[發(fā)明專利]對齊模塊

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202011069579.9
• 申請日: 2017-04-24
• 公開（公告）號: CN112133655A
• 公開（公告）日: 2020-12-25
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 樸海允;金娧永;梁孝誠;樸贊洙;金潁俊
• 申請（專利權(quán)）人: 圓益IPS股份有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L21/68
• 代理公司: 北京青松知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 11384
• 代理人: 鄭青松

本發(fā)明涉及一種基板處理系統(tǒng)，尤其涉及一種結(jié)合運送模塊、工序模塊等進行基板的對齊之后，用于供給基板至運送模塊、工序模塊等的對齊模塊。本發(fā)明提供一種從外部導(dǎo)入兩張直四角形基板(1)后，在向水平方向平行配置的狀態(tài)下，排列所述兩張直四角形基板(1)的水平位置的對齊模塊。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種基板處理系統(tǒng)，尤其涉及一種結(jié)合送還模塊、工序模塊等，基板對齊后，用于供給基板至送還模塊、工序模塊等的對齊模塊。

背景技術(shù)

基板處理系統(tǒng)根據(jù)裝載鎖定模塊和工序模塊的結(jié)合及配置，分為集群類型和直線類型。

集群類型指的是，其中設(shè)置有裝載鎖定模塊和工序模塊，所述真空模塊是以一個送還模塊為中心從外部導(dǎo)入基板，所述工序模塊是結(jié)合于送還模塊，接收從送還模塊供給的基板從而進行處理。

直線類型指的是，依次配置有裝載鎖定模塊、工序模塊和卸載模塊。

此處，裝載鎖定模塊作為基板處理之前執(zhí)行所需功能的模塊，根據(jù)需要可具有多種結(jié)構(gòu)，具體地說，可在從外部向送還模塊或工序模塊導(dǎo)入基板之前執(zhí)行排列、預(yù)熱等，并且執(zhí)行壓力變換功能，以從外部的大氣壓中向真空的送還模塊或工序模塊傳遞基板。

另外，包括裝載鎖定模塊的基板處理系統(tǒng)以6代、7代、8代等基板處理為標準，根據(jù)基板的大小其大小增加，一般根據(jù)增加的基板規(guī)格，大小、排列功能、方式等為最佳。

但是，如上所述，各大小最佳的基板處理系統(tǒng)不能用于不同規(guī)格，即，不同大小的基板處理中，為了大小不同的基板處理，需要重新設(shè)置其大小最佳的基板處理系統(tǒng)，但存在產(chǎn)生額外投資費用的問題。

發(fā)明內(nèi)容

(要解決的問題)

為了解決如上所述的問題，本發(fā)明的目的在于，提供一種對齊模塊從外部導(dǎo)入兩張基板后，同時對兩張基板執(zhí)行排列。

本發(fā)明的另一目的在于，提供一種對齊模塊，從一個支點的中央部和兩個支點的側(cè)面部執(zhí)行兩張基板的排列，由此，通過對齊模塊使所需空間最小化。

(解決問題的手段)

本發(fā)明是為了達成所述目的而創(chuàng)出，本發(fā)明公開一種從外部導(dǎo)入兩張直四角形基板1后，在沿水平方向平行配置的狀態(tài)下，排列所述兩張直四角形基板1的水平位置的對齊模塊，其特征在于，包括：對齊腔室100，形成密閉的內(nèi)部空間；及基板支承部件130，設(shè)置在所述對齊腔室100上，支承所述兩張基板1；及對齊部200，設(shè)置在所述對齊腔室100上，排列通過所述基板支承部件130支承的兩張直四角形基板1的水平位置。

所述對齊部200包括：中央排列部210，從所述兩張直四角形基板1 構(gòu)成的第一直四角形的一側(cè)向所述兩張直四角形基板1相對的一對內(nèi)側(cè)邊之間進行線形移動，從而支承一對內(nèi)側(cè)邊；及一對側(cè)面排列部220，在所述兩張直四角形基板1的頂點中，將所述中央排列部件212的位置安置在對向?qū)蔷€方向的所述兩張直四角形基板1的頂點上，從而通過旋轉(zhuǎn)和線形移動中至少任意一種方式沿水平方向分別加壓所述兩張直四角形基板1。

所述中央排列部210包括：一對中央排列部件212，分別支承所述一對內(nèi)側(cè)邊，及排列部件移動部214，從所述第一直四角形的一側(cè)向所述一對內(nèi)側(cè)邊之間線形移動所述一對中央排列部件212。

所述中央排列部210還包括：主體部215，設(shè)置有所述一對中央排列部件212，并通過所述排列部件移動部214進行線形移動。

所述中央排列部210還包括：旋轉(zhuǎn)部件213，沿水平方向以一定間隔設(shè)置有所述一對中央排列部件212，并以所述第一直四角形構(gòu)成垂直的旋轉(zhuǎn)軸為中心，設(shè)置在所述主體部215上，并且可旋轉(zhuǎn)，及旋轉(zhuǎn)工具，當所述一對中央排列部件212位于所述一對內(nèi)側(cè)邊之間時，旋轉(zhuǎn)所述旋轉(zhuǎn)部件 213，以使所述一對中央排列部件212構(gòu)成的所述基板1配置方向的相對距離增加。