[發明專利]P型背結接觸鈍化電池正面局域重擴方法及電池制備方法

在審

• 申請號: 202010915777.6
• 申請日: 2020-09-03
• 公開（公告）號: CN111816554A
• 公開（公告）日: 2020-10-23
• 發明（設計）人: 袁聲召;崔艷峰;莊宇峰;于元元;胡玉婷;楊斌;張文超;萬義茂
• 申請（專利權）人: 東方日升新能源股份有限公司
• 主分類號: H01L21/268
• 分類號: H01L21/268;H01L31/18
• 代理公司: 北京超凡宏宇專利代理事務所(特殊普通合伙) 11463
• 代理人: 王麗莎

本申請涉及太陽電池領域，具體而言，涉及一種P型背結接觸鈍化電池正面局域重擴方法及電池制備方法。在背面沉積有隧穿氧化層及多晶硅薄膜的P型硅片的正面金屬區域印刷硼漿；然后利用激光將硼漿中的硼打入硅中。本申請采用硼漿作為硅片正面局域重擴的硼源，然后利用激光將硼漿中的硼打入硅中，能夠在P型背結接觸鈍化電池的正面形成局域重擴區域以形成歐姆接觸，從而提高P型背結接觸鈍化電池的轉換效率。而且本申請采用硼漿作為硅片正面局域重擴的硼源，能夠極大地降低P型背結接觸鈍化電池的生產成本，適于產業化。利用激光將硼漿中的硼打入硅中，工藝步驟簡單，操作性強。

技術領域

本申請涉及太陽電池領域，具體而言，涉及一種P型背結接觸鈍化電池正面局域重擴方法及電池制備方法。

背景技術

接觸鈍化電池（TOPCon）是采用遂穿氧化物鈍化晶體硅表面，獲得表面鈍化，并以高摻雜硅薄膜實現選擇性接觸。由于接觸鈍化電池（TOPCon）進行了表面鈍化，有效降低了表面復合速率。而且由于接觸鈍化電池（TOPCon）以高摻雜硅薄膜實現選擇性接觸，避免了一些背面氧化物鈍化高效電池的背面開孔接觸工藝。

由于接觸鈍化電池（TOPCon）優異的性能，自2013年誕生以來，迅速成為光伏行業炙手可熱的技術。接觸鈍化電池（TOPCon）其實驗室電池效率快速增長。2017年，德國Fraunhoferise研究機構發布的小面積N型TOPCon電池效率達到了25.8%。相比于PERC電池，TOPCon電池效率高出0.5~1%；且相比于PERC電池，TOPCon電池沒有光衰。

然而，目前的接觸鈍化電池（TOPCon）的研究大多集中在N型TOPCon電池。例如，中國CN 110571304 A公開了一種N型鈍化接觸雙面太陽電池的制作方法，主要包括：背面沉積氮化硅薄膜、去繞度及制絨、邊緣隔離、去除BSG、沉積正面鈍化層氧化鋁層和氮化硅層、絲網印刷和燒結，得到鈍化接觸雙面太陽電池。中國專利CN 110299434 A公開了一種N型雙面太陽電池制作方法，主要包括：對N型的硅片進行預清洗，并在背面進行磷擴散形成N+層，去除表面的PSG、硅片邊緣和正面的擴散層；在硅片的背面覆蓋氮化硅層，去除正面氮化硅層，再在硅片正面制絨；在硅片正面進行硼擴散，制備PN結，然后去除BSG；在硅片正面制備鈍化層和減反射層，并印刷和燒結，得到N型雙面電池。

但是這些N型TOPCon電池由于其結構特點限制，仍然存在效率損失的問題。

發明內容

本申請實施例的目的在于提供一種P型背結接觸鈍化電池正面局域重擴方法及電池制備方法，能夠在P型背結接觸鈍化電池的正面形成局域重擴區域以形成歐姆接觸，提高背結接觸鈍化電池轉換效率，且工藝步驟簡單。

第一方面，本申請提供一種P型背結接觸鈍化電池正面局域重擴的方法，包括以下步驟：

在背面沉積有隧穿氧化層及多晶硅薄膜的P型硅片的正面金屬區域印刷硼漿；然后利用激光將硼漿中的硼打入硅中。

第二方面，本申請提供一種P型背結接觸鈍化電池的制備方法，包括：

采用上述的P型背結接觸鈍化電池正面局域重擴的方法進行正面局域重擴。

本發明的有益效果包括：本申請采用硼漿作為硅片正面局域重擴的硼源，然后利用激光將硼漿中的硼打入硅中，能夠在P型背結接觸鈍化電池的正面形成局域重擴區域以形成歐姆接觸，從而提高P型背結接觸鈍化電池的轉換效率。而且本申請采用硼漿作為硅片正面局域重擴的硼源，利用激光將硼漿中的硼打入硅中，工藝步驟簡單，操作性強。相對于現有技術中，N型TOPCon電池需要在正面進行硼擴散形成硼擴發射結，本申請采用P型襯底避免了硼擴散步驟，極大地簡化了TOPCon電池生產工藝。而且硼漿成本較低，能夠極大地降低P型背結接觸鈍化電池的生產成本，更加適于產業化。

附圖說明