[發明專利]單晶培養裝置在審
| 申請號: | 202011059877.X | 申請日: | 2020-09-30 |
| 公開(公告)號: | CN112609237A | 公開(公告)日: | 2021-04-06 |
| 發明(設計)人: | 阿部淳;森山隼;桑原由則 | 申請(專利權)人: | 信越化學工業株式會社 |
| 主分類號: | C30B15/00 | 分類號: | C30B15/00 |
| 代理公司: | 中國專利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人: | 蔡曉菡;梅黎 |
| 地址: | 日本東京都千*** | 國省代碼: | 暫無信息 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 培養 裝置 | ||
1.單晶培養裝置,其是通過提拉法由坩堝內的原料的熔融液培養單晶的單晶培養裝置,其具備:
覆蓋前述坩堝的上方的空間的上部耐火材料容器、
覆蓋前述上部耐火材料容器的外周的絕熱保溫結構、和
覆蓋前述絕熱保溫結構的外周的絕緣性陶瓷材料。
2.根據權利要求1所述的單晶培養裝置,其中,前述坩堝內的前述原料被以高頻感應加熱方式加熱而成為前述熔融液,所述高頻感應加熱方式采用包圍前述坩堝的外周的加熱線圈,
前述絕緣性陶瓷材料為圓筒狀,
前述絕緣性陶瓷材料的外徑比前述加熱線圈的內徑小。
3.根據權利要求1或2所述的單晶培養裝置,其中,前述單晶為鉭酸鋰的單晶或鈮酸鋰的單晶。
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