[發明專利]一種使用乙醇作為前驅體制備熱解碳界面涂層的方法

有效

• 申請號: 202011096121.2
• 申請日: 2020-10-14
• 公開（公告）號: CN112209721B
• 公開（公告）日: 2021-07-20
• 發明（設計）人: 王文浩;李露;徐昊;馬朝利
• 申請（專利權）人: 北京航空航天大學
• 主分類號: C04B35/565
• 分類號: C04B35/565;C04B35/80;C04B35/628
• 代理公司: 北京航智知識產權代理事務所(普通合伙) 11668
• 代理人: 黃川;史繼穎

1.一種利用乙醇作為前驅體制備熱解碳界面涂層的方法，其特征在于，包括以下步驟：

S1：將未經任何預處理的SiC纖維固定在模具上，周圍用石墨紙包裹，放入箱式爐中進行退火熱處理，熱處理溫度為650 ℃ ，保溫時間為2h，爐內壓力為101KPa，氣氛為空氣；

S2：將經步驟S1處理后的SiC纖維進行超聲清洗，超聲清洗時間為30min，清洗液為無水乙醇，除去纖維表面定形膠；

S3：將經步驟S2處理后的SiC纖維再次放入箱式爐中快速烘干，烘干處理溫度為60℃，保溫時間為30min；

S4：將經步驟S3處理后的SiC纖維固定在模具上，隨后放入化學氣相沉積系統中，以40~80mL/min的流速通入氬氣作為保護氣體，以5~10℃ /min的升溫速率將爐溫從室溫升至1150~1350℃ ；

S5：通過鼓泡法將乙醇鼓入化學氣相沉積系統中，鼓泡載氣及保護氣體均采用氬氣；通過調節載氣及保護氣的流量從而調節總的氣體流量，進而控制乙醇在化學氣相沉積系統反應階段的滯留時間；同理，通過調節載氣及保護氣的氣體流量的比值，進而控制化學氣相沉積系統中乙醇的分壓；

S6：沉積；

在常壓沉積中，總氣體流量為3~7L/min；載氣流量與保護氣體流量比值為1:1~4:1，沉積時間為3h；

或在負壓沉積中，使用真空泵將化學氣相沉積系統維持在負壓環境，總壓保持在10~20Kpa；總氣體流量為1~3L/min；載氣流量與保護氣體流量比值為1:1~3:1，沉積時間為3h；

S7：沉積結束后，關閉電源，以100mL/min的流速通入氬氣作為保護氣體，自然冷卻至室溫，最終得到沉積均勻的不同厚度及織構形態的PyC界面涂層。