[發(fā)明專利]用于改善近紅外線靈敏度及通道分離的光控制

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202010925627.3
• 申請(qǐng)日: 2020-09-04
• 公開（公告）號(hào): CN112510055A
• 公開（公告）日: 2021-03-16
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 趙誠(chéng);陸震偉;楊存宇;陳炳旭;林志強(qiáng);劉成明
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 豪威科技股份有限公司
• 主分類號(hào): H01L27/146
• 分類號(hào): H01L27/146
• 代理公司: 北京律盟知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 11287
• 代理人: 劉媛媛

1.一種圖像傳感器，其包括：

多個(gè)光電二極管，其布置在像素陣列的行及列中；

濾光器層，其包括安置在所述多個(gè)光電二極管上方的多個(gè)濾光器(Block、Clear、Pass)，所述濾光器層具有面向所述多個(gè)光電二極管的第一側(cè)及背對(duì)所述第一側(cè)的第二側(cè)；

彩色濾波器層，其包括安置在所述多個(gè)光電二極管上方的多個(gè)彩色濾波器(B、G、R、IR)，所述彩色濾波器層具有面向所述濾光器層的所述第二側(cè)的第一表面及背對(duì)所述濾光器層的所述第一側(cè)的第二表面；及

多個(gè)微透鏡，其靠近所述彩色濾波器層的所述第二表面安置，其中個(gè)別微透鏡經(jīng)配置以引導(dǎo)傳入光穿過對(duì)應(yīng)的濾光器及彩色濾波器而到達(dá)相應(yīng)的光電二極管上。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的圖像傳感器，

其中所述多個(gè)光電二極管包括經(jīng)配置以對(duì)所述傳入光的對(duì)應(yīng)波長(zhǎng)作出響應(yīng)的紅外線IR通道、綠色G通道、紅色R通道及藍(lán)色B通道，

其中所述多個(gè)濾光器包括經(jīng)配置以透射所述傳入光的波長(zhǎng)的透通Clear濾波器、經(jīng)配置以阻擋傳入紅外線光的阻擋Block濾波器及經(jīng)配置以透射傳入紅外線光的通過Pass濾波器，

其中所述多個(gè)彩色濾波器包括：經(jīng)配置以透射藍(lán)色光的藍(lán)色B濾波器、經(jīng)配置以透射綠色光的綠色G濾波器、經(jīng)配置以透射紅色光的紅色R濾波器及經(jīng)配置以透射紅外線光的紅外線IR濾波器，且

其中所述Pass濾波器安置在所述IR通道與所述IR濾波器之間。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的圖像傳感器，其中所述G通道靠近所述IR通道的側(cè)面安置，且其中所述Clear濾波器安置在所述G通道與所述G濾波器之間。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的圖像傳感器，其中所述B通道相對(duì)于所述IR通道對(duì)角地安置，且其中所述Block濾波器安置在所述B通道與所述B濾波器之間。

5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的圖像傳感器，其中所述R通道相對(duì)于所述IR通道對(duì)角地安置，且其中所述Block濾波器安置在所述R通道與所述R濾波器之間。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的圖像傳感器，其中所述多個(gè)光電二極管中的個(gè)別光電二極管包括安置在所述光電二極管的半導(dǎo)體材料中的微結(jié)構(gòu)。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的圖像傳感器，其中所述微結(jié)構(gòu)是單元深溝槽隔離CDTI微結(jié)構(gòu)。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的圖像傳感器，

其中所述多個(gè)光電二極管包括經(jīng)配置以對(duì)所述傳入光的對(duì)應(yīng)波長(zhǎng)作出響應(yīng)的紅外線IR通道、綠色G通道、紅色R通道及藍(lán)色B通道，且

其中所述IR通道包括安置在所述IR通道的半導(dǎo)體材料中的微結(jié)構(gòu)。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的圖像傳感器，其中所述微結(jié)構(gòu)是第一微結(jié)構(gòu)，所述圖像傳感器進(jìn)一步包括安置在所述G通道的所述半導(dǎo)體材料中的第二微結(jié)構(gòu)，其中所述G通道靠近所述IR通道的側(cè)面安置。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的圖像傳感器，其中所述第二微結(jié)構(gòu)經(jīng)配置以朝向所述IR通道引導(dǎo)所述傳入光。

11.根據(jù)權(quán)利要求8所述的圖像傳感器，其中所述B通道相對(duì)于所述IR通道對(duì)角地安置，且其中所述B通道的所述半導(dǎo)體材料不具有微結(jié)構(gòu)。

12.根據(jù)權(quán)利要求8所述的圖像傳感器，其中所述IR通道相對(duì)于所述IR通道對(duì)角地安置，且其中所述R通道的所述半導(dǎo)體材料不具有微結(jié)構(gòu)。

13.根據(jù)權(quán)利要求8所述的圖像傳感器，其中所述微結(jié)構(gòu)包括多個(gè)單元深溝槽隔離CDTI微結(jié)構(gòu)。

14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的圖像傳感器，其中所述多個(gè)CDTI微結(jié)構(gòu)中的個(gè)別微結(jié)構(gòu)具有相同的形狀及大小。