[發(fā)明專利]一種傳感器、電子裝置及傳感器的制作方法

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• 申請?zhí)枺?/td>: 202010969802.9
• 申請日: 2020-09-15
• 公開（公告）號: CN112146684A
• 公開（公告）日: 2020-12-29
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 曹江浪;方鵬;李光林
• 申請（專利權(quán)）人: 中國科學(xué)院深圳先進(jìn)技術(shù)研究院
• 主分類號: G01D5/12
• 分類號: G01D5/12
• 代理公司: 深圳市威世博知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 44280
• 代理人: 黎堅(jiān)怡

1.一種傳感器，其特征在于，所述傳感器包括：

第一壓電駐極體和第二壓電駐極體；

第一信號端金屬電極，設(shè)置于所述第一壓電駐極體的一側(cè)面上，且朝向第一方向延伸；

接地端金屬電極，設(shè)置于所述第一壓電駐極體和所述第二壓電駐極體之間；

第二信號端金屬電極，設(shè)置于所述第二壓電駐極體背離所述接地端金屬電極的一側(cè)面上，且朝向與所述第一方向垂直的第二方向延伸。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的傳感器，其特征在于，

所述第一信號端金屬電極的數(shù)量包括至少兩個，且分別間隔平行設(shè)置于所述第一壓電駐極體的一側(cè)面上，并朝向所述第一方向延伸。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的傳感器，其特征在于，

所述第二信號端金屬電極的數(shù)量包括至少兩個，且分別間隔平行設(shè)置于所述第二壓電駐極體背離所述接地端金屬電極的一側(cè)面上，并朝向所述第二方向延伸。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的傳感器，其特征在于，

所述第一壓電駐極體、所述第一信號端金屬電極以及所述接地端金屬電極均為長方體結(jié)構(gòu)，且所述第一信號端金屬電極和所述接地端金屬電極在所述第一壓電駐極體一側(cè)面上的投影面積均小于所述第一壓電駐極體一側(cè)面的表面積。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的傳感器，其特征在于，

所述接地端金屬電極包括第一接地端金屬電極和第二接地端金屬電極，所述第一接地端金屬電極一側(cè)面設(shè)置于所述第一壓電駐極體背離所述第一信號端金屬電極的另一側(cè)面上，所述第二接地端金屬電極的一側(cè)面設(shè)置于所述第二壓電駐極體背離所述第二信號端金屬電極的另一側(cè)面上，且所述第二接地端金屬電極的另一側(cè)面設(shè)置于所述第一接地端金屬電極的另一側(cè)面上。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的傳感器，其特征在于，

所述第二接地端金屬電極與所述第一接地端金屬電極之間設(shè)置有導(dǎo)電膠，以通過所述導(dǎo)電膠粘接于所述第一接地端金屬電極上。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的傳感器，其特征在于，

所述第一壓電駐極體和所述第二壓電駐極體均是采用內(nèi)部包括有孔洞結(jié)構(gòu)的壓電材料制成。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的傳感器，其特征在于，

所述第一信號端金屬電極、所述接地端金屬電極以及所述第二信號端金屬電極的厚度均不大于1μm。

9.一種電子裝置，其特征在于，所述電子裝置包括相互電連接的信號處理器和傳感器，其中，所述傳感器為如權(quán)利要求1-8任一項(xiàng)所述的傳感器。

10.一種傳感器的制作方法，其特征在于，所述傳感器的制作方法包括：

提供第一壓電駐極體和第二壓電駐極體，在所述第一壓電駐極體和所述第二壓電駐極體的一側(cè)面上分別貼設(shè)沿第一方向延伸的第一掩膜，以及沿與所述第一方向垂直的第二方向延伸的第二掩膜；

在所述第一掩膜和所述第二掩膜上分別制作形成第一信號端金屬電極和第二信號端金屬電極，并去除所述第一掩膜和所述第二掩膜；

在所述第一壓電駐極體和所述第二壓電駐極體背離所述第一信號端金屬電極和所述第二信號端金屬電極的另一側(cè)面上分別制作形成第一接地端金屬電極和第二接地端金屬電極；

將所述第一接地端金屬電極與所述第二接地端金屬電極疊層連接，以獲取到所述傳感器。