[發明專利]一種軸向溫度多梯度可控的熱場及長晶爐在審
| 申請號： | 202010998979.1 | 申請日： | 2020-09-22 |
| 公開（公告）號： | CN112176396A | 公開（公告）日： | 2021-01-05 |
| 發明（設計）人： | 李輝;毛瑞川;楊茜 | 申請（專利權）人： | 南京晶升能源設備有限公司 |
| 主分類號： | C30B11/00 | 分類號： | C30B11/00;C30B29/36 |
| 代理公司： | 南京蘇高專利商標事務所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 張弛 |
| 地址： | 211113 江蘇省南京*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 軸向 溫度 梯度 可控 長晶爐 | ||
【權利要求書】：
1.一種軸向溫度多梯度可控的熱場，其特征在于，包括石英管、收容于石英管內部的坩堝、圍繞石英管外圍的上線圈、圍繞石英管外圍的中線圈、圍繞石英管外圍的下線圈；所述上線圈位于中線圈上方，下線圈位于中線圈下方；上線圈、中線圈、下線圈各自配備獨立的升降系統，上線圈、中線圈、下線圈分別圍繞石英管上下移動；
所述上線圈配有跟隨上線圈移動的上紅外高溫計、中線圈配有跟隨中線圈移動的中紅外高溫計、下線圈配有跟隨下線圈移動的下紅外高溫計。
2.根據權利要求1所述的軸向溫度多梯度可控的熱場，其特征在于，上線圈、中線圈、下線圈通過各個紅外高溫計全程監控各區熱場溫度，根據所測數據調整每組線圈功率大小。
3.根據權利要求1或2所述的軸向溫度多梯度可控的熱場，其特征在于，上線圈、中線圈、下線圈采用的升降系統為在線圈外側設置的三個升降桿，每個升降桿與上線圈、中線圈或下線圈固定，每個升降桿通過氣動或者液壓動力升降；每組線圈位置均可調。
4.根據權利要求3所述的軸向溫度多梯度可控的熱場，其特征在于，石英管上部分為1區、石英管中部分為2區、石英管下部分為3區；上線圈用以加熱1區，中線圈用以加熱2區，下線圈用以加熱3區。
5.一種長晶爐，其特征在于，具有如權利要求1至4中任一項所述的軸向溫度多梯度可控的熱場。
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