[發明專利]一種防堵塞型集成電路制作設備

在審

• 申請號: 202010966732.1
• 申請日: 2020-09-15
• 公開（公告）號: CN112086395A
• 公開（公告）日: 2020-12-15
• 發明（設計）人: 平克宇
• 申請（專利權）人: 南京利碩斯機電設備有限公司
• 主分類號: H01L21/683
• 分類號: H01L21/683;B08B1/00;B08B1/04;B08B5/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種防堵塞型集成電路制作設備，包括連接管（1）和吸嘴（2），所述連接管（1）豎向設置，所述吸嘴（2）安裝在連接管（1）的頂端，所述吸嘴（2）上設有吸孔，所述吸孔與連接管（1）同軸設置且與連接管（1）連通，其特征在于，所述連接管（1）上設有除塵機構和輔助機構；

所述除塵機構包括連接桿（3）、密封環（4）、固定管（5）、密封管（6）、至少兩個氣缸（7）和至少兩個連接組件，所述連接管（1）、密封環（4）、固定管（5）和密封管（6）均與連接桿（3）同軸設置，所述連接桿（3）位于吸嘴（2）的上方，所述連接桿（3）插入連接管（1）的頂端，所述連接桿（3）與連接管（1）的內壁滑動且密封連接，所述連接管（1）穿過密封環（4），所述連接桿（3）與密封環（4）密封且固定連接，所述固定管（5）的頂端與密封環（4）的底部密封且固定連接，所述吸嘴（2）插入固定管（5）的底端，所述吸嘴（2）的底部與密封環（4）頂部所在平面之間的距離大于固定管（5）的底端與密封環（4）頂部所在平面之間的距離，所述吸嘴（2）和連接管（1）均與固定管（5）之間設有間隙，所述連接管（1）上設有至少兩個氣孔，所述氣孔以連接管（1）的軸線為中心周向均勻分布在密封環（4）和吸嘴（2）之間，所述氣缸（7）和密封管（6）均設置在固定管（5）內，所述連接管（1）穿過密封管（6），所述連接管（1）與密封管（6）滑動且密封連接，所述密封管（6）位于氣孔和密封環（4）之間，所述氣缸（7）與氣孔一一對應，所述氣缸（7）固定在密封環（4）的底部且驅動密封管（6）沿著連接管（1）的軸向移動，所述連接組件以氣缸（7）一一對應且設置在吸嘴（2）和連接桿（3）之間；

所述連接組件包括支撐塊（8）、限位塊（9）、導桿（10）、彈簧（11）和導孔，所述支撐塊（8）固定在連接管（1）的內壁上，所述支撐塊（8）上設有導孔，所述導桿（10）與連接管（1）平行，所述導桿（10）穿過導孔且與導孔的內壁滑動連接，所述導桿（10）的頂端固定在連接桿（3）的底端，所述限位塊（9）固定在導桿（10）的底端且與支撐塊（8）抵靠，所述彈簧（11）位于連接桿（3）和支撐塊（8）之間，所述連接桿（3）通過彈簧（11）與支撐塊（8）連接；

所述輔助機構設置在連接管（1）內且位于連接桿（3）和吸嘴（2）之間，所述輔助機構包括滾筒刷（12）、轉動軸（13）、連接軸承（14）、滾珠絲杠軸承（15）和絲桿（16），所述絲桿（16）、轉動軸（13）和滾筒刷（12）均與連接管（1）同軸設置，所述絲桿（16）固定在轉動軸（13）的頂端，所述滾筒刷（12）固定在轉動軸（13）的底端且位于吸孔內，所述滾筒刷（12）與吸孔的內壁抵靠，所述連接軸承（14）的內圈安裝在轉動軸（13）上，所述連接軸承（14）的外圈與連接管（1）的內壁固定連接，所述絲桿（16）上設有外螺紋，所述滾珠絲杠軸承（15）的內圈與外螺紋匹配且安裝在絲桿（16）上，所述滾珠絲杠軸承（15）的外圈與限位塊（9）固定連接。

2.如權利要求1所述的防堵塞型集成電路制作設備，其特征在于，所述連接管（1）的內壁上涂有密封脂。

3.如權利要求1所述的防堵塞型集成電路制作設備，其特征在于，所述導桿（10）上涂有潤滑油。

4.如權利要求1所述的防堵塞型集成電路制作設備，其特征在于，所述導桿（10）的兩端均設有倒角。

5.如權利要求1所述的防堵塞型集成電路制作設備，其特征在于，所述固定管（5）的內壁上設有至少兩個吸音板（17），所述吸音板（17）與氣缸（7）一一對應。

6.如權利要求1所述的防堵塞型集成電路制作設備，其特征在于，所述密封環（4）上設有防腐鍍鋅層。

7.如權利要求1所述的防堵塞型集成電路制作設備，其特征在于，所述密封環（4）的頂部設有兩個光伏板（18），所述光伏板（18）與氣缸（7）一一對應。

8.如權利要求1所述的防堵塞型集成電路制作設備，其特征在于，所述限位塊（9）的制作材料為橡膠。