[發(fā)明專利]液霧回收裝置及基板處理裝置

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202010877547.5
• 申請(qǐng)日: 2020-08-27
• 公開（公告）號(hào): CN112447556A
• 公開（公告）日: 2021-03-05
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 大森圭悟
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 芝浦機(jī)械電子裝置株式會(huì)社
• 主分類號(hào): H01L21/67
• 分類號(hào): H01L21/67;B08B3/10
• 代理公司: 北京同立鈞成知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11205
• 代理人: 楊貝貝;臧建明

本發(fā)明提供一種液霧回收裝置及基板處理裝置，在抑制排氣效率的下降的同時(shí)，可切實(shí)地回收液霧。實(shí)施方式的基板處理裝置包括：處理室，向基板供給處理液，產(chǎn)生處理液的液霧；排氣配管，形成用于從處理室排出氣體的排氣路；支撐軸，以延伸方向沿著排氣路的延伸方向的方式設(shè)置于排氣路；以及旋轉(zhuǎn)鰭片，設(shè)置于支撐軸，通過在排氣路中流動(dòng)的氣體以支撐軸為旋轉(zhuǎn)中心進(jìn)行自轉(zhuǎn)，排氣配管具有形成排氣路的環(huán)狀的壁部，壁部形成為冷卻液在其內(nèi)部空間中流動(dòng)，旋轉(zhuǎn)鰭片被供冷卻液流動(dòng)的壁部的內(nèi)部空間包圍。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明的實(shí)施方式涉及一種液霧回收裝置及基板處理裝置。

背景技術(shù)

在液晶顯示裝置或半導(dǎo)體器件等的制造工序中，使用有對(duì)玻璃基板或半導(dǎo)體基板等基板進(jìn)行處理的基板處理裝置。作為基板處理，例如有抗蝕劑涂布處理、抗蝕劑剝離處理、蝕刻處理、清洗處理、干燥處理?；逄幚硌b置對(duì)處理室內(nèi)的基板供給處理用的流體(例如，處理液或干燥用的氣體)來處理基板。

基板處理裝置有時(shí)具有彼此空間相連的多個(gè)處理室(處理槽)。在所述情況下，為了抑制處理室內(nèi)的氣體(氣氛)流入至其他處理室內(nèi)，而對(duì)處理室連接排氣配管，將處理室內(nèi)的氣體排出。但是，例如如果使用從40℃至80℃左右的高溫的處理液，則處理液的液霧(液體的微粒)在處理室內(nèi)漂浮，與氣體一起被排出。如果液霧流經(jīng)排氣配管，到達(dá)排氣設(shè)備，則有時(shí)到達(dá)的液霧附著于排氣設(shè)備，使排氣設(shè)備發(fā)生故障。而且，處理中使用后的處理液的一部分會(huì)成為液霧而被排出至排氣配管中，所以處理液的回收率會(huì)下降。因此，無法有效率地對(duì)處理液進(jìn)行再利用。

為了回收在排氣配管(排氣路)中流動(dòng)的液霧，設(shè)置了液霧回收設(shè)備。作為液霧回收設(shè)備，存在液霧分離器(mist separater)。為了提高液霧分離器中的液霧回收率，而將分離器用的分隔板(固定狀態(tài))的枚數(shù)增加。但是，由于分隔板會(huì)妨礙排氣，因此如果分隔板的枚數(shù)增加，則排氣效率會(huì)下降。因此，期望在抑制排氣效率的下降的同時(shí)切實(shí)地回收液霧。

[現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)]

[專利文獻(xiàn)]

[專利文獻(xiàn)1]日本專利特開2017-154111號(hào)公報(bào)

發(fā)明內(nèi)容

[發(fā)明所要解決的問題]

本發(fā)明要解決的課題在于提供一種在抑制排氣效率的下降的同時(shí)，可切實(shí)地回收液霧的液霧回收裝置及基板處理裝置。

[解決問題的技術(shù)手段]

本發(fā)明的實(shí)施方式的液霧回收裝置設(shè)置于形成排氣路的排氣配管，所述排氣路用于從產(chǎn)生處理液的液霧的處理室排出氣體，所述液霧回收裝置包括：

配管，形成所述排氣路的一部分；

支撐軸，以延伸方向沿著所述排氣路的延伸方向的方式設(shè)置；以及

鰭片，設(shè)置于所述支撐軸，通過在所述排氣路中流動(dòng)的所述氣體以所述支撐軸為旋轉(zhuǎn)中心進(jìn)行自轉(zhuǎn)，

所述配管具有環(huán)狀的壁部，

所述液霧回收裝置具有對(duì)所述壁部進(jìn)行冷卻的冷卻部。

本發(fā)明的實(shí)施方式的基板處理裝置包括：

處理室，向基板供給處理液，產(chǎn)生所述處理液的液霧；

排氣配管，形成用于從所述處理室排出氣體的排氣路；以及

所述液霧回收裝置，設(shè)置于所述排氣配管的中途。

[發(fā)明的效果]

根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施方式，在抑制排氣效率的下降的同時(shí)，可切實(shí)地回收液霧。

附圖說明

圖1為表示實(shí)施的一方式的基板處理裝置的概略構(gòu)成的圖。