[發(fā)明專利]等離子清洗機(jī)

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202011037348.X
• 申請(qǐng)日: 2020-09-27
• 公開（公告）號(hào): CN112117220A
• 公開（公告）日: 2020-12-22
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 朱霆;葉賢斌;李文強(qiáng);楊建新;張凱
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 深圳泰德半導(dǎo)體裝備有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/67
• 分類號(hào): H01L21/67;B08B7/00;B08B13/00
• 代理公司: 深圳市恒程創(chuàng)新知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 44542
• 代理人: 劉冰

1.一種等離子清洗機(jī)，其特征在于，包括：

料盒安裝機(jī)構(gòu)，用于安裝存放有物料的料盒；

腔體模組，用于對(duì)所述物料進(jìn)行清洗；以及，

托料治具循環(huán)機(jī)構(gòu)，能夠在所述料盒安裝機(jī)構(gòu)和所述腔體模組之間運(yùn)送所述物料，所述托料治具循環(huán)機(jī)構(gòu)包括：

托料治具，用于放置待清洗的物料；

送料模組，包括并行且間隔排布的兩條送料導(dǎo)軌、以及滑動(dòng)安裝于所述兩條送料導(dǎo)軌上的送料件；所述兩條送料導(dǎo)軌的間隔大于所述托料治具在所述兩條送料導(dǎo)軌的排布方向上的寬度，所述送料件呈具有開口的半包圍結(jié)構(gòu)并能夠定位以及帶動(dòng)所述托料治具移動(dòng)；

回料模組，設(shè)于所述送料模組的所述兩條送料導(dǎo)軌之間且位于所述送料件的下方，并能夠帶動(dòng)所述托料治具移動(dòng)；以及，

第一升降裝置，設(shè)于所述回料模組的下方，所述第一升降裝置能夠帶動(dòng)所述托料治具在所述送料模組和所述回料模組之間循環(huán)切換。

2.如權(quán)利要求1所述的等離子清洗機(jī)，其特征在于，所述送料件具有與所述兩條送料導(dǎo)軌一一對(duì)應(yīng)滑動(dòng)連接的兩個(gè)滑動(dòng)部，每個(gè)所述滑動(dòng)部連接有朝向另一滑動(dòng)部凸出的定位塊，所述定位塊用以支撐及定位所述托料治具。

3.如權(quán)利要求2所述的等離子清洗機(jī)，其特征在于，所述定位塊與所述送料件轉(zhuǎn)動(dòng)連接，以使所述定位塊能夠向上翻轉(zhuǎn)。

4.如權(quán)利要求1所述的等離子清洗機(jī)，其特征在于，所述回料模組包括并行且間隔排布的兩條回料導(dǎo)軌，至少一條所述回料導(dǎo)軌上滑動(dòng)安裝有回料件，所述回料件能夠定位以及帶動(dòng)所述托料治具移動(dòng)。

5.如權(quán)利要求4所述的等離子清洗機(jī)，其特征在于，托料治具還設(shè)有與所述回料件適配的第二定位槽，所述回料件可卡接于所述第二定位槽內(nèi)；和/或，

所述托料治具的底面和/或側(cè)面凸設(shè)有滾珠結(jié)構(gòu)，所述滾珠結(jié)構(gòu)可與所回料模組的所述回料導(dǎo)軌滾動(dòng)接觸。

6.如權(quán)利要求1至5任意一項(xiàng)所述的等離子清洗機(jī)，其特征在于，所述等離子清洗機(jī)還包括推料機(jī)構(gòu)，所述推料機(jī)構(gòu)用于將所述料盒內(nèi)待清洗的物料推出，以及將清洗完成的物料推回所述料盒，所述推料機(jī)構(gòu)包括：

推料模組，包括推料導(dǎo)軌和推料驅(qū)動(dòng)件；

調(diào)整模組，包括調(diào)整導(dǎo)軌和調(diào)整驅(qū)動(dòng)件，所述調(diào)整導(dǎo)軌滑動(dòng)安裝于所述推料導(dǎo)軌上并與所述推料導(dǎo)軌呈十字交叉設(shè)置，所述調(diào)整導(dǎo)軌可被所述推料驅(qū)動(dòng)件驅(qū)動(dòng)而滑動(dòng)；以及，

推料件，滑動(dòng)安裝于所述調(diào)整導(dǎo)軌上，并可被所述調(diào)整驅(qū)動(dòng)件驅(qū)動(dòng)而滑動(dòng)。

7.如權(quán)利要求1至5任意一項(xiàng)所述的等離子清洗機(jī)，其特征在于，所述料盒安裝機(jī)構(gòu)包括：

料盒安裝座；

夾緊驅(qū)動(dòng)件；以及，

夾緊組件，安裝于所述料盒安裝座，并包括沿一直線方向間隔相對(duì)的第一夾緊件和第二夾緊件，所述第一夾緊件和所述第二夾緊件中至少一者可被所述夾緊驅(qū)動(dòng)件驅(qū)動(dòng)并向另一者滑動(dòng)，所述第一夾緊件和所述第二夾緊件用于共同夾緊待安裝的料盒。

8.如權(quán)利要求7所述的等離子清洗機(jī)，其特征在于，所述料盒安裝機(jī)構(gòu)包括：

升降模組，包括升降驅(qū)動(dòng)件和豎向延伸的第一升降導(dǎo)軌；

橫移模組，包括橫移驅(qū)動(dòng)件和水平延伸的橫移導(dǎo)軌，所述橫移導(dǎo)軌滑動(dòng)安裝于所述第一升降導(dǎo)軌上并可被所述升降驅(qū)動(dòng)件驅(qū)動(dòng)而滑動(dòng)；以及，

所述料盒安裝座滑動(dòng)安裝于所述橫移導(dǎo)軌上并可被所述橫移驅(qū)動(dòng)件驅(qū)動(dòng)而滑動(dòng)。

9.如權(quán)利要求1至5任意一項(xiàng)所述的等離子清洗機(jī)，其特征在于，所述等離子清洗機(jī)還包括導(dǎo)料機(jī)構(gòu)，所述導(dǎo)料機(jī)構(gòu)設(shè)于所述料盒安裝機(jī)構(gòu)和所述托料治具循環(huán)機(jī)構(gòu)之間，并用于將所述料盒內(nèi)的物料導(dǎo)至所述托料治具上；所述導(dǎo)料機(jī)構(gòu)包括：

導(dǎo)料安裝座；

調(diào)寬驅(qū)動(dòng)件；以及，

導(dǎo)料模組，安裝于所述導(dǎo)料安裝座上并包括沿一直線方向間隔相對(duì)的兩個(gè)導(dǎo)料組件，每個(gè)所述導(dǎo)料組件在面向另一導(dǎo)料組件的表面上設(shè)有傳送結(jié)構(gòu)件，兩個(gè)所述傳送結(jié)構(gòu)件共同支撐及傳送待傳送的物料；

兩個(gè)所述導(dǎo)料組件中至少一者可被所述調(diào)寬驅(qū)動(dòng)件驅(qū)動(dòng)并向另一者運(yùn)動(dòng)，以調(diào)節(jié)所述兩個(gè)導(dǎo)料組件之間的間距。

10.如權(quán)利要求1至5任意一項(xiàng)所述的等離子清洗機(jī)，其特征在于，所述腔體模組包括：

第一腔體；

第二升降裝置，能夠帶動(dòng)所述第一腔體做升降運(yùn)動(dòng)；以及，

限位裝置，用于在所述第二升降裝置將所述第一腔體頂升之后對(duì)所述第一腔體進(jìn)行限位。