[發明專利]磁板及其制作方法

在審

• 申請號: 202011179283.2
• 申請日: 2020-10-29
• 公開（公告）號: CN112366059A
• 公開（公告）日: 2021-02-12
• 發明（設計）人: 周磊;竇沛靜;張競中
• 申請（專利權）人: 珠海和澤科技有限公司
• 主分類號: H01F7/02
• 分類號: H01F7/02;H01F41/02
• 代理公司: 廣州嘉權專利商標事務所有限公司 44205
• 代理人: 張龍哺

本發明公開了一種磁板，包括：磁鐵板，沿磁鐵板的寬度方向依次包括左側區域、中部區域及右側區域，左側區域和右側區域的寬度均占中部區域的1/6至1/8；多組磁鋼組件，每組磁鋼組件由多個沿磁鐵板長度方向排列的磁鋼組成，多個磁鋼的長度方向均與磁鐵板的長度方向一致，每組磁鋼組件內的多個磁鋼的寬度相等，多組磁鋼組件沿磁鐵板的寬度方向排列，位于中部區域的各個磁鋼組件的寬度相等，位于左側區域和右側區域中的至少部分磁鋼組件的寬度小于中部區域的磁鋼組件的寬度。本發明還公開了一種磁板的制作方法?？梢越档痛虐暹吘墔^域的磁力，提升磁板磁力的均一性。

技術領域

本發明涉及半導體制造領域，特別涉及一種磁板及其制作方法。

背景技術

OLED又稱為有機發光半導體，屬于一種電流型的有機發光器件，是通過載流子的注入和復合而致發光的現象。在OLED異軍突起的時候，人們突然發現，OLED面板制造的關鍵設備，真空蒸鍍機，尤其是高端真空蒸鍍機，其中的磁板的設計極為關鍵，磁板磁力的均一性直接影響著OLED屏的質量。

現有磁板上排列有若干磁鋼，但若干磁鋼的大小相同，會導致磁板磁力的均一性較差，最終將影響加工產品的質量。

發明內容

本發明旨在至少解決現有技術中存在的技術問題之一。為此，本發明提出一種磁板及其制作方法，能夠提升磁板磁力的均一性。

根據本發明第一方面實施例的一種磁板，包括：磁鐵板，沿所述磁鐵板的寬度方向依次包括左側區域、中部區域及右側區域，所述左側區域和所述右側區域的寬度均占所述中部區域的1/6至1/8；多組磁鋼組件，每組所述磁鋼組件由多個沿所述磁鐵板長度方向排列的磁鋼組成，多個所述磁鋼的長度方向均與所述磁鐵板的長度方向一致，每組所述磁鋼組件內的多個所述磁鋼的寬度相等，多組所述磁鋼組件沿所述磁鐵板的寬度方向排列，位于所述中部區域的各個所述磁鋼組件的寬度相等，位于所述左側區域和所述右側區域中的至少部分所述磁鋼組件的寬度小于所述中部區域的所述磁鋼組件的寬度。

至少具有如下有益效果：磁鐵板沿自身寬度方向依次包括左側區域、中部區域及右側區域，磁鐵板的左側區域和右側區域為磁鐵板的邊緣區域，也是磁板的邊緣區域，磁板的邊緣區域由于無法反射磁力線，會導致左側區域和右側區域位置上的磁力高于中部區域位置上的磁力。因此，通過調整位于磁鐵板的左側區域和右側區域中的至少部分磁鋼組件的寬度，使位于左側區域和右側區域中的至少部分磁鋼組件的寬度小于中部區域的磁鋼組件的寬度，可以減少磁板邊緣區域上的磁力線的反射弧，從而可以降低磁板邊緣區域的磁力，提升磁板磁力的均一性。此外，磁板上磁力高于中部區域的單側邊緣區域的寬度為中部區域的1/6至1/8，因此在以上寬度內的左側區域和右側區域中排列寬度較小的磁鋼組件可以有效減小磁板邊緣區域的磁力。

根據本發明的一些實施例，相鄰兩組所述磁鋼組件之間的中心距為11mm。

根據本發明的一些實施例，位于所述中部區域的所述磁鋼組件的寬度為9mm，位于所述左側區域和所述右側區域上最靠近所述磁鐵板外側的所述磁鋼組件的寬度為6.21mm。

根據本發明的一些實施例，每組所述磁鋼組件內的多個所述磁鋼的同一磁極的方向一致，均同時朝向所述磁鐵板或背離所述磁鐵板，相鄰兩組所述磁鋼組件內的所述磁鋼的磁極朝向相反。

根據本發明的一些實施例，所述磁鋼至少由Dy、Fe以及PrNd組成。

根據本發明的一些實施例，所述Dy占比2％，所述Fe占比64.58％，所述PrNd占比29.5％。

根據本發明的一些實施例，多組所述磁鋼組件相對所述磁鐵板的中心線對稱設置，相互對稱的兩組所述磁鋼組件的寬度相等。

根據本發明的一些實施例，所述磁鐵板上開設有沿所述磁鐵板的長度方向延伸的安裝槽，多個所述安裝槽沿所述磁鐵板的寬度方向排列，多組所述磁鋼組件對應設置于多個所述安裝槽內。