[發明專利]一種超精密光學掠入射反射鏡加工徑向調整固緊裝置

有效

• 申請號: 202011030552.9
• 申請日: 2020-09-27
• 公開（公告）號: CN112246561B
• 公開（公告）日: 2022-04-29
• 發明（設計）人: 孫立巍;丁頌;張小奇;蔣東霖;馬子玉;孫嘉彬
• 申請（專利權）人: 長春師范大學
• 主分類號: B05C13/02
• 分類號: B05C13/02
• 代理公司: 長春眾邦菁華知識產權代理有限公司 22214
• 代理人: 于曉慶

1.一種超精密光學掠入射反射鏡加工徑向調整固緊裝置，其特征在于，包括：用于安裝反射鏡的固緊座(1)、安裝在固緊座(1)上的多個徑向調整機構(2)和安裝在固緊座(1)上的多個固膠塊(3)；通過徑向調整機構(2)調整反射鏡在固緊座(1)中的徑向位置；通過固膠塊(3)調整反射鏡在固緊座(1)中的周向位置；

所述固緊座(1)包括：空心圓柱體(1.5)和固定在空心圓柱體(1.5)下端的環形底盤(1.4)；

所述空心圓柱體(1.5)上端均布有多個徑向調整孔(1.1)，用于徑向調整和二次注膠固緊；

所述空心圓柱體(1.5)下端均布有多個固膠孔(1.3)，用于一次注膠固緊；

所述徑向調整孔(1.1)與固膠孔(1.3)一一對應；

每個徑向調整孔(1.1)兩側分別設有徑向調整機構連接孔(1.2)，用于實現徑向調整機構(2)與固緊座(1)的固連；

所述徑向調整孔(1.1)、固膠孔(1.3)與徑向調整機構(2)的數量相同，均為6N個，N為正整數；

所述徑向調整機構(2)包括：

固定在固緊座(1)上的徑向調整塊(2.2)；

設置在徑向調整塊(2.2)中心的螺紋孔；

旋入徑向調整塊(2.2)中心螺紋孔中的調整螺釘(2.1)；

與調整螺釘(2.1)下端端面接觸的鋁合金壓塊(2.3)；

膠接在鋁合金壓塊(2.3)下表面的聚四氟乙烯壓塊(2.4)，所述聚四氟乙烯壓塊(2.4)與反射鏡凸面接觸；

通過調節調整螺釘(2.1)的螺旋位移來微調聚四氟乙烯壓塊(2.4)與反射鏡凸面之間的距離，實現微調反射鏡在固緊座(1)中的徑向位置；

所述固膠塊(3)的本體上設有兩個注膠孔(3.2)；所述固膠塊(3)的本體上表面左右兩端分別設有儲膠槽(3.3)；所述固膠塊(3)的本體上表面上下兩端分別設有兩個固膠塊側壁槽(3.4)；所述固膠塊(3)的本體下表面設有注膠槽(3.1)；

通過兩個注膠孔(3.2)將光學膠注入注膠槽(3.1)，使固膠塊(3)下表面與反射鏡凸面膠接在一起，所述儲膠槽(3.3)中的光學膠流動到固膠塊側壁槽(3.4)中使固膠塊(3)上下外側壁與固膠孔(1.3)側壁膠接在一起，使反射鏡固定在固緊座(1)中的周向位置。

2.根據權利要求1所述的一種超精密光學掠入射反射鏡加工徑向調整固緊裝置，其特征在于，所述徑向調整孔(1.1)、固膠孔(1.3)和徑向調整機構(2)的數量均為6個，6個徑向調整孔(1.1)以空心圓柱體(1.5)的中心為圓心60°均布，6個固膠孔(1.3)以空心圓柱體(1.5)的中心為圓心60°均布；6個徑向調整孔(1.1)與6個固膠孔(1.3)一一對應設置。

3.根據權利要求1所述的一種超精密光學掠入射反射鏡加工徑向調整固緊裝置，其特征在于，所述環形底盤(1.4)上設有多個均布的螺栓孔(1.6)，用于與機床卡盤連接。

4.根據權利要求1所述的一種超精密光學掠入射反射鏡加工徑向調整固緊裝置，其特征在于，所述徑向調整孔(1.1)與固膠孔(1.3)均沿空心圓柱體(1.5)軸線方向設置。

5.根據權利要求1所述的一種超精密光學掠入射反射鏡加工徑向調整固緊裝置，其特征在于，所述徑向調整孔(1.1)與固膠孔(1.3)為結構尺寸均相同的長條形孔，每個長條形孔的四個角均設置成弧形。

6.根據權利要求1所述的一種超精密光學掠入射反射鏡加工徑向調整固緊裝置，其特征在于，所述徑向調整機構(2)兩端分別設有凸臺(2.5)，所述凸臺(2.5)上設有螺紋孔，該螺紋孔與徑向調整機構連接孔(1.2)相互配合，實現徑向調整塊(2.2)與固緊座(1)的固連。