[發(fā)明專利]一種單晶硅片多模式高效清洗裝置

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202010890367.0
• 申請(qǐng)日: 2020-08-29
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN112259470A
• 公開(kāi)（公告）日: 2021-01-22
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 陳春成;戚建靜
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 江蘇晶品新能源科技有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/67
• 分類號(hào): H01L21/67;B08B3/02;B08B1/02;B08B3/12;B08B3/14;B08B13/00
• 代理公司: 北京科家知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11427
• 代理人: 艾秀麗

本發(fā)明涉及單晶硅片技術(shù)領(lǐng)域，且公開(kāi)了一種單晶硅片多模式高效清洗裝置，包括工作架，所述工作架的底部固定安裝有底板，所述底板的頂部固定安裝有凈水箱，所述工作架的頂部固定安裝有支撐架，所述工作架的頂部固定安裝有位于支撐架內(nèi)部的清洗箱，所述凈水箱的左側(cè)固定安裝有凈水泵，所述凈水泵的頂部固定安裝有位于清洗箱前側(cè)的導(dǎo)水管。該單晶硅片多模式高效清洗裝置，凈化泵上設(shè)置的吸水管，凈化泵啟動(dòng)后將凈水從吸水管導(dǎo)至導(dǎo)水管的內(nèi)部，方便于循環(huán)使用，該單晶硅片多模式高效清洗裝置，通過(guò)利用蛇形過(guò)濾通道和三級(jí)濾網(wǎng)，對(duì)污水實(shí)現(xiàn)曲折型高效過(guò)濾，方便于達(dá)到快速凈化的作用，使凈化后的水可以循環(huán)使用。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及單晶硅片技術(shù)領(lǐng)域，具體為一種單晶硅片多模式高效清洗裝置。

背景技術(shù)

單晶硅片：硅的單晶體，是一種具有基本完整的點(diǎn)陣結(jié)構(gòu)的晶體，不同的方向具有不同的性質(zhì)，是一種良好的半導(dǎo)材料。

現(xiàn)有的單晶硅片應(yīng)用已經(jīng)十分廣泛了，可用于制造半導(dǎo)體器件，針對(duì)現(xiàn)有的單晶硅片，在對(duì)其加工中需要進(jìn)行清洗，但是現(xiàn)有的清洗裝置較為簡(jiǎn)單，不能高效的對(duì)單晶硅片快速清洗，且現(xiàn)有的清洗裝置后的污水不能循環(huán)利用，進(jìn)而造成水資源的浪費(fèi)，難以滿足社會(huì)的需求，故而提出了一種單晶硅片多模式高效清洗裝置來(lái)解決上述中的問(wèn)題。

發(fā)明內(nèi)容

(一)解決的技術(shù)問(wèn)題

針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)的不足，本發(fā)明提供了一種單晶硅片多模式高效清洗裝置，具備高效清洗和方便水循環(huán)的優(yōu)點(diǎn)，解決了現(xiàn)有的清洗裝置較為簡(jiǎn)單，不能高效的對(duì)單晶硅片快速清洗，且現(xiàn)有的清洗裝置后的污水不能循環(huán)利用，進(jìn)而造成水資源的浪費(fèi)的問(wèn)題。

(二)技術(shù)方案

為實(shí)現(xiàn)上述高效清洗和方便水循環(huán)目的，本發(fā)明提供如下技術(shù)方案：一種單晶硅片多模式高效清洗裝置，包括工作架，所述工作架的底部固定安裝有底板，所述底板的頂部固定安裝有凈水箱，所述工作架的頂部固定安裝有支撐架，所述工作架的頂部固定安裝有位于支撐架內(nèi)部的清洗箱，所述凈水箱的左側(cè)固定安裝有凈水泵，所述凈水泵的頂部固定安裝有位于清洗箱前側(cè)的導(dǎo)水管，所述導(dǎo)水管后表面的左右兩側(cè)均固定連接有延伸至清洗箱內(nèi)部的噴水管，所述噴水管的前后兩側(cè)均固定安裝有噴射頭，所述噴水管的前后兩側(cè)均固定安裝有位于兩個(gè)噴射頭之間的噴淋頭，所述支撐架的內(nèi)部右側(cè)固定安裝有固定架，所述固定架的左側(cè)固定安裝有數(shù)量為兩個(gè)的主電機(jī)，所述主電機(jī)的輸出軸處固定連接有延伸至清洗箱內(nèi)部并與其轉(zhuǎn)動(dòng)連接的清洗輥，所述清洗箱前側(cè)固定安裝有貫穿清洗箱并延伸至清洗箱后側(cè)的防脫架，所述防脫架的外部固定安裝有驅(qū)動(dòng)輸送裝置，所述清洗箱的內(nèi)頂壁前后兩側(cè)均固定安裝有連接臂，所述連接臂的底部固定安裝有防水超聲波發(fā)生器，所述連接臂的底部固定安裝有位于防水超聲波發(fā)生器前后兩側(cè)的擦拭板，所述凈水箱的頂部固定安裝有貫穿工作架的頂部的過(guò)濾箱，所述過(guò)濾箱的內(nèi)部活動(dòng)安裝有與清洗箱內(nèi)部相通的過(guò)濾盒，所述過(guò)濾盒的內(nèi)部開(kāi)設(shè)有蛇形過(guò)濾通道。

優(yōu)選的，所述工作架的底部前后左右四側(cè)均設(shè)置有與底板連接的工作立柱，所述凈水箱的右側(cè)設(shè)置有與其內(nèi)部相通的注水管。

優(yōu)選的，所述支撐架包括有與工作架連接且數(shù)量為兩個(gè)的支撐立柱和位于兩個(gè)支撐立柱頂部的支撐頂板，所述支撐架的前側(cè)設(shè)置有控制箱，所述凈水泵的右側(cè)設(shè)置有延伸至凈水箱內(nèi)部的吸水管。

優(yōu)選的，所述固定架上設(shè)置有位于主電機(jī)外部的電機(jī)架，所述清洗箱的內(nèi)部設(shè)置有與清洗輥轉(zhuǎn)動(dòng)連接的軸承座。

優(yōu)選的，所述清洗輥的外部設(shè)置有清洗軟毛，所述噴淋頭與清洗輥在同一垂直線，所述清洗箱的前后兩側(cè)均設(shè)置有與防脫架連接的托板。

優(yōu)選的，所述驅(qū)動(dòng)輸送裝置包括有位于兩個(gè)托板頂部的驅(qū)動(dòng)電機(jī)和位于兩個(gè)驅(qū)動(dòng)電機(jī)輸出軸外部并位于防脫板外部的輸送帶，所述防脫架的頂部和底部均設(shè)置有位于輸送帶左右兩側(cè)的限位導(dǎo)輪。