[發(fā)明專利]拋光墊、其制備方法及使用其制備半導(dǎo)體器件的方法有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 202011179547.4 | 申請日： | 2020-10-29 |
| 公開（公告）號： | CN112743450B | 公開（公告）日： | 2023-09-05 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 鄭恩先;尹鐘旭;尹晟勛;徐章源 | 申請（專利權(quán)）人： | SKC索密思株式會社 |
| 主分類號： | B24B37/24 | 分類號： | B24B37/24;B24B37/10;C08L75/04;C08J9/04;H01L21/306 |
| 代理公司： | 上海弼興律師事務(wù)所 31283 | 代理人： | 王衛(wèi)彬 |
| 地址： | 韓國*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 拋光 制備 方法 使用 半導(dǎo)體器件 | ||
1.一種拋光墊，其包括拋光層，所述的拋光層包括包含氨基甲酸酯類預(yù)聚物、固化劑和發(fā)泡劑的組合物的固化產(chǎn)物，
其中，發(fā)泡劑包含固相發(fā)泡劑，基于組合物的總重量，所述固相發(fā)泡劑的含量為0.1％～2.0％，
其中，基于拋光層的總重量，所述的拋光層中氧元素的含量為15％～19％，
基于拋光層的總重量，所述的拋光層中氮和氧元素的總含量為20％～27％。
2.如權(quán)利要求1所述的拋光墊，其中，基于拋光層的總重量，所述的拋光層中碳、氮、氧和氫元素的總含量為92％～96％，或者，
基于拋光層中碳、氮、氧和氫元素的總含量，所述的拋光層中的氮、氧和氫元素的總含量為30％～35％；或者
同時滿足上述兩種情況。
3.如權(quán)利要求1所述的拋光墊，其中，所述的氨基甲酸酯類預(yù)聚物包含至少一種二異氰酸酯化合物和至少兩種多元醇的預(yù)聚合反應(yīng)的產(chǎn)物，所述的至少兩種多元醇為至少一種單分子型多元醇和至少一種聚合物型多元醇，所述的拋光墊滿足以下條件中的至少一個：
所述的二異氰酸酯化合物和所述的多元醇混合的重量比為1:1.35～1.55；
所述的單分子型多元醇和所述的聚合物型多元醇混合的重量比為1:8～10；
所述的二異氰酸酯化合物和所述的聚合物型多元醇混合的重量比為1∶1.2～1.43；和
所述的二異氰酸酯化合物和所述的單分子型多元醇混合的重量比為1:0.11～0.15。
4.如權(quán)利要求3所述的拋光墊，其中，基于所述的組合物的總重量，所述的拋光墊滿足以下條件中的至少一個：
所述的二異氰酸酯化合物的含量為29.9％～35％；
所述的聚合物型多元醇的含量為35％～42.8％；
所述的單分子型多元醇的含量為4.0％～4.5％；和
所述的固化劑的含量為16％～20％。
5.如權(quán)利要求3所述的拋光墊，其中，所述的聚合物型多元醇選自由聚四氫呋喃均聚醚、聚四亞甲基醚二醇、聚醚多元醇、聚酯多元醇、聚碳酸酯多元醇和聚己內(nèi)酯多元醇組成的組中的至少一種；
和，所述的單分子型多元醇選自由乙二醇、二甘醇、1,2-丙二醇、1,3-丙二醇和甲基丙二醇組成的組中的至少一種。
6.一種拋光墊，其包括拋光層，所述的拋光層包括包含氨基甲酸酯類預(yù)聚物、固化劑和發(fā)泡劑的組合物的固化產(chǎn)物，
其中，發(fā)泡劑包含固相發(fā)泡劑，基于組合物的總重量，所述固相發(fā)泡劑的含量為0.1％～2.0％，
其中，基于拋光層的總重量，所述的拋光層中的氮元素的含量為7％以上，
和，基于拋光層總重量，所述的拋光層中的氮、碳、氧、氫元素的總含量為90％～96％。
7.如權(quán)利要求6所述的拋光墊，其中，所述的氨基甲酸酯類預(yù)聚物包含至少兩種二異氰酸酯化合物和至少一種多元醇的預(yù)聚合反應(yīng)的產(chǎn)物，所述的至少兩種二異氰酸酯化合物包含至少一種脂環(huán)族二異氰酸酯化合物和至少一種芳香族二異氰酸酯化合物。
8.如權(quán)利要求7所述的拋光墊，其中，所述拋光層中的氮元素源自所述的固化劑、所述脂環(huán)族二異氰酸酯化合物和所述芳香族二異氰酸酯化合物，所述的拋光墊滿足以下條件中的至少一個：
源自所述的二異氰酸酯化合物的氮元素和源自所述的固化劑的氮元素的摩爾比為2.0～2.7∶1；
源自所述的脂環(huán)族二異氰酸酯化合物的氮元素和源自所述的芳香族二異氰酸酯化合物的氮元素的摩爾比為0.05～0.082∶1；和
所述的脂環(huán)族二異氰酸酯化合物和所述的芳香族二異氰酸酯化合物混合的重量比為1∶7～10。
9.如權(quán)利要求7所述的拋光墊，其中，基于所述組合物的總重量，所述脂環(huán)族二異氰酸酯化合物的含量為2.5％～3.30％，
基于所述組合物的總重量，所述芳香族二異氰酸酯化合物的含量為26.7％～30.0％，
和，基于組合物的總重量，所述的固化劑的含量為17.0％至22％。
10.一種使用如權(quán)利要求1～6中任一項(xiàng)所述的拋光墊制備半導(dǎo)體器件的方法，其包括將包括拋光層的拋光墊安裝在壓板上，在拋光層的拋光面和半導(dǎo)體襯底的表面相互接觸時相對旋轉(zhuǎn)，以拋光半導(dǎo)體襯底的表面。
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