[發(fā)明專利]一種硅片不良片的制絨處理方法

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• 申請?zhí)枺?/td>: 202010938254.3
• 申請日: 2020-09-09
• 公開（公告）號: CN114242829A
• 公開（公告）日: 2022-03-25
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 楊圣合
• 申請（專利權(quán)）人: 東莞新科技術(shù)研究開發(fā)有限公司
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18;H01L21/268;H01L21/02;C30B33/10
• 代理公司: 廣州三環(huán)專利商標(biāo)代理有限公司 44202
• 代理人: 郝傳鑫

本發(fā)明公開了一種硅片不良片的制絨處理方法，包括：將刻蝕后的不良片置于紫外燈下照射20min；其中，紫外燈的功率為150W；對預(yù)先配置的堿性制絨液進(jìn)行加熱處理；其中，堿性制絨液的加熱溫度為80℃；將照射后的硅片放置在堿性制絨液中浸泡5min，進(jìn)行堿制絨處理；對堿制絨后的硅片進(jìn)行清洗處理。采用本發(fā)明的技術(shù)方案能夠有效減少資源浪費(fèi)，降低生產(chǎn)成本。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及微電子加工技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種硅片不良片的制絨處理方法。

背景技術(shù)

近年來，微電子行業(yè)迅速發(fā)展，提倡節(jié)約、杜絕浪費(fèi)、降低生產(chǎn)成本是企業(yè)生產(chǎn)控制的主要目標(biāo)。

在實(shí)際生產(chǎn)過程中，由于設(shè)備或者工藝問題，各個工序都會產(chǎn)生不合格的產(chǎn)品，如果不對這些不合格產(chǎn)品進(jìn)行處理，直接報廢，會對企業(yè)造成很大損失，從而造成資源浪費(fèi)，增加生產(chǎn)成本。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明實(shí)施例所要解決的技術(shù)問題在于，提供一種硅片不良片的制絨處理方法，能夠有效減少資源浪費(fèi)，降低生產(chǎn)成本。

為了解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明實(shí)施例提供了一種硅片不良片的制絨處理方法，包括：

將刻蝕后的不良片置于紫外燈下照射20min；其中，紫外燈的功率為150W；

對預(yù)先配置的堿性制絨液進(jìn)行加熱處理；其中，堿性制絨液的加熱溫度為80℃；

將照射后的硅片放置在堿性制絨液中浸泡5min，進(jìn)行堿制絨處理；

對堿制絨后的硅片進(jìn)行清洗處理。

進(jìn)一步地，所述堿性制絨液由NaClO₃溶液與NaOH溶液配制而成，NaClO₃溶液與NaOH溶液的濃度比為30：1，溶劑為去離子水。

進(jìn)一步地，所述對堿制絨后的硅片進(jìn)行清洗處理，具體包括：

將堿制絨后的硅片放置在去離子中漂洗10min；

將漂洗后的硅片放置在濃度為5％的HCl溶液中酸洗1min；

將酸洗后的硅片放置在去離子水中漂洗10min。

進(jìn)一步地，所述方法還包括：

采用光刻膠對清洗后的硅片進(jìn)行處理，相應(yīng)制成成品。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明實(shí)施例提供了一種硅片不良片的制絨處理方法，通過將刻蝕后的不良片置于紫外燈下照射20min；其中，紫外燈的功率為150W；對預(yù)先配置的堿性制絨液進(jìn)行加熱處理；其中，堿性制絨液的加熱溫度為80℃；將照射后的硅片放置在堿性制絨液中浸泡5min，進(jìn)行堿制絨處理；對堿制絨后的硅片進(jìn)行清洗處理；能夠?qū)Σ涣计M(jìn)行再次處理并重新使用，從而能夠有效減少資源浪費(fèi)，降低生產(chǎn)成本。

附圖說明

圖1是本發(fā)明提供的一種硅片不良片的制絨處理方法的一個優(yōu)選實(shí)施例的流程圖。

具體實(shí)施方式

下面將結(jié)合本發(fā)明實(shí)施例中的附圖，對本發(fā)明實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本發(fā)明一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例?；诒景l(fā)明中的實(shí)施例，本技術(shù)領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有作出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本發(fā)明保護(hù)的范圍。

本發(fā)明實(shí)施例提供了一種硅片不良片的制絨處理方法，參見圖1所示，是本發(fā)明提供的一種硅片不良片的制絨處理方法的一個優(yōu)選實(shí)施例的流程圖，所述方法包括步驟S11至步驟S14：

步驟S11、將刻蝕后的不良片置于紫外燈下照射20min；其中，紫外燈的功率為150W；

步驟S12、對預(yù)先配置的堿性制絨液進(jìn)行加熱處理；其中，堿性制絨液的加熱溫度為80℃；