[發(fā)明專利]靜電放電緩解裝置

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202010939904.6
• 申請日: 2020-09-09
• 公開（公告）號: CN112469187A
• 公開（公告）日: 2021-03-09
• 發(fā)明（設計）人: 詹姆斯·C·林德;杰弗里·J·麥肯齊
• 申請（專利權）人: 恩特格里斯公司
• 主分類號: H05F3/02
• 分類號: H05F3/02;F16L25/01
• 代理公司: 北京律盟知識產(chǎn)權代理有限責任公司 11287
• 代理人: 李婷

本發(fā)明提供靜電放電ESD緩解裝置。在一或多個實施例中，所述靜電放電ESD緩解裝置是用以連接流體回路中的兩個或更多個導電管段的管道連接器，所述管道連接器包含導電連接器主體與兩個或更多個附接部分、兩個或更多個附接配件，且導電支架經(jīng)配置以與所述連接器主體附接及介接以將所述連接器主體電連接到接地。

技術領域

本發(fā)明的實施例涉及可用于(例如)流體處置系統(tǒng)中的靜電放電(ESD)緩解配置，且更明確來說，涉及可經(jīng)并入到此類流體處置系統(tǒng)中的導電支架。

背景技術

靜電放電(ESD)是半導體產(chǎn)業(yè)及其它技術應用中的流體處置系統(tǒng)的一個重要技術問題。流體與流體系統(tǒng)中的各種操作組件(例如，管道或管路、閥、配件、過濾器等)的表面之間的摩擦接觸可導致靜態(tài)電荷產(chǎn)生及積聚。電荷產(chǎn)生的程度取決于各種因素，包含(但不限于)組件及流體的性質、流體速度、流體粘度、流體的導電性、接地通路、液體中的湍流及剪切、流體中氣體的存在及表面積。此外，隨著流體流動通過系統(tǒng)，電荷可在稱為流動電荷(streaming charge)的現(xiàn)象中被帶到下游，在下游電荷的積聚程度可能會超出電荷產(chǎn)生的地方。充分的電荷積累可導致管道或管路壁、組件表面處發(fā)生靜電放電，或甚至會在各個過程步驟處靜電放電到襯底或晶片上。

在一些應用中，半導體襯底或晶片對靜態(tài)電荷高度敏感，且此ESD可導致襯底或晶片損壞或損毀。舉例來說，可損毀襯底上的電路，且光敏化合物可能會由于不可控ESD而在正常曝光之前活化。另外，積聚的靜態(tài)電荷可從流體處置系統(tǒng)內放電到外部環(huán)境，從而潛在地損壞流體處置系統(tǒng)中的組件(例如，管道或管路、配件、組件、容器、過濾器等)，此會導致系統(tǒng)中的流體泄漏、溢出且使組件性能降低。在這些情況中，當易燃、有毒及/或腐蝕性流體用于受損的流體處置系統(tǒng)中時，此放電可能導致潛在火災或爆炸。

通常，電氣系統(tǒng)中的薄弱環(huán)節(jié)是接地的完整性。在一些流體處置系統(tǒng)中，為了減少靜態(tài)電荷積聚，將流體處置系統(tǒng)中的某些金屬或導電組件接地以在靜態(tài)電荷連續(xù)從金屬或導電組件連續(xù)分散到接地緩解其在系統(tǒng)中的積聚。目前，由例如尼龍(Nylon)的導電組合物組成的導電扎帶或“束線帶”有時用于將組件連接到接地。此類聚合物扎帶易受蠕變、移動、斷裂、環(huán)境效應或敏感性、劣化、磨損等影響，且在實踐中具有許多缺點。

期望改進ESD緩解且提供用于超純流體處置系統(tǒng)中的接地裝置，所述接地裝置改進組件可靠性、穩(wěn)定性、性能且減少具有潛在損毀性的ESD事件。

發(fā)明內容

本發(fā)明大體上涉及可用于(例如)流體處置系統(tǒng)中的靜電放電(ESD)緩解裝置，且更明確來說，涉及可經(jīng)并入到此類流體處置系統(tǒng)中的導電支架。

在一些實施例中，揭示用以連接流體回路中的兩個或更多個導電管段的管道連接器，所述管道連接器包含導電連接器主體與兩個或更多個附接部分、兩個或更多個附接配件，且導電支架經(jīng)配置以與所述連接器主體附接及介接以將所述連接器主體電連接到接地。

在管道連接器的某些實施例中，所述導電支架包含夾緊部分，其與所述連接器主體介接且選擇性地變緊以將所述支架附接到所述連接器主體。在管道連接器的其它實施例中，所述導電支架包含用于將所述支架連接到接地的接地夾具。在管道連接器的一些實施例中，所述夾緊部分的形狀是基本上圓形。在管道連接器的某些實施例中，所述夾緊部分的形狀是基本上多邊形。在管道連接器的某些實施例中，所述夾緊部分的形狀是基本上六邊形。

在管道連接器的各個實施例中，所述管道連接器包含筆直連接器、T型連接器或彎頭連接器。在管道連接器的某些實施例中，所述管道連接器是具有用以連接兩個管段的流體通道的筆直連接器。在管道連接器的某些實施例中，所述管道連接器是具有用以連接兩個管段的流體通道的彎頭連接器。在管道連接器的某些實施例中，所述管道連接器是具有用以連接三個管段的流體通道的T型連接器。在管道連接器的某些實施例中，所述連接器主體附接部分包含螺紋區(qū)及用以接納管段的接頭區(qū)。在管道連接器的某些實施例中，所述附接配件包含用以將管段附接到所述管道連接器的所述螺紋區(qū)及頸部區(qū)的螺母。