[發明專利]一種用于多焊件自動共晶的通用共晶裝置及共晶方法有效
| 申請號: | 202011000132.6 | 申請日: | 2020-09-22 |
| 公開(公告)號: | CN112289695B | 公開(公告)日: | 2023-03-21 |
| 發明(設計)人: | 羅建強;張平升;代忠;文俊凌;伍藝龍;王輝;季興橋 | 申請(專利權)人: | 中國電子科技集團公司第二十九研究所 |
| 主分類號: | H01L21/603 | 分類號: | H01L21/603;H01L21/50 |
| 代理公司: | 成都九鼎天元知識產權代理有限公司 51214 | 代理人: | 賈年龍 |
| 地址: | 610036 四川*** | 國省代碼: | 四川;51 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 用于 多焊件 自動 通用 裝置 方法 | ||
1.一種用于多焊件自動共晶的通用共晶裝置,其特征在于,包括方形上組合體與下盤,所述下盤表面陣列分布有多個L型斷開結構,用于自動微組裝設備的識別和焊件的陣列擺放,以及四角分布設有定位孔,每個L型斷開結構包圍有通孔,用于固定焊件;所述上組合體包括上盤、中盤、定位銷釘及多個焊件定位結構,上盤與中盤重疊固定設置,定位銷釘設置在中盤下表面四角與下盤定位孔對應;所述多個焊件定位結構陣列設置于中盤下表面與L型斷開結構對應。
2.根據權利要求1所述的用于多焊件自動共晶的通用共晶裝置,其特征在于,所述焊件定位結構包括多個陣列設置定位柱與彈簧組合結構,定位柱一端與彈簧連接固定于中盤內部,另一端外露,用于定位和固定焊件。
3.根據權利要求2所述的用于多焊件自動共晶的通用共晶裝置,其特征在于,所述上組合體還包括多個高頭螺釘,所述高頭螺釘螺帽向下,穿過中盤與上盤設置;高頭螺釘分布設置在上組合體的四條邊上,用于調節施加到焊件上的壓力。
4.根據權利要求3所述的用于多焊件自動共晶的通用共晶裝置,其特征在于,所述下盤背面設有開槽,用于與自動微組裝設備操作臺面固定。
5.根據權利要求4所述的用于多焊件自動共晶的通用共晶裝置,其特征在于,所述下盤采用石墨制成。
6.一種采用權利要求1-5任一所述用于多焊件自動共晶的通用共晶裝置的共晶方法,其特征在于,包括:
步驟1、在通用共晶裝置的下盤上對金屬熱沉進行陣列擺放;
步驟2、在共晶裝置下盤上的陣列金屬熱沉上點涂金鍺焊膏;
步驟3、在金屬熱沉上進行電路基板貼片;
步驟4、將上組合體定位銷釘插入下盤的定位孔固定,再進行自動共晶焊接和清洗;
步驟5、取下上組合體,在下盤上的陣列電路基板和/或金屬熱沉上點涂金錫焊膏;
步驟6、在陣列電路基板和/或金屬熱沉上進行芯片貼片;
步驟7、再次將上組合體與下盤固定,進行自動共晶焊接和清洗;
步驟8、取下上組合體得到共晶構件。
7.根據權利要求6所述的共晶方法,其特征在于,所述步驟4中,自動共晶焊接溫度為420℃±10℃。
8.根據權利要求7所述的共晶方法,其特征在于,所述步驟7中,自動共晶焊接溫度為350℃±10℃。
9.根據權利要求6所述的共晶方法,其特征在于,所述步驟4、7中清洗溶劑為異丙醇。
10.根據權利要求6所述的共晶方法,其特征在于,所述金屬熱沉、電路基板、芯片的表面鍍層均為金鍍層。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





