[發明專利]一種浸液回收系統及采用該系統的浸液回收方法

在審

• 申請號: 202011176354.3
• 申請日: 2020-10-29
• 公開（公告）號: CN112286012A
• 公開（公告）日: 2021-01-29
• 發明（設計）人: 付新;池優陽;吳敏;李元;童金杰;杜亮;徐寧;陳文昱
• 申請（專利權）人: 浙江啟爾機電技術有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 杭州斯可睿專利事務所有限公司 33241
• 代理人: 林君勇

1.一種浸液回收系統，包括浸液供給回收裝置和回收腔，其特征在于：還包括密封抽排口、回收流路、氣液分離器和孔板；密封抽排口和回收腔環繞設置于末端物鏡并位于襯底上方的浸液供給回收裝置中；密封抽排口位于浸液供給回收裝置中且朝向襯底的一面，密封抽排口從浸液供給回收裝置與襯底之間的間隙抽取浸沒液體，同時從所述間隙中抽取浸沒液體徑向外側的氣體；回收腔位于浸液供給回收裝置內部，并且與密封抽排口連通；回收腔通過回收流路與設于浸液供給回收裝置外部的氣液分離器的容腔連通；孔板設置于回收流路中，所述的孔板具有沿流體流動方向的通孔，且通孔的直徑尺寸小于孔板所在回收流路的回收管道內徑尺寸。

2.按照權利要求1所述的浸液回收系統，其特征在于：所述的孔板沿流體流動方向的長度與所述通孔的直徑之比小于2。

3.按照權利要求1所述的浸液回收系統，其特征在于：所述的孔板沿流體流動方向的長度與所述通孔的直徑之比為2～20。

4.按照權利要求1所述的浸液回收系統，其特征在于：所述的孔板的軸向端面與氣液分離器的容腔之間的橫向距離不超過孔板沿流體流動方向的長度的3倍。

5.按照權利要求1所述的浸液回收系統，其特征在于：所述的通孔的直徑與所述回收流路的內徑之比為0.4～0.6。

6.按照權利要求1所述的浸液回收系統，其特征在于：所述的孔板的軸向端面與回收腔之間的距離不超過孔板沿流體流動方向的長度的3倍。

7.按照權利要求1或2或4或6所述的浸液回收系統，其特征在于：所述的孔板設有多個所述通孔。

8.按照權利要求1所述的浸液回收系統，其特征在于：所述的浸液供給回收裝置中設有轉接頭，且轉接頭設于回收流路與浸液供給回收裝置相連接的連接處，浸液供給回收裝置與朝向氣液分離器所在一側的回收流路上具有連通的回收管，轉接頭連接設置在浸液供給回收裝置與回收管的連接端處；轉接頭將所述孔板壓緊于浸液供給回收裝置的徑向外端面，回收管的一端與轉接頭固定連接；轉接頭內部具有貫通通道，并且貫通通道與回收管內部空間和回收腔連通。

9.按照權利要求1所述的浸液回收系統，其特征在于：所述的回收腔具有與氣液分離器相連通的多條回收流路。

10.一種浸液回收方法，其特征在于：包括如下步驟

A1.經浸液供給回收裝置朝向襯底一側的密封抽排開口抽取浸沒液體和浸沒液體外圍的氣體；

A2.浸沒液體和氣體形成氣液兩相流，隨后流入權利要求1～9之一所述的回收腔；

A3.回收腔內的氣液兩相流經抽排流路被抽取至權利要求1～9之一所述的氣液分離器，氣液兩相流在抽排流路中穿過權利要求1～9之一所述的孔板，所述的孔板具有直徑小于抽排流路直徑的通孔供氣液兩相流穿過；

A4.氣液兩相流進入氣液分離器，被分離為氣體和液體，隨后分別被權利要求1～9之一所述的抽氣泵和抽液泵繼續抽排，其中抽氣泵從氣液分離器中抽取氣體，抽液泵從氣液分離器中抽取浸沒液體。