[發(fā)明專利]一種光路垂直性的檢測(cè)元件及檢測(cè)方法

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202011000007.5
• 申請(qǐng)日: 2020-09-22
• 公開（公告）號(hào): CN111947687A
• 公開（公告）日: 2020-11-17
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 黃卜夫;王星華;劉永佳;王為良;呂華賓;祁研
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 易視智瞳科技（深圳）有限公司
• 主分類號(hào): G01C25/00
• 分類號(hào): G01C25/00;G01C11/02
• 代理公司: 深圳協(xié)成知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 44458
• 代理人: 章小燕

1.一種光路垂直性的檢測(cè)元件，其特征在于，所述檢測(cè)元件包括：底層圓柱、正方體柱體和光學(xué)玻璃；

所述正方體柱體設(shè)置在所述底層圓柱上，所述正方體柱體的中心與所述底層圓柱的圓心重合；在所述正方體柱體的中心貫穿形成一正方形通孔；

所述光學(xué)玻璃覆蓋安裝在所述正方體柱體的頂部，在所述光學(xué)玻璃上表面偏離所述正方體柱體中心預(yù)設(shè)距離光刻兩個(gè)同心的第一偏心圓及第二偏心圓；

通過選擇在若干個(gè)測(cè)量位置分別旋轉(zhuǎn)測(cè)量所述第一偏心圓和所述第二偏心圓的兩組長(zhǎng)短軸數(shù)據(jù)，分別計(jì)算上述兩組所述長(zhǎng)短軸數(shù)據(jù)的差值，直到兩組所述差值均在預(yù)設(shè)極值以內(nèi)時(shí)驗(yàn)證光路處于垂直。

2.如權(quán)利要求1所述的檢測(cè)元件，其特征在于，所述底層圓柱設(shè)置有4個(gè)大小相同的圓形通孔，4個(gè)所述圓形通孔分別相差90度分布在所述底層圓柱的四周；

在檢測(cè)帶高度產(chǎn)品尺寸，通過選擇在若干個(gè)測(cè)量位置分別旋轉(zhuǎn)測(cè)量所述底層圓柱外圓的長(zhǎng)短軸數(shù)據(jù)和任意一個(gè)圓形通孔的長(zhǎng)短軸數(shù)據(jù)，計(jì)算所述長(zhǎng)短軸數(shù)據(jù)的差值在預(yù)設(shè)極值之內(nèi)時(shí)驗(yàn)證光路處于垂直。

3.如權(quán)利要求1所述的檢測(cè)元件，其特征在于，在所述光學(xué)玻璃的一側(cè)光刻形成一直角三角形，所述直角三角形的兩直角邊偏離所述正方體柱體的距離大于所述正方形通孔的邊緣與所述正方體柱體的距離。

4.如權(quán)利要求1所述的檢測(cè)元件，其特征在于，所述第一偏心圓的直徑大于所述第二偏心圓的直徑。

5.如權(quán)利要求1所述的檢測(cè)元件，其特征在于，所述光學(xué)玻璃呈正方形，邊長(zhǎng)與所述正方體柱體的邊長(zhǎng)相等，正好覆蓋安裝在所述正方體柱體的頂部。

6.如權(quán)利要求1所述的檢測(cè)元件，其特征在于，所述預(yù)設(shè)極值為0.001mm。

7.如權(quán)利要求1所述的檢測(cè)元件，其特征在于，所述底層圓柱和所述正方體柱體采用鎢鋼制作而成，0級(jí)精度。

8.一種光路垂直性的檢測(cè)方法，應(yīng)用于如權(quán)利要求1至7任一項(xiàng)所述的一種光路垂直性的檢測(cè)元件，其特征在于，所述檢測(cè)方法包括：

所述檢測(cè)元件包括：正方體柱體和光學(xué)玻璃；所述光學(xué)玻璃覆蓋安裝在所述正方體柱體的頂部，在所述光學(xué)玻璃上表面偏離所述正方體柱體中心預(yù)設(shè)距離光刻兩個(gè)同心的第一偏心圓及第二偏心圓；所述方法包括：

S1、選擇若干個(gè)預(yù)設(shè)角度的測(cè)量位置。

S2、分別旋轉(zhuǎn)測(cè)量處在若干個(gè)所述測(cè)量位置的第一偏心圓和第二偏心圓的兩組長(zhǎng)短軸數(shù)據(jù)，分別計(jì)算上述兩組所述長(zhǎng)短軸數(shù)據(jù)的差值，直到兩組所述差值均在預(yù)設(shè)極值以內(nèi)時(shí)驗(yàn)證光路處于垂直。

9.如權(quán)利要求8所述的檢測(cè)方法，其特征在于，所述檢測(cè)元件包括：底層圓柱，所述底層圓柱設(shè)置有4個(gè)大小相同的圓形通孔，4個(gè)所述圓形通孔分別相差90度分布在所述底層圓柱的四周；所述步驟S2還進(jìn)一步包括：

在檢測(cè)帶高度產(chǎn)品尺寸，分別旋轉(zhuǎn)測(cè)量處在若干個(gè)所述測(cè)量位置的所述底層圓柱外圓和任意一個(gè)圓形通孔的兩組長(zhǎng)短軸數(shù)據(jù)，分別計(jì)算上述兩組所述長(zhǎng)短軸數(shù)據(jù)的差值，直到兩組所述差值均在預(yù)設(shè)極值以內(nèi)時(shí)驗(yàn)證光路處于垂直。