[發明專利]蒸發源裝置、成膜裝置、成膜方法及電子器件的制造方法

有效

• 申請號: 202011023409.7
• 申請日: 2020-09-25
• 公開（公告）號: CN112575295B
• 公開（公告）日: 2023-04-07
• 發明（設計）人: 風間良秋;近藤喜成
• 申請（專利權）人: 佳能特機株式會社
• 主分類號: C23C14/26
• 分類號: C23C14/26;H10K99/00
• 代理公司: 中國貿促會專利商標事務所有限公司 11038
• 代理人: 張寶榮

本發明提供能夠對多重地包圍容器的多個加熱器以加熱器彼此不接觸的方式進行支承并有效地加熱容器內的蒸鍍材料的蒸發源裝置、成膜裝置、成膜方法及電子器件的制造方法。所述蒸發源裝置具備：收容蒸鍍材料的容器；配置在所述容器的周圍且呈螺旋狀地設置有加熱線的第一加熱器；以及配置在所述第一加熱器的外側且呈螺旋狀地設置有加熱線的第二加熱器，所述蒸發源裝置的特征在于，具備配置在所述第一加熱器與所述第二加熱器之間且對所述第一加熱器和第二加熱器的任一方的加熱線進行支承的第一支承構件。

技術領域

本發明涉及蒸發源裝置、成膜裝置、成膜方法及電子器件的制造方法。

背景技術

近年來，作為顯示器的一種，具備利用了有機材料的電致發光的有機EL元件的有機EL裝置吸引到關注。在該有機EL顯示器等電子器件的制造中，包括使用蒸發源裝置將有機材料、金屬電極材料等蒸鍍材料蒸鍍在基板上來進行成膜的工序。

作為具有多個加熱器的結構，例如已知有專利文獻1那樣的成膜裝置。該成膜裝置構成為具備：填充有原料的坩堝；以覆蓋坩堝的方式配置的第一加熱器；進而以覆蓋第一加熱器的方式配置的熱反射板；以及以覆蓋熱反射板的方式配置的第二加熱器。然而，該專利文獻1的第二加熱器是用于加熱護罩以對冷卻面上冷凝或吸附著的雜質氣體進行加熱而將該雜質氣體除去的器件，并不有助于坩堝的加熱。

在先技術文獻

專利文獻

專利文獻1：日本特開2013－35710號公報

發明內容

發明要解決的課題

因此，考慮有在專利文獻1的成膜裝置中取下熱反射板而使第二加熱器的輻射熱直接向坩堝輻射地構成的方案，但對第一加熱器、第二加熱器的具體的支承結構并沒有進行記載。尤其是當第一加熱器與第二加熱器接觸時，接觸部可能會發生損傷。另外，在使用裸露的電熱絲的情況下，還可能會流過異常的電流而導致燒損。

本發明的目的在于，提供能夠對多重地包圍容器的多個加熱器以加熱器彼此不接觸的方式進行支承并有效地加熱容器內的蒸鍍材料的蒸發源裝置、成膜裝置、成膜方法及電子器件的制造方法。

用于解決課題的方案

為了達成上述目的，本發明的蒸發源裝置具備：

容器，其收容蒸鍍材料；

第一加熱器，其配置在所述容器的周圍且呈螺旋狀地設置有加熱線；以及

第二加熱器，其配置在所述第一加熱器的外側且呈螺旋狀地設置有加熱線，

所述蒸發源裝置的特征在于，

具備配置在所述第一加熱器與所述第二加熱器之間且對所述第一加熱器和第二加熱器的任一方的加熱線進行支承的第一支承構件。

另外，又一方案的蒸發源裝置具備：

容器，其收容蒸鍍材料；

第一加熱器，其配置在所述容器的周圍且呈螺旋狀地設置有加熱線；以及

第二加熱器，其配置在所述第一加熱器的外側且呈螺旋狀地設置有加熱線，

所述蒸發源裝置的特征在于，

具備配置在所述第一加熱器與所述第二加熱器之間且對所述第一加熱器的加熱線及所述第二加熱器的加熱線進行支承的第三支承構件。

進而，另一方案的蒸發源裝置具備：

容器，其收容蒸鍍材料；

第一加熱器，其配置在所述容器的周圍且呈螺旋狀地設置有加熱線；以及

第二加熱器，其配置在所述第一加熱器的外側且呈螺旋狀地設置有加熱線，