[發(fā)明專利]一種耐高溫多弧離子真空鍍膜裝置及其鍍膜方法

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• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202011044101.0
• 申請(qǐng)日: 2020-09-28
• 公開（公告）號(hào): CN112176293A
• 公開（公告）日: 2021-01-05
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 楊雪;陳佃華
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 楊雪
• 主分類號(hào): C23C14/32
• 分類號(hào): C23C14/32;C23C14/54;C23C14/56
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本發(fā)明公開了一種耐高溫多弧離子真空鍍膜裝置及其鍍膜方法，包括基座，所述基座的上表面焊接有主殼體，所述主殼體的前表面底部的兩側(cè)分別固定連接有第一電機(jī)、第二電機(jī)，所述第一接軸、第二接軸分別焊接有第一連接桿、第二連接桿，所述第一連接桿的外表面焊接有右旋轉(zhuǎn)殼體，所述第二連接桿的外表面焊接有左旋轉(zhuǎn)殼體，所述主殼體的內(nèi)側(cè)壁焊接有第三電機(jī)，所述第三電機(jī)固定連接有轉(zhuǎn)軸；過PLC控制器編程將所有電器元件導(dǎo)通，實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化控制與控?zé)幔徽舭l(fā)器的餾分工藝，將鍍膜材料在高溫蒸汽情況下會(huì)產(chǎn)生化學(xué)性的熱性氣體分解成對(duì)人體健康無害的不凝氣與水再將其排出；內(nèi)部刀具與托盤配合，在工作過程中由PLC控制器編程定時(shí)去除鍍膜材料結(jié)痂層。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及真空鍍膜技術(shù)領(lǐng)域，具體為一種耐高溫多弧離子真空鍍膜裝置及其鍍膜方法。

背景技術(shù)

多弧離子鍍膜器作為物理氣相沉積技術(shù)的一個(gè)分支，是在真空蒸鍍和真空濺射的基礎(chǔ)上發(fā)展起來的一門新型涂層制備技術(shù)，也稱為真空弧光蒸鍍法，它把真空電弧放電用于電弧蒸發(fā)源。多弧離子鍍膜機(jī)是一種高效的離子鍍膜設(shè)備，具有沉積速度快、離化率高、離子能量大、設(shè)備操作簡(jiǎn)單、成本低、生產(chǎn)量大的優(yōu)點(diǎn)。因此在材料表面改性領(lǐng)域得到了廣泛應(yīng)用。它既可以應(yīng)用于涂敷硬質(zhì)涂層，如切削工具、模具和耐磨耐腐蝕零件等；也可以應(yīng)用于涂敷防護(hù)涂層，如飛機(jī)發(fā)動(dòng)機(jī)的葉片、汽車鋼板、散熱片等。

隨著該裝置的普及，相關(guān)技術(shù)問題也接踵而至——鍍膜材料蒸汽工藝需要的環(huán)境為高溫高壓，在這種環(huán)境下很容易影響內(nèi)部元件的使用壽命，而鍍膜材料在高溫蒸汽情況下會(huì)產(chǎn)生化學(xué)性的熱性氣體，如果使用簡(jiǎn)單的散熱系統(tǒng)將其排出，容易對(duì)周圍工作人員的健康造成影響。

并且，鍍膜材料蒸汽工藝時(shí)會(huì)將鍍膜沉積到被鍍物件的外表面，同時(shí)也會(huì)由于重力與離心力的影響，導(dǎo)致部分材料被濺射，沉積到鍍膜機(jī)底部，隨著時(shí)間的增加，機(jī)構(gòu)內(nèi)部會(huì)形成一層越累越厚的鍍膜材料結(jié)痂層，這對(duì)設(shè)備的運(yùn)轉(zhuǎn)造成了影響。

并且，現(xiàn)有技術(shù)的多弧離子鍍膜器需要大量電機(jī)互相配合，因此通常需要配置一個(gè)配電柜，導(dǎo)致其接線與維修極其繁瑣。

為此，提出一種新型的耐高溫多弧離子真空鍍膜裝置及其鍍膜方法。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于提供一種耐高溫多弧離子真空鍍膜裝置及其鍍膜方法，以解決上述背景技術(shù)中提出的問題。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供如下技術(shù)方案：一種耐高溫多弧離子真空鍍膜裝置，包括基座，所述基座的上表面焊接有主殼體，所述主殼體的前表面底部的兩側(cè)分別固定連接有第一電機(jī)和第二電機(jī)，所述第一電機(jī)和第二電機(jī)的輸出軸分別焊接有第一接軸和第二接軸，所述第一接軸和第二接軸分別焊接有第一連接桿和第二連接桿，所述第一連接桿的外表面焊接有右旋轉(zhuǎn)殼體，所述第二連接桿的外表面焊接有左旋轉(zhuǎn)殼體，所述主殼體的內(nèi)側(cè)壁焊接有第三電機(jī)，所述第三電機(jī)的輸出軸固定連接有轉(zhuǎn)軸，所述主殼體、右旋轉(zhuǎn)殼體和左旋轉(zhuǎn)殼體的內(nèi)側(cè)壁均涂附有耐高溫水性隔熱保溫涂料，所述主殼體的內(nèi)側(cè)壁中部固定連接有真空電弧放電器，所述主殼體的后表面焊接有后端蓋，所述后端蓋的外表面開設(shè)有出風(fēng)口，所述后端蓋的內(nèi)側(cè)壁固定連接有蒸發(fā)器。

作為本技術(shù)方案的進(jìn)一步優(yōu)選的：所述基座的上表面固定連接有PLC控制器，所述PLC控制器的電性出端與第一電機(jī)、第二電機(jī)、第三電機(jī)、負(fù)壓風(fēng)機(jī)與排氣扇的電性輸入端電性連接。

作為本技術(shù)方案的進(jìn)一步優(yōu)選的：所述第三電機(jī)的輸出軸焊接有兩個(gè)刀具連桿，所述刀具連桿的下表面焊接有傳動(dòng)軸，所述傳動(dòng)軸的下表面焊接有刀具基座

作為本技術(shù)方案的進(jìn)一步優(yōu)選的：所述轉(zhuǎn)軸的下表面鉸接有第一托盤，所述轉(zhuǎn)軸的下表面遠(yuǎn)離第一托盤的一側(cè)鉸接有第二托盤，所述第二托盤的上表面與下表面插接有刀具基座，所述刀具基座的外表面焊接有刀具。

作為本技術(shù)方案的進(jìn)一步優(yōu)選的：所述主殼體的內(nèi)側(cè)壁焊接有密封板，所述密封板的前表面固定連接有六個(gè)負(fù)壓風(fēng)機(jī)。