[發(fā)明專利]陣列基板的制造方法、陣列基板及顯示面板

有效

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• 申請日: 2020-09-28
• 公開（公告）號: CN112086471B
• 公開（公告）日: 2022-11-29
• 發(fā)明（設計）人: 榮孟欣;曾柯;葉寧
• 申請（專利權）人: 成都中電熊貓顯示科技有限公司
• 主分類號: H01L27/12
• 分類號: H01L27/12;G02F1/1339;G02F1/1362;G03F1/32
• 代理公司: 北京同立鈞成知識產權代理有限公司 11205
• 代理人: 黃溪;臧建明

本發(fā)明提供了一種陣列基板的制造方法、陣列基板及顯示面板。本發(fā)明提供的陣列基板的制造方法包括在襯底基板上沉積柵金屬層，并通過光刻工藝形成柵極和掃描線；在柵金屬層上方沉積緩沖層，并在緩沖層上形成半導體圖形；在半導體圖形上方形成源極、漏極和數(shù)據(jù)線；在緩沖層上方沉積保護層，并通過半掩膜曝光工藝進行光刻，以使保護層的不同區(qū)域具有不同的厚度，從而解決了隔墊物被壓迫產生橫向位移后無法復位的問題。

技術領域

本發(fā)明涉及顯示設備技術領域，尤其涉及一種陣列基板的制造方法、陣列基板及顯示面板。

背景技術

平面顯示器件具有機身薄、省電、無輻射等眾多優(yōu)點，得到了廣泛的應用。現(xiàn)有的平面顯示器件主要包括液晶顯示器件(Liquid Crystal Display，LCD)及有機發(fā)光二極管顯示器件(Organic Light Emitting Display，OLED)，而平面顯示器通常由上層基板和下層基板對合形成，下層基板為薄膜晶體管(Thin Film Transistor，TFT)陣列基板，在上層基板與下層基板之間支撐有隔墊物，隔墊物通常設置在與金屬配線相對應的非顯示區(qū)域，由于TFT基板在金屬配線的位置會有凸起結構，導致隔墊物在受到按壓移動后從凸起結構上滑落而無法復位，產生漏光現(xiàn)象。

現(xiàn)有技術中，為了解決這一問題，采用增加金屬線的設計方式，具體的，在現(xiàn)有的金屬配線的兩側增加金屬線，使得在隔墊物對應的凸起結構的兩側同樣形成相應的兩個凸起結構，同時多個凸起結構的高度一致，如此設置，當隔墊物收到壓迫移動時便不會由于高度落差而難以復位。

然而，上述方法增加的金屬線會遮擋部分原有的顯示區(qū)域，降低了產品的透過率，影響產品的顯示質量。

發(fā)明內容

本發(fā)明提供了一種陣列基板的制造方法、陣列基板及顯示面板，可以將金屬配線對應的位置平坦化，在解決漏光現(xiàn)象的同時保證了產品透過率。

第一方面，本發(fā)明提供了一種陣列基板的制造方法，在襯底基板上沉積柵金屬層，并通過光刻工藝形成柵極和掃描線；在柵金屬層上方沉積緩沖層，并在緩沖層上形成半導體圖形；在半導體圖形上方設置源極、漏極和數(shù)據(jù)線，以形成薄膜晶體管；在緩沖層上方沉積保護層，并通過半掩膜曝光工藝進行光刻，以使保護層在第一區(qū)域的厚度小于保護層的對應于薄膜晶體管的區(qū)域的厚度，第一區(qū)域與陣列基板的像素區(qū)域相對應。如此設置，可以使得像素區(qū)域對應的保護層可以具有較薄的膜厚，從而解決了產品在大視角的情況下面板發(fā)紅的問題。

第二方面，本發(fā)明提供了一種陣列基板，包括層疊設置的襯底基板、薄膜晶體管和保護層，薄膜晶體管包括依次層疊設置的柵極、緩沖層、半導體層、源漏極金屬層，保護層在第一區(qū)域的厚度小于保護層的對應薄膜晶體管的部分的厚度，第一區(qū)域與陣列基板的像素區(qū)域相對應。

第一區(qū)域和像素區(qū)域的位置相對，保護層在第一區(qū)域的厚度小于保護層在對應薄膜晶體管的部分的厚度，這樣，薄膜晶體管位置對應的保護層較厚，保持了薄膜晶體管的驅動特性，也保證了對離子及水汽的防護性能，同時對應像素區(qū)域的位置的保護層厚度較薄，減弱了紅光波段的光線透射，改善了產品大視角下面板發(fā)紅的問題。

作為一種可選的方式，本發(fā)明提供一種陣列基板，保護層上還具有第二區(qū)域；第二區(qū)域與隔墊物的位置相對應，且第二區(qū)域的邊緣延伸至隔墊物的周側，且保護層在第二區(qū)域的表面為平坦面，其中，隔墊物位于陣列基板的非顯示區(qū)域。這樣，在隔墊物受到壓迫產生橫向位移后，當壓迫力取消，隔墊物可以沿著平坦面移動，從而可以正常復位。

作為一種可選的方式，本發(fā)明提供一種陣列基板，保護層在第一區(qū)域的厚度小于保護層其余部分的厚度。這樣在減薄第一區(qū)域的厚度的同時，減小了對其他區(qū)域的影響。

作為一種可選的方式，本發(fā)明提供一種陣列基板，第二區(qū)域的邊緣與隔墊物的距離大于或等于8μm，從而使得非顯示區(qū)域可以趨于平坦，這樣，在隔墊物的最大移動范圍內，均可以保證其較為容易的實現(xiàn)復位。

第三方面，本發(fā)明提供一種顯示面板，包括上述的陣列基板。