[發(fā)明專利]一種MEMS器件原位實(shí)時(shí)測(cè)試塢及失效故障溯源方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202011046401.2
• 申請(qǐng)日: 2020-09-29
• 公開（公告）號(hào): CN112130021B
• 公開（公告）日: 2023-10-10
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 張鐘方
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 山西羽炎星微納物聯(lián)科技有限公司
• 主分類號(hào): G01R31/00
• 分類號(hào): G01R31/00;G01D21/02
• 代理公司: 太原新航路知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 14112
• 代理人: 王勇

本發(fā)明涉及MEMS器件，具體是一種MEMS器件原位實(shí)時(shí)測(cè)試塢及失效故障溯源方法。本發(fā)明解決了當(dāng)MEMS器件發(fā)生失效故障時(shí)無法原位實(shí)時(shí)地獲知引發(fā)失效故障的環(huán)境應(yīng)力類型的問題。一種MEMS器件原位實(shí)時(shí)測(cè)試塢，包括測(cè)試座板、電池、電源管理芯片、MEMS器件、傳感器陣列、模數(shù)轉(zhuǎn)換器、微處理器、存儲(chǔ)器、無線發(fā)射器、無線接收器、上位機(jī)；所述傳感器陣列包括溫濕度傳感器、氣壓傳感器、磁場(chǎng)傳感器、高度傳感器、振動(dòng)傳感器、頻率傳感器、電壓采集器、電流采集器、功率采集器。本發(fā)明適用于航空、航天、國(guó)防等領(lǐng)域。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及MEMS器件，具體是一種MEMS器件原位實(shí)時(shí)測(cè)試塢及失效故障溯源方法。

背景技術(shù)

MEMS(Micro-Electro-Mechanical System，微機(jī)電系統(tǒng))器件因其具有體積小、重量輕、功耗低的優(yōu)點(diǎn)，被廣泛應(yīng)用于航空、航天、國(guó)防等領(lǐng)域。在實(shí)際應(yīng)用中，MEMS器件的工作環(huán)境往往復(fù)雜多變，導(dǎo)致MEMS器件容易在環(huán)境應(yīng)力的作用下發(fā)生失效故障。而在現(xiàn)有技術(shù)條件下，當(dāng)MEMS器件發(fā)生失效故障時(shí)，人們無法原位實(shí)時(shí)地獲知引發(fā)失效故障的環(huán)境應(yīng)力類型(即哪種環(huán)境應(yīng)力引發(fā)了失效故障)，由此無法原位實(shí)時(shí)地進(jìn)行失效故障溯源，從而不利于MEMS器件的優(yōu)化改進(jìn)。基于此，有必要發(fā)明一種MEMS器件原位實(shí)時(shí)測(cè)試塢及失效故障溯源方法，以解決當(dāng)MEMS器件發(fā)生失效故障時(shí)無法原位實(shí)時(shí)地獲知引發(fā)失效故障的環(huán)境應(yīng)力類型的問題。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明為了解決當(dāng)MEMS器件發(fā)生失效故障時(shí)無法原位實(shí)時(shí)地獲知引發(fā)失效故障的環(huán)境應(yīng)力類型的問題，提供了一種MEMS器件原位實(shí)時(shí)測(cè)試塢及失效故障溯源方法。

本發(fā)明是采用如下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)的：

一種MEMS器件原位實(shí)時(shí)測(cè)試塢，包括測(cè)試座板、電池、電源管理芯片、MEMS器件、傳感器陣列、模數(shù)轉(zhuǎn)換器、微處理器、存儲(chǔ)器、無線發(fā)射器、無線接收器、上位機(jī)；

所述傳感器陣列包括溫濕度傳感器、氣壓傳感器、磁場(chǎng)傳感器、高度傳感器、振動(dòng)傳感器、頻率傳感器、電壓采集器、電流采集器、功率采集器；

電池、電源管理芯片、MEMS器件、溫濕度傳感器、氣壓傳感器、磁場(chǎng)傳感器、高度傳感器、振動(dòng)傳感器、頻率傳感器、電壓采集器、電流采集器、功率采集器、模數(shù)轉(zhuǎn)換器、微處理器、存儲(chǔ)器、無線發(fā)射器均固定于測(cè)試座板的上表面；

電池的輸出端與電源管理芯片的輸入端連接；電源管理芯片的輸出端分別與MEMS器件的供電端、溫濕度傳感器的供電端、氣壓傳感器的供電端、磁場(chǎng)傳感器的供電端、高度傳感器的供電端、振動(dòng)傳感器的供電端、頻率傳感器的供電端、電壓采集器的供電端、電流采集器的供電端、功率采集器的供電端、模數(shù)轉(zhuǎn)換器的供電端、微處理器的供電端、存儲(chǔ)器的供電端、無線發(fā)射器的供電端連接；

MEMS器件的輸出端與微處理器的輸入端連接；

頻率傳感器的輸入端與MEMS器件的頻率輸出端連接；電壓采集器的輸入端、電流采集器的輸入端、功率采集器的輸入端均與MEMS器件的供電端連接；

溫濕度傳感器的輸出端、氣壓傳感器的輸出端、磁場(chǎng)傳感器的輸出端、高度傳感器的輸出端、振動(dòng)傳感器的輸出端、頻率傳感器的輸出端、電壓采集器的輸出端、電流采集器的輸出端、功率采集器的輸出端均通過模數(shù)轉(zhuǎn)換器與微處理器的輸入端連接；

微處理器的輸出端分別與存儲(chǔ)器的輸入端、無線發(fā)射器的輸入端連接；

無線發(fā)射器的輸出端與無線接收器的輸入端無線連接；

無線接收器的輸出端與上位機(jī)的輸入端連接。