[發(fā)明專利]一種凸輪結(jié)構(gòu)插板閥裝置

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202011037781.3
• 申請(qǐng)日: 2020-09-28
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN112063989A
• 公開(kāi)（公告）日: 2020-12-11
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李小軍;張華林;唐鑫;光宣標(biāo)
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 深圳市三鑫精美特玻璃有限公司
• 主分類號(hào): C23C14/56
• 分類號(hào): C23C14/56;C23C14/35;C23C14/54
• 代理公司: 深圳余梅專利代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 44519
• 代理人: 陳余才

本發(fā)明為一種凸輪結(jié)構(gòu)插板閥裝置，涉及插板閥領(lǐng)域，解決了在連續(xù)真空磁控濺射鍍膜裝置中，大部分使用轉(zhuǎn)板閥裝置和插板閥裝置來(lái)進(jìn)行進(jìn)、出口隔離，而以前的插板閥都是使用的氣缸或波紋管驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)，因溫度、疲勞、外力等作用下，造成氣缸密封川老化漏氣、波紋管疲勞破裂，極易造成內(nèi)部泄漏，瞬間破壞箱體真空度，使分子泵跳停，損壞分子泵，箱體內(nèi)的產(chǎn)品全部報(bào)廢，在實(shí)際應(yīng)用存在很大隱患的問(wèn)題。技術(shù)特征包括:插板閥；第一真空箱體，所述第一真空箱體安裝于插板閥上。徹底解決了連續(xù)真空磁控濺射鍍膜裝置中內(nèi)漏問(wèn)題(內(nèi)漏用檢漏儀檢測(cè)困難)，將使連續(xù)真空磁控濺射鍍膜線的穩(wěn)定性和真空環(huán)境得到質(zhì)的提升。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及插板閥技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種凸輪結(jié)構(gòu)插板閥裝置。

背景技術(shù)

目前在真空磁控濺射鍍膜工藝中，主要有單箱體真空磁控濺射鍍膜機(jī)和連續(xù)真空磁控濺射鍍膜生產(chǎn)線。而在連續(xù)真空磁控濺射鍍膜生產(chǎn)線中：進(jìn)口室、進(jìn)口過(guò)渡室、進(jìn)口主室調(diào)節(jié)段，出口室、出口過(guò)渡室、出口主室調(diào)節(jié)段大部分使用轉(zhuǎn)板閥裝置和插板閥裝置來(lái)進(jìn)行隔離。

在連續(xù)真空磁控濺射鍍膜裝置中，大部分使用轉(zhuǎn)板閥裝置和插板閥裝置來(lái)進(jìn)行進(jìn)、出口隔離，而以前的插板閥都是使用的氣缸或波紋管驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)，因溫度、疲勞、外力等作用下，造成氣缸密封川老化漏氣、波紋管疲勞破裂，極易造成內(nèi)部泄漏，瞬間破壞箱體真空度，使分子泵跳停，損壞分子泵，箱體內(nèi)的產(chǎn)品全部報(bào)廢，在實(shí)際應(yīng)用存在很大隱患，同時(shí)，也解決了內(nèi)部泄漏致使檢漏儀不易檢測(cè)的問(wèn)題。因此為了解決這一問(wèn)題，設(shè)計(jì)一種凸輪結(jié)構(gòu)插板閥裝置是非常有必要的。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明要解決現(xiàn)有技術(shù)中的在連續(xù)真空磁控濺射鍍膜裝置中，大部分使用轉(zhuǎn)板閥裝置和插板閥裝置來(lái)進(jìn)行進(jìn)、出口隔離，而以前的插板閥都是使用的氣缸或波紋管驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)，因溫度、疲勞、外力等作用下，造成氣缸密封川老化漏氣、波紋管疲勞破裂，極易造成內(nèi)部泄漏，瞬間破壞箱體真空度，使分子泵跳停，損壞分子泵，箱體內(nèi)的產(chǎn)品全部報(bào)廢，在實(shí)際應(yīng)用存在很大隱患的技術(shù)問(wèn)題，提供一種凸輪結(jié)構(gòu)插板閥裝置。

為了解決上述技術(shù)問(wèn)題，本發(fā)明的技術(shù)方案具體如下：

一種凸輪結(jié)構(gòu)插板閥裝置，包括:

插板閥；

第一真空箱體，所述第一真空箱體安裝于插板閥上；

第二真空箱體，所述第二真空箱體安裝于插板閥上；

所述第一真空箱體、第二真空箱體與插板閥兩端面密封連接。

優(yōu)選的，所述插板閥包括：閥體、門閥安裝板、門閥板組件、插入動(dòng)作機(jī)構(gòu)、凸輪張開(kāi)機(jī)構(gòu)、冷卻結(jié)構(gòu)、密封結(jié)構(gòu)、固定結(jié)構(gòu)、一對(duì)導(dǎo)桿座、一對(duì)導(dǎo)桿以及一對(duì)導(dǎo)桿軸承套；

所述門閥安裝板安裝于閥體側(cè)上表面，且所述門閥安裝板與閥體端面密封連接，所述門閥板組件安裝于安裝板上，所述插入動(dòng)作機(jī)構(gòu)安裝與安裝板上，且所述插入動(dòng)作機(jī)構(gòu)與門閥板組件相連接，所述凸輪張開(kāi)機(jī)構(gòu)安裝于門閥板組件上，且所述凸輪張開(kāi)機(jī)構(gòu)與門閥板組件相連接，所述冷卻結(jié)構(gòu)安裝于閥體上，所述密封結(jié)構(gòu)安置于閥體兩端表面和一側(cè)表面上，所述固定結(jié)構(gòu)開(kāi)設(shè)于閥體兩端表面和一側(cè)表面上，一對(duì)所述導(dǎo)桿座安裝于門閥安裝板上，所述導(dǎo)桿安裝于相對(duì)應(yīng)的導(dǎo)桿座上，一對(duì)所述導(dǎo)桿軸承套安裝于門閥板組件上，且每個(gè)所述導(dǎo)桿與相對(duì)應(yīng)的導(dǎo)桿軸承套相連接。

優(yōu)選的，所述門閥板組件包括：門閥壓板、門閥側(cè)板、復(fù)位彈簧組件、凸輪組件、凸輪軸固定塊、門閥密封板以及門閥平整調(diào)節(jié)螺栓組；

所述門閥側(cè)板安裝于導(dǎo)桿軸承套上，所述復(fù)位彈簧組件安裝于門閥壓板和門閥密封板上，所述凸輪軸固定塊安裝于門閥側(cè)板內(nèi)側(cè)表面上，每個(gè)所述凸輪組件安裝于相對(duì)應(yīng)的所述凸輪軸固定塊上，所述門閥密封板通過(guò)復(fù)位彈簧組件對(duì)門閥壓板連接固定，所述門閥平整調(diào)節(jié)螺栓組安裝于凸輪軸固定塊上。