[發(fā)明專利]MOM電容器及半導(dǎo)體元件

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202010872394.5
• 申請(qǐng)日: 2020-08-26
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN111900251A
• 公開(kāi)（公告）日: 2020-11-06
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 曹云
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 上海華虹宏力半導(dǎo)體制造有限公司
• 主分類號(hào): H01L49/02
• 分類號(hào): H01L49/02
• 代理公司: 上海思微知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 31237
• 代理人: 曹廷廷

1.一種MOM電容器，其特征在于，包括呈菱形分布的四個(gè)電容部分，每個(gè)所述電容部分包括交替設(shè)置且相互平行的多個(gè)電極條，所述電極條與所述菱形的對(duì)角線具有一預(yù)設(shè)夾角以使同一電容部分的多個(gè)電極條與所述菱形的兩條對(duì)角線構(gòu)成三角形，位于同一電容部分的相鄰兩個(gè)電極條的極性相反且之間填充有電介質(zhì)，關(guān)于所述菱形的任一對(duì)角線對(duì)稱的兩個(gè)電容部分上的所述電極條相互對(duì)稱且極性相反。

2.如權(quán)利要求1所述的MOM電容器，其特征在于，所述電介質(zhì)為氧化硅、氟硅玻璃及氧化硅-氮化硅-氧化硅中的一種或多種。

3.如權(quán)利要求1所述的MOM電容器，其特征在于，同一電容部分的所有電極條等間距設(shè)置。

4.如權(quán)利要求1所述的MOM電容器，其特征在于，同一電容部分的多個(gè)電極條與所述菱形的兩條對(duì)角線構(gòu)成一等腰直角三角形。

5.如權(quán)利要求1所述的MOM電容器，其特征在于，四個(gè)所述電容部分分別為第一電容部分、第二電容部分、第三電容部分及第四電容部分，所述第一電容部分與所述第二電容部分及所述第四電容部分分別關(guān)于所述菱形的兩條對(duì)角線對(duì)稱，所述第一電容部分與所述第三電容部分關(guān)于所述菱形的中心對(duì)稱，所述第二電容部分與所述第四電容部分關(guān)于所述菱形的中心對(duì)稱，四個(gè)所述電容部分的極性相同的電極條電性連接。

6.如權(quán)利要求5所述的MOM電容器，其特征在于，所述第一電容部分與所述第二電容部分的極性相同的電極條電性連接，所述第三電容部分與所述第四電容部分的極性相同的電極條電性連接，所述第一電容部分靠近所述菱形中心的電極條與所述第三電容部分靠近所述菱形中心的電極條電性連接，所述第二電容部分靠近所述菱形中心的電極條與所述第四電容部分靠近所述菱形中心的電極條電性連接。

7.如權(quán)利要求5所述的MOM電容器，其特征在于，所述第一電容部分與所述第四電容部分的極性相同的電極條電性連接，所述第二電容部分與所述第三電容部分的極性相同的電極條電性連接，所述第一電容部分靠近所述菱形中心的電極條與所述第三電容部分靠近所述菱形中心的電極條電性連接，所述第二電容部分靠近所述菱形中心的電極條與所述第四電容部分靠近所述菱形中心的電極條電性連接。

8.一種半導(dǎo)體元件，其特征在于，包括襯底及位于襯底上的如權(quán)利要求1-7中任一項(xiàng)所述的MOM電容器。

9.一種半導(dǎo)體元件，其特征在于，包括襯底及位于襯底上的多個(gè)如權(quán)利要求1-7中任一項(xiàng)所述的MOM電容器，多個(gè)MOM電容器沿豎直方向堆疊于所述襯底上，各個(gè)所述MOM電容器上的電極條分布區(qū)域相同，相鄰所述MOM電容器之間具有隔離層，所述隔離層內(nèi)設(shè)置有導(dǎo)電通道，相鄰所述MOM電容器上的極性相同的電極條通過(guò)所述導(dǎo)電通道電性連接。

10.如權(quán)利要求9所述的半導(dǎo)體元件，其特征在于，所述隔離層與所述MOM電容器的電介質(zhì)的材質(zhì)相同。