[發(fā)明專利]一種紅外透明陶瓷晶粒尺寸的測(cè)量方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202011178769.4
• 申請(qǐng)日: 2020-10-29
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN112454014B
• 公開(kāi)（公告）日: 2022-10-11
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 張春雨;李國(guó);劉晗;趙清亮;宋成偉;張海軍;黃滟荻;劉世忠;高林
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 中國(guó)工程物理研究院激光聚變研究中心
• 主分類號(hào): B24B1/00
• 分類號(hào): B24B1/00;B24B49/12
• 代理公司: 成都弘毅天承知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 51230
• 代理人: 茍莉

1.一種紅外透明陶瓷晶粒尺寸的測(cè)量方法，其特征在于：包括以下步驟，

步驟1：將平片狀紅外透明陶瓷樣品粘貼在拋光機(jī)的可旋轉(zhuǎn)的工件臺(tái)上、將可旋轉(zhuǎn)的柔性拋光墊壓在樣品表面上對(duì)其進(jìn)行拋光，且拋光墊對(duì)工件的壓力可調(diào)；

步驟2：用白光干涉儀對(duì)拋光后的紅外透明陶瓷樣品表面進(jìn)行三維形貌檢測(cè)，選用放大10倍的鏡頭，對(duì)樣品拋光表面進(jìn)行表面三維形貌檢測(cè)；檢測(cè)范圍為L(zhǎng)1×L2，L1、L2分別為檢測(cè)范圍的兩個(gè)邊長(zhǎng)、單位μm，

其中，由于晶粒間材料去除率的不同在拋光表面產(chǎn)生了明顯橘皮效應(yīng)，在高精度的白光干涉儀的檢測(cè)結(jié)果中，不同區(qū)域顏色尺寸對(duì)應(yīng)相應(yīng)的晶粒尺寸，可統(tǒng)計(jì)出檢測(cè)面積內(nèi)的晶粒數(shù)目N，根據(jù)公式1進(jìn)一步計(jì)算出該樣品的平均晶粒尺寸d、單位μm；

d＝((L1×L2)/N)^1/2 (1)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種紅外透明陶瓷晶粒尺寸的測(cè)量方法，其特征在于：所述步驟1中拋光過(guò)程包括磨平狀態(tài)、粗拋狀態(tài)和精拋狀態(tài)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種紅外透明陶瓷晶粒尺寸的測(cè)量方法，其特征在于：所述磨平狀態(tài)選用40μm粒度的金剛石懸濁液，工件臺(tái)轉(zhuǎn)速為100r/min，拋光盤的轉(zhuǎn)速為200r/min，壓力為60N，拋光時(shí)間為15-20分鐘。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種紅外透明陶瓷晶粒尺寸的測(cè)量方法，其特征在于：所述粗拋狀態(tài)選用15μm粒度的金剛石懸濁液，工件臺(tái)轉(zhuǎn)速為40r/min，拋光盤的轉(zhuǎn)速為60r/min，壓力為40N，拋光時(shí)間為10-15分鐘。

5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種紅外透明陶瓷晶粒尺寸的測(cè)量方法，其特征在于：所述精拋狀態(tài)選用1μm粒度的金剛石懸濁液，工件臺(tái)轉(zhuǎn)速為20r/min，拋光盤的轉(zhuǎn)速為30r/min，壓力為10N，拋光時(shí)間為20～30分鐘。