述主動半齒輪位于腰形孔內，且與齒條相嚙合。

6.根據權利要求5所述的一種晶片清洗槽，其特征在于，所述槽體的側壁和槽蓋的內壁上均勻安裝有多根噴水管。

7.根據權利要求6所述的一種晶片清洗槽，其特征在于，所述噴水管上開設有若干噴水孔，若干所述噴水孔沿著噴水管的軸向矩陣排列。

8.根據權利要求7所述的一種晶片清洗槽，其特征在于，所述槽體的側壁上還安裝有液位計。

9.一種晶片清洗方法，其特征在于，所述清洗方法使用如權利要求1至權利要求8任一權利要求所述的晶片清洗槽，具體為：將待洗晶片放入卡塞內，再將卡塞固定在旋轉底座上，向槽體中加入去離子水，開啟旋轉裝置，旋轉底座轉動帶動卡塞、晶片旋轉，同時驅動機構帶動轉動機構上下運動，進而帶動晶片上下運動進行一次清洗，一次清洗完成后，放出槽體內的去離子水，通過噴水管向晶片表面噴灑去離子水，再開啟旋轉電機，旋轉電機帶動轉動軸、帶動轉動柱旋轉，進而帶動晶片旋轉進行二次清洗，二次清洗完成后，取出卡塞與晶片，清洗結束。