[發明專利]一種光感應器件及其制作方法、顯示面板

在審

• 申請號: 202010927547.1
• 申請日: 2020-09-07
• 公開（公告）號: CN112086561A
• 公開（公告）日: 2020-12-15
• 發明（設計）人: 王海軍
• 申請（專利權）人: 深圳市華星光電半導體顯示技術有限公司
• 主分類號: H01L51/42
• 分類號: H01L51/42;H01L51/48;G02F1/1362
• 代理公司: 深圳紫藤知識產權代理有限公司 44570
• 代理人: 李新干

本發明提供一種光感應器件及其制作方法、顯示面板，包括基板上的光電薄膜晶體管和與其連接的開關薄膜晶體管，所述光電薄膜晶體管和開關薄膜晶體管包括第一有源層和第二有源層，所述第一有源層包括第一銦鎵鋅氧化物層和位于所述第一銦鎵鋅氧化物層上的鈣鈦礦層，所述第二有源層包括第二銦鎵鋅氧化物層，因而可以提高光電薄膜晶體管的光電轉換效率，且可以降低開關薄膜晶體管對光源的吸收，減少光致漏電。

技術領域

本發明涉及顯示技術領域，尤其涉及一種光感應器件及其制作方法、顯示面板。

背景技術

薄膜晶體管液晶顯示器(Thin Film Transistor-Liquid Crystal Display,TFT-LCD)因具有輕、薄、小等特點，同時功耗低、無輻射、制造成本相對較低，在目前平板顯示行業應用較為廣泛。

為拓寬液晶顯示器商用及家用功能，現將諸多功能集成在顯示器中，如色溫感測，激光感測，氣體感測等，提高了液晶顯示器可應用場景。但諸多集成功能均處在新開發階段，尚有較多工藝制程及相關設計需要完善，以便提高多種集成功能液晶顯示器的性能。

發明內容

本發明提供一種光感應器件及其制作方法、顯示面板，旨在提高光感應器件的光電轉換效率，同時實現光感應器件帶隙可調控。

一方面，本發明提供一種光感應器件，包括：

基板；

位于所述基板上的光電薄膜晶體管，所述光電薄膜晶體管包括第一有源層；

位于所述基板上且與所述光電薄膜晶體管連接的開關薄膜晶體管，所述開關薄膜晶體管包括第二有源層；

其中，所述第一有源層包括第一銦鎵鋅氧化物層和位于所述第一銦鎵鋅氧化物層上的鈣鈦礦層，所述第二有源層包括第二銦鎵鋅氧化物層。

進一步優選的，所述第一有源層還包括位于所述鈣鈦礦層上的第一石墨烯層。

進一步優選的，所述第二有源層還包括位于所述第二銦鎵鋅氧化物層上的第二石墨烯層。

進一步優選的，所述光電薄膜晶體管包括：位于所述基板上的第一底柵極，覆蓋所述第一底柵極的絕緣層，位于所述絕緣層上的所述第一有源層，位于所述絕緣層上與所述第一有源層兩端連接的第一源極和第一漏極，覆蓋所述第一有源層、第一源極、及第一漏極的平坦層。

進一步優選的，所述開關薄膜晶體管包括：位于所述基板上的第二底柵極，覆蓋所述第二底柵極的所述絕緣層，位于所述絕緣層上的所述第二有源層，位于所述絕緣層上與所述第二有源層兩端連接的第二源極和第二漏極，覆蓋所述第二有源層、第二源極、及第二漏極的所述平坦層；所述第二源極與所述第一漏極連接。

進一步優選的，所述光電薄膜晶體管還包括位于所述平坦層上且與所述第一有源層對應的第一頂柵極。

進一步優選的，還包括位于所述基板上的存儲電容結構，所述存儲電容結構與所述光電薄膜晶體管和/或開關薄膜晶體管電連接。

另一方面，本發明提供一種光感應器件的制作方法，包括：

提供基板；

在所述基板上形成第一底柵極、第二底柵極、及覆蓋所述第一底柵極和第二底柵極的絕緣層；

在所述絕緣層上形成與所述第一底柵極和第二底柵極對應的第一銦鎵鋅氧化物層和第二銦鎵鋅氧化物層；

在所述第一銦鎵鋅氧化物層上形成鈣鈦礦層，所述第一銦鎵鋅氧化物層和鈣鈦礦層組成第一有源層，所述第二銦鎵鋅氧化物層組成第二有源層；