[發明專利]一種高靈敏氣壓探測器

在審

• 申請號: 202010913280.0
• 申請日: 2020-09-03
• 公開（公告）號: CN111998987A
• 公開（公告）日: 2020-11-27
• 發明（設計）人: 不公告發明人
• 申請（專利權）人: 西安柯萊特信息科技有限公司
• 主分類號: G01L9/08
• 分類號: G01L9/08;G01L19/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種高靈敏氣壓探測器，其特征在于，包括：管道、管壁、彈性部、二硫化鉬層、電極，所述管道由所述管壁圍成，所述管道的一端用于連接待測氣壓的腔室，所述彈性部設置在所述管道另一端的內部，所述彈性部封堵所述管道，所述彈性部與所述管道的截面平齊，所述二硫化鉬層覆蓋所述彈性部，所述二硫化鉬層的邊緣固定在所述管壁上，所述電極有兩個，兩個所述電極分別設置在所述二硫化鉬層上所述彈性部的兩側。

2.如權利要求1所述的高靈敏氣壓探測器，其特征在于：還包括石墨烯層，所述石墨烯層覆蓋在所述二硫化鉬層上，所述電極置于石墨烯層上所述彈性部的兩側。

3.如權利要求2所述的高靈敏氣壓探測器，其特征在于：所述石墨烯層中石墨烯的層數少于10層。

4.如權利要求1-3任一項所述的高靈敏氣壓探測器，其特征在于：靠近所述管道截面一側，所述彈性部具有錐部。

5.如權利要求4所述的高靈敏氣壓探測器，其特征在于：所述彈性部的材料為橡膠。

6.如權利要求5所述的高靈敏氣壓探測器，其特征在于：所述二硫化鉬層中二硫化鉬的層數少于10層。

7.如權利要求6所述的高靈敏氣壓探測器，其特征在于：所述管道的直徑不相等，連接待測氣壓腔室的一端，所述管道的直徑大，在所述彈性部一端，所述管道的直徑小。

8.如權利要求7所述的高靈敏氣壓探測器，其特征在于：所述管壁為絕緣材料。

9.如權利要求8所述的高靈敏氣壓探測器，其特征在于：所述管道的截面為圓形或方形。

10.如權利要求9所述的高靈敏氣壓探測器，其特征在于：所述電極的材料為金。