[發明專利]一種正型感光性樹脂組合物、固化膜及固化膜圖案加工方法

在審

• 申請號: 202011174857.7
• 申請日: 2020-10-28
• 公開（公告）號: CN112180685A
• 公開（公告）日: 2021-01-05
• 發明（設計）人: 周小明;肖桂林;朱雙全
• 申請（專利權）人: 武漢柔顯科技股份有限公司;湖北鼎龍控股股份有限公司
• 主分類號: G03F7/039
• 分類號: G03F7/039;G03F7/004;G03F7/32;G03F7/40
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種正型感光性樹脂組合物，其特征在于，包括：堿溶性樹脂(a)100重量份、光產酸劑(b)10-30重量份、熱交聯劑(c)20-60重量份及有機溶劑(d)；

所述堿溶性樹脂(a)包含具有通式(1)結構的二胺和結構式(2)的結構的四酸或二酐；

其中，結構式(1)中R₀表示2至4價有機基團，R₁表示-COOH或-OH；

所述堿溶性樹脂(a)的主鏈包含通式(a1)和(a2)作為主要重復單元的聚合物通式(3)；

通式(a1)、(a2)為：

通式(3)為：

其中，所述通式(3)中P和/或Q表示包含通式(1)結構的二胺的反應殘基，X包含結構式(2)結構的四酸的反應殘基；Y表示二酐或結構式(a5)的二酐的二氰基甲叉衍生物的反應殘基；

其中，R₁₃表示碳原子數從1-20的有機基團。

2.根據權利要求1所述的一種正型感光性樹脂組合物，其特征在于，所述堿溶性樹脂(a)包含通式(a3)和(a4)作為主要重復單元的聚合物通式(4)；

通式(a3)、(a4)為：

通式(4)為：

其中，R₂表示氫原子和/或碳原子數為1-20的有機基團；

其中，所述通式(4)中，P和Q表示包含通式(1)結構的二胺的反應殘基，X和Y表示包含通式(2)結構的四酸的反應殘基。

3.根據權利要求1或2所述的一種正型感光性樹脂組合物，其特征在于所述通式(1)是由以下二胺化合物中的一種或多種反應制得：對苯二胺、2，2’-雙三氟甲基-4，4’-二氨基聯苯、2，2’-雙(3-氨基-4-羥基苯基)六氟丙烷、4，4’-二氨基-2，2’-二三氟甲基二苯醚。

4.根據權利要求1-3所述的一種正型感光性樹脂組合物，所述通式(3)和通式(4)中重復單元(a1)、(a2)、(a3)、(a4)中X和/或Y有20-40mol％來源于結構式(2)，且20mol％≤X+Y≤40mol％來源于結構式(2)；

所述通式(3)和通式(4)中重復單元(a1)、(a2)、(a3)、(a4)中P和/或Q有10-20mol％來源于結構式(1)，且10mol％≤P+Q≤20mol％來源于結構式(1)；

所述通式(3)和通式(4)中m和n為10-50000的整數。

5.根據權利要求1-4所述的一種正型感光性樹脂組合物，其特征在于，所述堿溶性樹脂(a)的主鏈封端基具有通式(5)和/或(6)所示的結構，其中A來源于伯單胺，B來源于二酸酐，所述堿溶性樹脂(a)的主鏈封端基占總胺和/或總酸酐的摩爾比例為0-50％。

6.根據權利要求5所述的一種正型感光性樹脂組合物，其特征在于，所述堿溶性樹脂(a)中的P和Q為芳香結構、脂肪結構、含硅結構中的一種或多種。

7.根據權利要求6所述的一種正型感光性樹脂組合物，其特征在于，所述堿溶性樹脂(a)的X，Y，P，Q至少有一種基團含有氟原子，所述氟原子占所述堿溶性樹脂(a)的質量比例為5-25％，所述堿溶性樹脂(a)的X，Y，P，Q至少有一種基團含有羥基、羧基、磺酸基中的一種或多種。